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結晶成長観察装置

シーズコード S100001644
掲載日 2010年10月4日
研究者
  • 塚本 史郎
  • 小口 信行
技術名称 結晶成長観察装置
技術概要 基板加熱機構14を持つ基板ホルダー11が配置されたMBE装置1にSTM2が一体化された装置である。この場合、MBE装置1の真空容器内において、探針を持つSTM本体を基板ホルダーに対して対向させて前後動させる移動機構3を備えるとともに、SMT本体は、真空容器内の蒸気圧雰囲気や放射熱に対して防熱保護シールド21により保護されており、かつ、基板ホルダー11は、SMT2による観察時にはその本体の当接によってのみ支持される。好ましくは、基板ホルダー11が、基板加熱機構14のケーシングからその周面において水平方向に突出した3本のピン15により切欠部16で上下移動自在に保持され、また基板加熱機構14のケーシングの側面及び底面との間にクリアランス17を持つ。STMスキャナー24を守る防熱保護シールド21の上部には、例えば、3個の突起23を設け、1個の突起23が電流端子を兼ねるようにする。このSTMスキャナー24上部にSTM探針22が固定され、STM観察時に、防熱保護シールド21内から突出されて、基板4の表面に対向して結晶成長を観察することを可能にしている。
画像

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研究分野
  • 結晶成長技術・装置
展開可能なシーズ 分子線エピタキシィ(MBE)結晶成長を一時中断して物理的空間として区別された走査型トンネル顕微鏡(STM)域に成長試料を移行させることなしに、同一の空間域内において、結晶成長を原子レベルでその場観察することを可能にする。
MBE装置とSTMとを完全一体させることにより、原子レベルでの結晶成長実空間観察が可能となり、量子ナノ構造の品質管理の向上のみならず、結晶成長のメカニズム等の解明に大きく貢献することが可能となる。
用途利用分野 結晶成長その場観察装置、結晶成長実空間観察装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, . 塚本 史郎, 小口 信行, . 結晶成長観察装置. 特開平11-171692. 1999-06-29
  • C30B  23/08     

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