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明細書 :フランジ継手

発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2020-204398 (P2020-204398A)
公開日 令和2年12月24日(2020.12.24)
発明の名称または考案の名称 フランジ継手
国際特許分類 F16L  23/02        (2006.01)
F16J  15/06        (2006.01)
FI F16L 23/02 D
F16J 15/06 F
F16J 15/06 P
請求項の数または発明の数 3
出願形態 OL
全頁数 11
出願番号 特願2020-091311 (P2020-091311)
出願日 令和2年5月26日(2020.5.26)
優先権出願番号 2019109658
優先日 令和元年6月12日(2019.6.12)
優先権主張国 日本国(JP)
発明者または考案者 【氏名】孫 勇
出願人 【識別番号】504174135
【氏名又は名称】国立大学法人九州工業大学
個別代理人の代理人 【識別番号】100090697、【弁理士】、【氏名又は名称】中前 富士男
【識別番号】100176142、【弁理士】、【氏名又は名称】清井 洋平
【識別番号】100127155、【弁理士】、【氏名又は名称】来田 義弘
審査請求 未請求
テーマコード 3H016
3J040
Fターム 3H016AB07
3H016AC01
3H016AD08
3J040AA12
3J040AA18
3J040BA04
3J040EA22
3J040HA15
3J040HA30
要約 【課題】ガスケットの使用期間を延ばすことが可能なフランジ継手及びそれに用いられるフランジを提供する。
【解決手段】それぞれ中心が仮想軸V上に配された第1、第2のフランジ11、12にガスケット13が挟まれたフランジ継手10において、第1のフランジ11が具備するナイフエッジJ、第2のフランジ12が具備するナイフエッジP、Qから仮想軸Vまでの距離をそれぞれj、p、qとして、p<j<qであり、ナイフエッジJは第1のフランジ11の周方向に全周に渡って形成され周方向の長さがLjであり、ナイフエッジP、Qは、一方が第2のフランジ12の周方向に全周に渡って形成され周方向の長さがL1であり、他方が第2のフランジ12の周方向に間隔を空けて設けられた複数の突起15を有する不連続型ナイフエッジで複数の突起15の周方向の合計長さがL2であり、0.8×(L1+L2)≦Lj≦1.5×(L1+L2)が成立する。
【選択図】図1
特許請求の範囲 【請求項1】
それぞれ中心が仮想軸上に配されて連結された第1、第2のフランジと、対向する前記第1、第2のフランジに挟まれたガスケットとを有するフランジ継手において、
前記第1のフランジは、前記ガスケットの一側に押し当てられたナイフエッジJを具備し、前記第2のフランジは、前記ガスケットの他側に押し当てられたナイフエッジP、Qを備え、前記ナイフエッジJ、P、Qから前記仮想軸までの距離をそれぞれj、p、qとして、該ナイフエッジJ、P、Qは、p<j<qとなる位置に設けられ、
前記ナイフエッジJは、前記第1のフランジの周方向に全周に渡って形成され、前記ナイフエッジP、Qは、一方が前記第2のフランジの周方向に全周に渡って形成された連続型ナイフエッジであり、他方が前記第2のフランジの周方向に間隔を空けて設けられ、それぞれ前記ガスケットに接触した複数の突起を有する不連続型ナイフエッジであり、
前記ナイフエッジJの周方向の長さ、前記連続型ナイフエッジの周方向の長さ、前記不連続型ナイフエッジの前記複数の突起の該第2のフランジの周方向の長さの合計をそれぞれLj、L1、L2として、0.8×(L1+L2)≦Lj≦1.5×(L1+L2)が成立することを特徴とするフランジ継手。
【請求項2】
請求項1記載のフランジ継手において、前記ナイフエッジP、Qはそれぞれ前記連続型ナイフエッジ及び前記不連続型ナイフエッジであり、0.9×(L1+L2)≦Lj≦1.5×(L1+L2)であることを特徴とするフランジ継手。
【請求項3】
請求項2記載のフランジ継手において、0.9×(L1+L2)≦Lj≦1.3×(L1+L2)であることを特徴とするフランジ継手。
発明の詳細な説明 【技術分野】
【0001】
本発明は、対向するフランジがガスケットを挟んで連結されたフランジ継手に関する。
【背景技術】
【0002】
管と管の接続や管末端の閉止は、ガスケットを挟んだ対となるフランジを連結することによってシール性が確保され、その具体例が特許文献1、2に開示されている。特許文献1、2に開示された例では、対向するフランジが、それぞれに形成されたナイフエッジを、フランジ間に配置されたガスケットに食い込ませた状態で連結される。これによって、外部から管内への物質の進入や管内の流体の外部への漏れを防止して、例えば、管内に設けられた真空環境を維持することができる。そして、特許文献2には、一方のフランジに1つのナイフエッジを設け、他方のフランジに2つのナイフエッジを設けてシール性を向上させる旨が開示されている。
【先行技術文献】
【0003】

【特許文献1】特開平6-207691号公報
【特許文献2】特開平2-11766号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、ガスケットは消耗品であり、気密性が保てなくなる前に新しいものに交換される必要があることから、ガスケットは寿命が長いことが望まれる。例えば、主成分が銅のガスケットの場合、銅の純度が高いものは高額であり、ガスケットの交換回数が増えると経済的負担が大きくなる。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、ガスケットの使用期間を延ばすことが可能なフランジ継手を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
前記目的に沿う本発明に係るフランジ継手は、それぞれ中心が仮想軸上に配されて連結された第1、第2のフランジと、対向する前記第1、第2のフランジに挟まれたガスケットとを有するフランジ継手において、前記第1のフランジは、前記ガスケットの一側に押し当てられたナイフエッジJを具備し、前記第2のフランジは、前記ガスケットの他側に押し当てられたナイフエッジP、Qを備え、前記ナイフエッジJ、P、Qから前記仮想軸までの距離をそれぞれj、p、qとして、該ナイフエッジJ、P、Qは、p<j<qとなる位置に設けられ、前記ナイフエッジJは、前記第1のフランジの周方向に全周に渡って形成され、前記ナイフエッジP、Qは、一方が前記第2のフランジの周方向に全周に渡って形成された連続型ナイフエッジであり、他方が前記第2のフランジの周方向に間隔を空けて設けられ、それぞれ前記ガスケットに接触した複数の突起を有する不連続型ナイフエッジであり、前記ナイフエッジJの周方向の長さ、前記連続型ナイフエッジの周方向の長さ、前記不連続型ナイフエッジの前記複数の突起の該第2のフランジの周方向の長さの合計をそれぞれLj、L1、L2として、0.8×(L1+L2)≦Lj≦1.5×(L1+L2)が成立する。
【発明の効果】
【0006】
本発明に係るフランジ継手は、ナイフエッジJ、P、Qから仮想軸までの距離をそれぞれj、p、qとして、ナイフエッジJ、P、Qが、p<j<qとなる位置に設けられている。ここで、ガスケットの径方向の異なる位置には、ナイフエッジJ、P、Qのガスケットへの押し当てによってそれぞれ溝(圧痕)が形成されることとなる。溝が形成されたガスケットを反転させて第1、第2のフランジに挟んだ状態では、ナイフエッジJ、P、Qが、ガスケットに形成されている各溝とは別の領域でガスケットに接触する。よって、本発明に係るフランジ継手は、ガスケットを反転させて使用することにより、新たにシール性を確保でき、ガスケットの使用回数を増やすこと、即ち、ガスケットの使用期間を延ばすことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本発明の一実施の形態に係るフランジ継手の説明図である。
【図2】(A)は第1のフランジの正面図であり、(B)は図2(A)の一部省略CC’矢視断面図である。
【図3】(A)は第2のフランジの正面図であり、(B)は図3(A)の一部省略DD’矢視断面図である。
【図4】本発明の一実施の形態に係るフランジ継手においてガスケットを反転させた状態を示す説明図である。
【図5】(A)は変形例に係る第2のフランジの正面図であり、(B)は図5(A)の一部省略EE’矢視断面図である。
【図6】第2のフランジを取り外した真空チャンバーの外観図である。
【図7】図6の一部省略FF’矢視断面図である。
【図8】第2のフランジを第1のフランジに固定した状態の真空チャンバーの外観図である。
【図9】図8の一部省略GG’矢視断面図である。
【図10】フランジ継手のシール性を検証した実験結果を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図1、図2(A)、(B)、図3(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係るフランジ継手10は、それぞれ中心が仮想軸V上に配されて連結されたフランジ11(第1のフランジの一例)及びフランジ12(第2のフランジの一例)と、対向するフランジ11、12に挟まれたガスケット13とを有する。以下詳細に説明する。

【0009】
フランジ11は、図2(A)、(B)に示すように、円環状であり、フランジ11の一側にはナイフエッジJ1(ナイフエッジJの一例)が設けられている。ナイフエッジJ1はフランジ11の周方向に全周に渡って連続して形成された連続型ナイフエッジである。フランジ11のナイフエッジJ1より外側の領域には、複数の貫通孔14が等ピッチで形成されている。

【0010】
フランジ12は、図3(A)、(B)に示すように、円環状であり、フランジ12の一面側にはナイフエッジP1(ナイフエッジPの一例)及びナイフエッジQ1(ナイフエッジQの一例)が設けられている。ナイフエッジP1はフランジ11の周方向に全周に渡って連続して形成された連続型ナイフエッジである。ナイフエッジQ1は、フランジ11のナイフエッジP1より外側に位置し、フランジ11の周方向に間隔を空けて設けられた複数の突起15を有している。即ち、ナイフエッジQ1は不連続型ナイフエッジである。本実施の形態において、各突起15はフランジ11の周方向に長く、フランジ12のナイフエッジQ1より外側の領域には、複数の貫通孔16が等ピッチで形成されている。
ガスケット13は、図1に示すように、円環状であり、フランジ11、12及びガスケット13は内径が略等しい。

【0011】
フランジ継手10は、図1に示すように、フランジ11、12及びガスケット13の各中心が仮想軸V上(同軸上)に配された状態で、フランジ11、12の間にガスケット13が挟まれている。フランジ11、12は、フランジ11のナイフエッジJ1がガスケット13の一面側に押し当てられてガスケット13に食い込み、フランジ12のナイフエッジP1、Q1がガスケット13の他側に押し当てられてガスケット13に食い込んだ状態で、貫通孔14、16を挿通したボルト17及びボルト17に装着されたナット18によって連結されている。フランジ継手10は、ナイフエッジJ1、P1がガスケット13に食い込んだ状態となることによってシール構造を形成し、ナイフエッジQ1はガスケット13を支持する支持部として機能する。

【0012】
図2(B)、図3(B)に示すように、ナイフエッジJ1(ナイフエッジJ1の頂点部)からフランジ11の中心(仮想軸V)までの距離をj、ナイフエッジP1(ナイフエッジP1の頂点部)からフランジ12の中心(仮想軸V)までの距離をp、ナイフエッジQ1(突起15の頂点部)からフランジ12の中心(仮想軸V)までの距離をqとして、ナイフエッジJ1、P1、Q1は、p<j<qとなる位置に設けられている。

【0013】
従って、フランジ継手10は、図1に示すように、仮想軸Vに直交する方向(ガスケット13の径方向)において、ガスケット13にナイフエッジP1が押し当てられた位置とガスケット13にナイフエッジQ1が押し当てられた位置との間で、ナイフエッジJ1がガスケット13に押し当てられている。そのため、ガスケット13にナイフエッジP1が押し当てられた位置とガスケット13にナイフエッジQ1が押し当てられた位置との間の領域外(例えば、ガスケット13にナイフエッジP1が押し当てられた位置よりガスケット13の中心に近い位置)で、ナイフエッジJ1がガスケット13に押し当てられる場合に比べて、ガスケット13の変形量を抑制することができる。

【0014】
本実施の形態で、間隔を空けて設けた複数の突起15を有してナイフエッジQ1を構成するようにしているのは、ナイフエッジP1、Q1の間にガスケット13とフランジ12とによって密閉された空間(ポケット)が設けられないようにするためである。本実施の形態では、フランジ継手10が、フランジ11、12及びガスケット13の内周側に真空環境を確保する設備で利用されるものであり、このような設備では、そのような密閉空間を設けないことが好ましい。

【0015】
また、本実施の形態では、時間の経過によるガスケット13の変形等によってシール性が低下した場合、図4に示すように、ガスケット13を反転させて、ナイフエッジJ1が押し当てられていたガスケット13の一側(一面)にナイフエッジP1、Q1が押し当てたれ、ナイフエッジP1、Q1が押し当てられていたガスケット13の他側(他面)にナイフエッジJ1が押し当てられるようにして、ガスケット13を再利用することができる。

【0016】
ガスケット13の反転後は、ガスケット13の反転前にナイフエッジJ1の食い込みによってガスケット13に形成されていた溝(圧痕)G1に、ナイフエッジP1、Q1が接触せず、ガスケット13の反転前にナイフエッジP1、Q1それぞれの食い込みによってガスケット13に形成されていた溝(圧痕)G2、G3に、ナイフエッジJ1が接触しない。よって、溝G1、G2、G3が形成されたガスケット13でも、反転させることにより、シール構造を安定的に確保することができ、ガスケット13の再利用が可能となる。ガスケット13の再利用によって、ガスケット13を再利用しない場合に比べ、ガスケット13の使用寿命を約倍に延長することができる。

【0017】
第1、第2のフランジによるガスケットの締め付け力を調整して、第1、第2のフランジ及びガスケットによるシール性が調節されるが、第1、第2のフランジによるガスケットの締め付け力が如何なるものであっても、ガスケットの使用寿命が約倍に延長されることに変わりはない。
そして、第1、第2のフランジ及びガスケットを備えた設備を新規に導入する際には言うまでもなく、既設の設備が具備する対となったフランジを第1、第2のフランジに取り替えること(場合によっては、対となったフランジの一方のみを第2のフランジに取り替えること)によっても、ガスケットの使用寿命の延長が可能となる。

【0018】
また、本実施の形態では、ナイフエッジJ1の周方向の長さをLjとし、ナイフエッジP1(ナイフエッジP1、Q1の一方の連続型ナイフエッジ)の周方向の長さをL1とし、ナイフエッジQ1(ナイフエッジP1、Q1の他方の不連続型ナイフエッジ)の複数の突起15のフランジ12の周方向の長さの合計をL2として、以下の式(1)が成立するように(即ち、L1+L2がLjに近い値となるように)ガスケット11、12を設計して、溝G1の深さと溝G2、G3の深さとが同レベルとなるようにしている。
0.8×(L1+L2)≦Lj≦1.5×(L1+L2) (1)

【0019】
ここで、溝G1の深さと溝G2、G3の深さとが同レベルにするという観点では、α×(L1+L2)≦Lj≦β×(L1+L2)において、αは0.9が好ましく、0.95が更に好ましい。そして、βは1.3が好ましく、1.2が更に好ましく、1.1がより好ましい。なお、L1、L2、Ljがそれぞれ0より大きい値であるのは言うまでも無い。

【0020】
また、上記の式(1)を満たせば、フランジ12(不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの外側に設けられた第2のフランジ)の代わりに、不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの内側に設けられた第2のフランジをフランジ11と組み合わせて用いても、各溝の深さを同レベルにすることができる。以下、図5(A)、(B)を参照して、不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの内側に設けられたフランジ20(第2のフランジ)について説明する。
なお、フランジ20において、フランジ12と同様の構成については同じ符号を付して詳しい説明は省略する。

【0021】
フランジ11と組み合わせて用いられるフランジ20は、図5(A)、(B)に示すように、円環状であり、フランジ20の一側に、ナイフエッジP2(ナイフエッジPの一例)及びナイフエッジQ2(ナイフエッジQの一例)が設けられている。

【0022】
ナイフエッジP2は、フランジ20の周方向に間隔を空けて設けられた複数の突起21を有する不連続型ナイフエッジであり、ナイフエッジQ2は、フランジ20のナイフエッジP2より外側の領域に位置し、フランジ20の周方向に全周に渡って連続して形成された連続型ナイフエッジである。ナイフエッジP2(突起21の頂点部)からフランジ20の中心までの距離はp、ナイフエッジQ2(ナイフエッジQ2の頂点部)からフランジ20の中心までの距離はqである。

【0023】
フランジ20は、ナイフエッジQ2(ナイフエッジP2、Q2の一方の連続型ナイフエッジ)の周方向の長さをL1とし、ナイフエッジP2(ナイフエッジP2、Q2の他方の不連続型ナイフエッジ)の複数の突起21のフランジ20の周方向の長さの合計をL2として、上記の式(1)が成立する。

【0024】
フランジ11、20がガスケット13を挟んで連結されたフランジ継手は、ナイフエッジJ1、Q2のガスケット13への押し当てによってシール構造を形成することとなり、ナイフエッジP2はガスケット13を支持する支持部として機能する。当該フランジ継手においても、フランジ継手10と同様に、ガスケット13を反転させて再利用することができる。

【0025】
ここで、不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの外側に設けられた第2のフランジは、L1+L2≦Lj≦1.5×(L1+L2)を満たせるが、不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの内側に設けられた第2のフランジは、同式を満たせない。そのため、設計の自由度の観点において、不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの外側に設けられた第2のフランジは、不連続型ナイフエッジが連続型ナイフエッジの内側に設けられた第2のフランジより好ましい。

【0026】
次に、図6~図9を参照して、第1のフランジの一例であるフランジ110及び第2のフランジの一例であるフランジ120を備えた真空チャンバー100について説明する。真空チャンバー100は、図6~図9に示すように、外観が円柱状の中空体101と、中空体101の頂部に設けられた円環状の接合部材102に一面側が連通して接合部材102と一体となった円環状のフランジ110と、フランジ110に固定された円盤状のフランジ120と、フランジ110、120に挟まれた円環状のガスケット130を具備している。

【0027】
フランジ110は、図6、図7に示すように、フランジ11と同様の構造であり、フランジ110の他面側にはナイフエッジJ2(ナイフエッジJの一例)がフランジ110の周方向に全周に渡って連続して形成され、フランジ110の他面側のナイフエッッジJ2より外側の領域には、複数の貫通孔111が形成されている。なお、図6においては、ナイフエッジJ2の記載を省略している。
中空体101には、開口103が形成されている。この開口103から、連通された接合部材102の内周部を介して、中空体101の内部に導かれる構成となっている。

【0028】
フランジ120は、図8、図9に示すように、円環状のフランジ12に対し円盤状である点で異なるが、その他の構造はフランジ12と同様であり、フランジ120の一面側には、ナイフエッジP3(ナイフエッジPの一例)とナイフエッジP3より外周側に設けられたナイフエッジQ3(ナイフエッジQの一例)が形成されている。ナイフエッジP3はフランジ120の周方向に全周に渡って連続して形成され、ナイフエッジQ3は、それぞれフランジ120の周方向に間隔を空けて配された複数の突起によって構成されている。フランジ120のナイフエッジQ3より外周側には複数の貫通孔121が形成されている。

【0029】
フランジ120は、フランジ110、120の間にガスケット130を挟んだ状態で、貫通孔111、121を挿通したボルト104とボルト104に装着されたナット105によってフランジ110に固定されて、開口103を閉止している。このとき、フランジ110、120及びガスケット130は同軸上に配され、ガスケット130には、ナイフエッジJ2、P3、Q3が押し当てられている。ナイフエッジJ2からフランジ110の中心までの距離は、ナイフエッジP3からフランジ120の中心までの距離より長く、ナイフエッジQ3からフランジ120の中心までの距離より短い。ナイフエッジJ2、P3、Q3も上記の式1を満たしている。

【0030】
なお、真空チャンバーの中空体に接合部材を介して連結する対象を第1のフランジでなく第2のフランジとし、当該第2のフランジに第1のフランジを固定するようにしてもよい。
また、既存の真空チャンバーは、それぞれ2つの第1のフランジ(即ち、1つのナイフエッジを有するフランジ)が、ガスケットを挟んで固定されている。このような既存の真空チャンバーに対しては、一方の第1のフランジを、第2のフランジに取り替えることで、新規の真空チャンバーを設置するのに比べ、コスト及び導入の手間を抑えた上で、ガスケットの使用期間を延ばすことが可能なフランジ継手を得ることができる。

【0031】
なお、真空チャンバーは種々の構成を採用可能であり、真空チャンバーに対して採用する、第1、第2のフランジを備えるフランジ継手(以下、「本発明のフランジ継手」と言う)の数は限定されない。例えば、真空チャンバーの複数のフランジ継手のうち、1つのみを、本発明のフランジ継手にしてもよい。但し、本発明のフランジ継手の数が多くなる程、使用期間を延ばすことができるガスケットの数を増やすことができ、ランニングコストの削減への寄与が大きくなる。

【0032】
また、真空チャンバー100は、図示しない真空ポンプや各種測定装置、分析装置との組み合わせが可能であり、真空装置の一部を構成するのは言うまでもない。
真空チャンバー100を備える真空装置は、本発明のフランジ継手を備えることとなり、フランジ継手を備えた真空装置として好ましい形態と言える。
【実施例】
【0033】
次に、本発明の作用効果を確認するために行った実験について説明する。
実験では、以下の3つのケースについて真空引きを行い、フランジの内周部の気圧の変化を計測した。
【実施例】
【0034】
ケース1:
1のナイフエッジJを具備する第1のフランジと2つのナイフエッジP、Qを具備する第2のフランジとをガスケットを挟むようにして連結し、ガスケットの径方向において、ナイフエッジPがガスケットに押し当てられた位置とナイフエッジQがガスケットに押し当てられた位置の間で、ナイフエッジJがガスケットに押し当てられるようにした。ナイフエッジPは第2のフランジの周方向に全周に渡って形成され、ナイフエッジQは第2のフランジの周方向に間隔を空けて設けられた複数の突起を有して構成されていた。
【実施例】
【0035】
ケース2:
ケース1の実験の後、一側に1つの溝が形成され他側に2つの溝が形成されたガスケットを反転させ、ケース1の実験で用いた第1、第2のフランジで当該ガスケットを挟むようにした。このとき、ナイフエッジJは、ナイフエッジPがガスケットに押し当てられた位置とナイフエッジQがガスケットに押し当てられた位置の間でガスケットに押し当てられる状態となった。
【実施例】
【0036】
ケース3:
1のナイフエッジを具備するフランジと1つのナイフエッジを具備するフランジとをガスケットを挟むようにして連結し、一方のフランジのナイフエッジと他方のフランジのナイフエッジがガスケットの径方向同位置でガスケットに押し当てられるようにした。
【実施例】
【0037】
図10に示された実験結果より、ケース1、2はそれぞれケース3と同レベルのシール性を確保できることが確認できた。
【実施例】
【0038】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、フランジ継手は、第1、第2のフランジの一方が円盤状のフランジ(所謂、閉止フランジ)であってもよいし、第1、第2のフランジが角フランジであってもよい。
また、フランジ継手は、液体が流れる管に設けられるものであってもよい。
そして、ナイフエッジP、Qの少なくとも一方が、第2のフランジの周方向に全周に渡って形成されたものであればよく、例えば、ナイフエッジP、Qの双方が第2のフランジの周方向に全周に渡って形成されたものであってもよい。但し、上述したように、ナイフエッジP、Qの双方が周方向に全周に渡って形成された第2のフランジは、第1、第2のフランジの内周側に真空環境を設ける設備での使用に適さない。
【符号の説明】
【0039】
10:フランジ継手、11、12:フランジ、13:ガスケット、14:貫通孔、15:突起、16:貫通孔、17:ボルト、18:ナット、20:フランジ、21:突起、100:真空チャンバー、101:中空体、102:接合部材、103:開口、104:ボルト、105:ナット、110:フランジ、111:貫通孔、120:フランジ、121:貫通孔、130:ガスケット、G1、G2、G3:溝、J1、J2、P1、P2、P3、Q1、Q2、Q3:ナイフエッジ、V:仮想軸
図面
【図1】
0
【図2】
1
【図3】
2
【図4】
3
【図5】
4
【図6】
5
【図7】
6
【図8】
7
【図9】
8
【図10】
9