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放射線検出器の製造方法

シーズコード S100001468
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 畑中 義式
  • 青木 徹
技術名称 放射線検出器の製造方法
技術概要 化合物半導体1の表面に所定の導電型の不純物を含む化合物を付着し、窒素又は不活性ガスの高圧雰囲気中でレーザー光を化合物半導体1に照射することによって、不純物ドーパントを化合物半導体1にドーピングし、次に、化合物半導体1に真空雰囲気中でレーザー光を照射して、アブレーションによってレーザー光の照射部を取り除いて化合物半導体1の表面の清浄処理及び素子分離を同時に行うことにより、化合物半導体1への不純物ドーパントのドーピングから化合物半導体の表面の清浄処理及び素子分離までの処理を一連のプロセスとして行う。この場合、放射線検出器の素子部の断面図において、真性2-6族化合物半導体1の例えば片方の面2をn型とし、他方の面3をp型として、p-i-n構造を形成し、両側に電極4、5を形成する。このような構造において、γ線9が入射して半導体内で吸収されることにより電子7と正孔と8の対が生成され、これが各電極4、5にそれぞれ移動することにより電流として検出される。そして、ここで、p型層又はn型層を形成するのにレーザーを用いた不純物の拡散を用いている。
画像

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研究分野
  • 放射線検出・検出器
  • 薄膜一般
  • 薄膜成長技術・装置
展開可能なシーズ 熱プロセス及び機械的加工プロセスに極めて弱い化合物半導体の処理を容易、かつ確実に行うことを可能とする放射線検出器を製造する方法を提供する。
熱プロセスを要することなく一連の工程で、不純物のドーピングによるpn接合の作製から、アブレーションによる清浄化までが可能になるので、容易、かつ確実に放射線検出器を製造することができる。
用途利用分野 ガンマ線、電磁波
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 畑中 義式, 青木 徹, . 放射線検出器の製造方法. 特開2001-042097. 2001-02-16
  • G21K   5/00     
  • H01L  31/09     

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