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微細溝加工方法及びその装置

シーズコード S100001737
掲載日 2010年10月4日
研究者
  • 松村 隆
  • ナム ピョウ ス-
技術名称 微細溝加工方法及びその装置
技術概要 マスクツール5は、被加工物の加工領域を微小幅のスリットに限定するためのもので、厚さは約5mmほどである。このマスクツール5には、被加工物である石英ガラス3の硬度より硬いセラミックや超硬合金が使用されており、マスクツール5と水溶液流体の噴流との摩擦による圧力降下を防ぐために、加工部付近が、例えば傾斜角45°のV字形状となるテーパ27が形成される。また、加工される溝幅が容易に変更されるように左右ツールの間隔が調節自在に設けられる。ウォータジェットによるエロージョン加工では、アブレッシブ超微粒子を含んだ高速高水圧の水溶液が材料表面に噴射され、アブレッシブ超微粒子により表面が除去または変形される。この加工法は、粒子衝突による塑性変形、亀裂発生による材料除去、粒子による切削作用により、表面形状が変化するエロージョン効果を利用したものであり、加工特性は粒子の大きさ、速度、被加工物との衝突角に支配される。
画像

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研究分野
  • 特殊加工
  • 噴流
展開可能なシーズ アブレッシブ粒子によるエロージョン効果と酸化セリウムと石英ガラスとの化学的作用を利用し、従来の加工法に対して加工対象である硬質部材に脆性損傷を起こさず、さらに能率、コスト、安全面において改善を図り得る微細溝加工方法及びその装置を提供する。
アブレッシブ粒子を含有した水溶液流体をV字形状の溝に向けて噴射しても、水溶液流体とV字形状の溝との摩擦による圧力降下は従来より大幅に減少するため水溶液流体を細い溝幅に進入できるので、ノズル径より小さい幅の溝に対してもアブレッシブ粒子によるエロージョン効果による微細溝加工を行うことができる。結果として、従来の加工法に比して加工対象である硬質部材に脆性損傷を与えることなく、さらに能率、コスト、安全面において改善できる。
用途利用分野 マスキング部材、ジェットノズル
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 松村 隆, ナム ピョウ ス-, . 微細溝加工方法及びその装置. 特開2003-048160. 2003-02-18
  • B24C   1/04     
  • B24C  11/00     
  • B81C   1/00     

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