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金属間化合物融液を用いた高融点シリサイド結晶成長法

シーズコード S100001909
掲載日 2010年10月6日
研究者
  • 野瀬 康男
  • 立岡 浩一
  • 桑原 弘
技術名称 金属間化合物融液を用いた高融点シリサイド結晶成長法
技術概要 シリコン基板と高温に保持した金属間化合物融液とを反応させてシリサイド結晶を得る高融点シリサイド結晶成長法である。好ましくは、金属間化合物は、シリサイドを構成する金属と、単体で蒸気圧が高い又は表面偏析しやすい元素とを含む化合物であり、鉄アンチモン化合物が特に好ましい。またシリサイドがβ-FeSiである。原料の総充填量、容器の寸法や形状を変更することによって、任意の寸法や形状の結晶を作製することができる。
研究分野
  • 結晶成長技術・装置
  • 熱電デバイス
展開可能なシーズ 高性能熱電デバイスに好適に用い得る大型・高品質のシリサイドバルク結晶、特にβ-FeSi結晶を液相から成長する方法を提供する。
高温側に異なる相が存在するような複雑な相図を示すシリサイドの成長に、特に有効に用いることができる。
用途利用分野 熱電発電機、固体冷却器、赤外線センサー、太陽電池
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 野瀬 康男, 立岡 浩一, 桑原 弘, . 金属間化合物融液を用いた高融点シリサイド結晶成長法. 特開2001-072500. 2001-03-21
  • C30B  29/52     

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