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マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法

シーズコード S100001747
掲載日 2010年10月4日
研究者
  • 白井 肇
  • 長谷川 靖洋
技術名称 マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法
技術概要 マイクロプラズマ生成装置20は、絶縁材料からなる支持板21と、この支持板21に対して縦方向及び横方向に配置するとともに固定されてなる複数の電極22と、これら複数の電極22に対して高周波電力を供給するための高周波アンテナ23と、複数の電極22に対し、高周波アンテナ23を介して高周波電力を供給するための高周波電源と、複数の電極22が位置する領域に所定強度の磁場を生成させるための、磁場印加手段としての電磁コイルとを具えている。複数の電極22のそれぞれは管状構造を呈しており、その内部空間22Aにプラズマ生成ガスを導入するとともに、電極22の先端部に設けられた開口部から放出させ、高周波電力によってプラズマ生成ガスをプラズマ化し、先端部にマイクロプラズマを生成させる。さらに、支持板21の、複数の電極22間にはそれぞれ開口部25が設けられ、開口部25を介して、電極22の長さ方向に沿ってプラズマ再結合用ガスを流す。このようにして生成されたマイクロプラズマを用いることにより、微小な材料の加工や測定を行うことができるようになり、高空間分解能化を実現できる。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
  • プラズマ生成・加熱
展開可能なシーズ 微小なマイクロプラズマを生成し、材料の加工や測定などにおいて高い空間分解能を実現する。
微小なマイクロプラズマを生成し、材料の加工や測定などにおいて高い空間分解能を実現することが可能な、マイクロプラズマ生成装置及び生成方法を提供することができる。
用途利用分野 マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, . 白井 肇, 長谷川 靖洋, . マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法. 特開2004-220935. 2004-08-05
  • H05H   1/24     
  • B82B   3/00     
  • C23F   4/00     
  • G01B   7/34     
  • C01B  31/02     

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