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プローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びテスタ

シーズコード S100001929
掲載日 2010年10月6日
研究者
  • 武笠 幸一
  • 末岡 和久
  • 木村 道哉
  • 澤村 誠
  • 細井 浩貴
技術名称 プローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びテスタ
技術概要 このプローブは、基板と、一端が基板に固定された可撓性のカンチレバー11と、そのカンチレバーの他端に配置された磁気抵抗素子6とを具え、カンチレバー11の長手方向に垂直な方向における磁気抵抗素子6の長さを、磁性体探針を接合することなく波長が10μm以下の漏洩磁場を検出することができるように10nmと1μmの間とする。カンチレバー11の長手方向に垂直な方向(感磁方向)における磁気抵抗素子6の長さを小さくするに従って磁気抵抗素子6の分解能が良好になるという特性を利用し、磁気抵抗素子6の感磁方向における長さを1μm以下にすることによって、磁性体探針を接合することなく、波長が10μm以下の漏洩磁場を検出できる。その結果、高分解能のプローブを、歩留まり良く多量に製造できる。なお、感磁方向における長さが1μm以下の磁気抵抗素子6を、電子線リソグラフのようなリソグラフ技術を用いて形成できる。磁気抵抗素子6の感磁方向における長さを小さくすると、更に小さい波長の漏洩磁場を検出できるが、10nmより小さくなると、磁性体膜の磁化が熱振動により揺らぎ、所定の特性を有さなくなるおそれがある。
画像

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研究分野
  • 磁電デバイス
  • 磁性体測定技術・装置
展開可能なシーズ 歩留まり良く多量に製造することができる、高分解能のプローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びIC回路を提供する。
磁気抵抗素子の感磁方向における長さを1μm以下にすることによって、従来のように磁性体探針を接合することなく、波長が10μm以下の漏洩磁場を検出することができ、高分解能のプローブを、歩留まり良く多量に製造することができる。
用途利用分野 磁気抵抗素子付きプローブ、プローブ顕微鏡、IC回路
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人北海道大学, . 武笠 幸一, 末岡 和久, 木村 道哉, 澤村 誠, 細井 浩貴, . プローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びテスタ. 特開2002-257507. 2002-09-11
  • G01B   7/34     
  • G01N  13/22     
  • G01N  27/72     
  • G01R  15/20     
  • G01R  33/09     
  • G12B  21/10     
  • H01L  43/08     

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