TOP > 技術シーズ検索 > 電流の計測方法および表面形状の測定装置

電流の計測方法および表面形状の測定装置

シーズコード S100001914
掲載日 2010年10月6日
研究者
  • 坂口 浩司
  • 岩田 太
  • 佐々木 彰
技術名称 電流の計測方法および表面形状の測定装置
技術概要 基板1上の試料2に探針3を振動させながら接触させて、探針3が試料2と接触して流れた電流を電流測定手段で計測する。導電性の探針3と電源4とは、導線5aにより接続され、基板1は、電流測定手段6を介して導線5bで電源4と接続されている。探針3が試料2に接触することにより閉回路が形成され、電源4から試料2を通して電流が流れ、電流測定手段6により試料2に流れる電流が計測される。導電性の基板1からは、試料2に接触した導電性の探針3へ向けてトンネル電流が試料2を通して流される。流れたトンネル電流は、探針3を通して導線5bにより電流測定手段6により検出される。また、電圧出力手段8は、サイン波といった所定周波数の電圧を圧電素子7に出力する。圧電素子7に入力された電圧は、機械量へと変換され、電圧の所定周波数に対応した周期で導電性の探針3を振動させる。試料2を配置する際、試料2を通してトンネル電流が流れる程度に薄く試料2を基板1に配置させる必要がある。また、基板1を移動させることによって基板1上の試料2に流れる電流を計測することができ、試料表面を直接測定することが可能となる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2001-064937.gif
研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 電流,電圧,電荷の計測法・機器
展開可能なシーズ 基板に電圧を印加し、基板上に配置した試料に導電性の探針を振動させながら一定の力かつ所定周期で接触させることにより、機械的強度が弱い試料または不均一な硬さを有する試料を通して流れるトンネル電流を計測することができる電流の計測方法、この電流の計測方法を用いた表面の測定装置およびこの電流の計測方法を用いた顕微鏡装置を提供する。
試料に導電性の探針を振動させながら一定の力で接触させて、試料を通して探針に流れる電流を計測することで試料に流れる電流を直接計測することができる。
用途利用分野 顕微鏡装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 坂口 浩司, 岩田 太, 佐々木 彰, . 電流の計測方法および表面形状の測定装置. 特開2002-267588. 2002-09-18
  • G01N  13/12     
  • G12B  21/04     

PAGE TOP