TOP > 技術シーズ検索 > ダイヤモンド多孔質体の製造方法

ダイヤモンド多孔質体の製造方法

シーズコード S100001717
掲載日 2010年10月4日
研究者
  • 藤嶋 昭
  • 益田 秀樹
技術名称 ダイヤモンド多孔質体の製造方法
技術概要 ダイヤモンド多孔質体の製造方法は、細孔が規則的に配列されているポーラスな陽極酸化アルミナ1をダイヤモンド基板3上にマスクとして載せ、酸素を含むガス雰囲気のプラズマによってダイヤモンド基板3及びマスクをエッチング処理することにより、ダイヤモンド基板3にマスクと同一配列の細孔2を形成する。基板とするダイヤモンドとしては、天然若しくは合成法により作製された単結晶、又は多結晶ダイヤモンドを用いることができる。エッチング後、マスクは、例えば、水酸化ナトリウム等の陽極酸化アルミナに対して溶解性を有する溶液により溶解除去する。これにより、レジスト塗布及び露光工程、又は塗膜剥離工程を新たに加えることを必要とせず、微細な加工をダイヤモンド基板に施すことができる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_1998-164770.gif
研究分野
  • 化成処理
  • 表面処理
展開可能なシーズ 孔深さと孔径との間のアスペクト比が大きい微細な孔を、高密度に有するダイヤモンド多孔質体を作製する方法を提供する。
通常のリソグラフィー法では作製困難な、微細な細孔を有するダイヤモンド多孔質体を作製することが可能になる。
用途利用分野 線引き用ダイ、センサ、電極材料
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京大学, . 藤嶋 昭, 益田 秀樹, . ダイヤモンド多孔質体の製造方法. 特開2000-001393. 2000-01-07
  • C30B  29/04     

PAGE TOP