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針状ダイヤモンド配列構造体の作製方法

シーズコード S100001718
掲載日 2010年10月4日
研究者
  • 藤嶋 昭
  • 益田 秀樹
技術名称 針状ダイヤモンド配列構造体の作製方法
技術概要 針状ダイヤモント配列構造体の作製方法は、ダイヤモンド基板3上に貫通孔を有する陽極酸化ポーラスアルミナ1をマスクとして載せ、酸素プラズマエッチングに対する耐性を有する物質を蒸着することでダイヤモンド基板上に蒸着ドット4を形成する。次いで、陽極酸化ポーラスアルミナ1をダイヤモンド基板から除去したのち、蒸着ドット4をマスクとしてダイヤモンド基板3を酸素プラズマエッチングを行ない、針状ダイヤモンドが規則的に配列した構造体を形成する。蒸着は、表面に陽極酸化ポーラスアルミナ1のマスクを載せたダイヤモンド基板3に真空蒸着器を用い、例えば、金属、金属酸化物、又は金属窒化物を蒸着する。基板とするダイヤモンドとしては、天然若しくは合成法により作製された単結晶、又は多結晶ダイヤモンドを用いることができる。真空蒸着後、マスクとした陽極酸化ポーラスアルミナ1は、例えば、水酸化ナトリウム等のアルミナに対して溶解性を有する溶液により溶解除去する。
画像

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研究分野
  • 化成処理
  • 表面処理
展開可能なシーズ 煩雑な工程を採用することなく、微細な針状構造が規則的に配列した針状ダイヤモンドの規則配列を、大面積で安価に作製する方法を提供する。
通常のリソグラフィー法では作製困難な、微細な細孔を有するダイヤモンド多孔質体を作製することが可能になる。
用途利用分野 ディスプレー用電子放出源、ガスセンサ、電極材料
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京大学, . 藤嶋 昭, 益田 秀樹, . 針状ダイヤモンド配列構造体の作製方法. 特開2000-001392. 2000-01-07
  • C30B  29/04     

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