TOP > 技術シーズ検索 > 表面が改質された真空材料とその表面改質方法

表面が改質された真空材料とその表面改質方法

シーズコード S100001646
掲載日 2010年10月4日
研究者
  • 土佐 正弘
  • 笠原 章
  • 吉原 一紘
技術名称 表面が改質された真空材料とその表面改質方法
技術概要 真空材料の表面に、六方晶窒化ホウ素及び銅をスパッタ蒸着してこれらの混合膜を形成し、真空中における摩擦係数を低減させる。好ましくは、表面が改質された真空材料は、1×10-3Paよりも高度の真空度において、摩擦係数が0.2以下である。六方晶窒化ホウ素を銅とともに、スパッタ蒸着した混合膜は、真空中での摩擦係数の上昇が抑制され、しかも六方晶窒化ホウ素が固有的に有する低いガス吸着性能を損なうことがない。また混合膜は、スパッタ蒸着されることにより、SUS304等のステンレス鋼や銅などの真空材料の表面に良好に密着し、高周波スパッタ蒸着により混合膜を形成させる時には、密着性に特に優れる。
研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 油圧・空気圧・真空機器一般
  • 潤滑一般
展開可能なシーズ 低いガス吸着性能をそのままに保持しつつトライボロジー特性の向上を図り、真空中における摩擦特性が向上されたステンレス鋼や銅などの真空材料とそのための表面改質方法とを提供する。
真空下で使用される真空機器の構造部材、摺動部材等の特性を向上させることができる。
用途利用分野 真空機器構造部材、真空機器摺動部材
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 土佐 正弘, 笠原 章, 吉原 一紘, . 表面が改質された真空材料とその表面改質方法. 特開2000-178715. 2000-06-27
  • C23C  14/06     
  • B01J   3/00     
  • F04B  37/16     
  • F04D  19/04     
  • F16C  33/12     
  • C22C   9/00     

PAGE TOP