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MEASURING DEVICE, ATOMIC FORCE MICROSCOPE, AND MEASUREMENT METHOD 新技術説明会

外国特許コード F210010445
整理番号 6485
掲載日 2021年5月17日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2020JP027391
国際公開番号 WO2021020111
国際出願日 令和2年7月14日(2020.7.14)
国際公開日 令和3年2月4日(2021.2.4)
発明の名称 (英語) MEASURING DEVICE, ATOMIC FORCE MICROSCOPE, AND MEASUREMENT METHOD 新技術説明会
発明の概要(英語) A measuring device (10A, 110) comprises: a generation unit (202A) that generates a reference signal having a reference frequency set close to a resonance frequency of a vibrator (11); an amplitude detection unit (204A) that detects, on the basis of a displacement signal of the vibrator (11) and the reference signal generated by the generation unit (202A), a thermal vibration amplitude of the vibrator (11) within a prescribed range including the reference frequency; and a calculation unit (206A) that calculates the resonance frequency of the vibrator (11) on the basis of the detected thermal vibration amplitude.
  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • KYOTO UNIVERSITY
  • 発明者(英語)
  • KOBAYASHI, Kei
  • KIMURA, Kuniko
  • YAMADA, Hirofumi
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