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NEUTRON DIFFRACTION GRATING AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

外国特許コード F210010438
整理番号 6469
掲載日 2021年5月14日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2020JP021967
国際公開番号 WO2021005925
国際出願日 令和2年6月3日(2020.6.3)
国際公開日 令和3年1月14日(2021.1.14)
発明の名称 (英語) NEUTRON DIFFRACTION GRATING AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
発明の概要(英語) A neutron diffraction grating (1) according to the present invention is manufactured by preparing a neutron transmission substrate (101) made of a neutron transmissive material such as aluminum, silicon, or quartz, stacking an adhesion reinforcing layer (102) made of an adhesion reinforcing material such as titanium, aluminum, or silicon on the neutron transmission substrate, forming a multilayer film layer (106) by alternately stacking Gd thin-film layers (103) made of gadolinium and Ti thin-film layers (104) made of titanium on the adhesion reinforcing layer, forming a multilayer film substrate (10) by stacking an antioxidation layer (108) made of an antioxidation material such as titanium, aluminum, chrome, carbon, or silicon on the multilayer film layer, and forming a micro-pattern on the multilayer film substrate by cutting the antioxidation layer and the multilayer film layer.
  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • KYOTO UNIVERSITY
  • RIKEN
  • 発明者(英語)
  • HINO, Masahiro
  • KAWABATA, Yuji
  • HOSOBATA, Takuya
  • YAMAGATA, Yutaka
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