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EQUIVALENT-CAPACITANCE TYPE ACTUATOR DRIVE DEVICE

Foreign code F070001781
File No. F070001781
Posted date Jan 11, 2008
Country WIPO
International application number 2006JP301557
International publication number WO 2006/082807
Date of international filing Jan 31, 2006
Date of international publication Aug 10, 2006
Priority data
  • P2005-153147 (May 25, 2005) JP
  • P2005-030095 (Feb 7, 2005) JP
Title EQUIVALENT-CAPACITANCE TYPE ACTUATOR DRIVE DEVICE
Abstract [PROBLEMS] To provide an electrostatic actuator drive device not requiringa high-voltage amplifier. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The electrostatic actuatordrive device includes a variable capacitor (12) connected in series to an electrostaticactuator (10) and a constant voltage source (11) for applying a constant voltageto both ends of the electrostatic actuator (10) and the variable capacitor (12)which care connected in series. The electrostatic capacitance of the variablecapacitor (12) is varied by control of a controller (14) so as to adjust the voltageapplied to the electrostatic actuator (10). The constant voltage source (11)used in this device may any which can generate a constant high voltage. The electrostaticactuator (10) is equivalent to a capacitor. In this device, the electrostaticcapacitance of one of the two capacitors connected in series is changed so as toadjust the voltage applied to the electrostatic actuator (10) which is the othercapacitor. This drive device can rapidly control the voltage applied to the electrostaticactuator (10) with simple structure without using an expensive high voltageamplifier.
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】等価容量型アクチュエータに直列接続した可変キャパシタと、直列接続した前記等価容量型アクチュエータ及び可変キャパシタの両端に電圧を印加する定電圧源とを備え、前記可変キャパシタの静電容量を変えて、前記等価容量型アクチュエータへの印加電圧を調整することを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項2】請求項1に記載の駆動装置であって、前記定電圧源と並列に接続した大容量キャパシタを備えることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項3】請求項1または2に記載の駆動装置であって、前記等価容量型アクチュエータが静電アクチュエータであることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項4】請求項1または2に記載の駆動装置であって、前記等価容量型アクチュエータが圧電アクチュエータであることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項5】請求項1から4のいずれかに記載の駆動装置であって、制御信号に応じて前記可変キャパシタの静電容量を変える駆動手段を具備し、前記駆動手段が、前記可変キャパシタの電極間の距離を変えることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項6】請求項1から4のいずれかに記載の駆動装置であって、制御信号に応じて前記可変キャパシタの静電容量を変える駆動手段を具備し、前記駆動手段が、前記可変キャパシタの電極間の対向面積を変えることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項7】請求項1から4のいずれかに記載の駆動装置であって、制御信号に応じて前記可変キャパシタの静電容量を変える駆動手段を具備し、前記駆動手段が、前記可変キャパシタの電極間の圧電体に加える応力を変えることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項8】請求項1から3のいずれかに記載の駆動装置であって、制御信号に応じて前記可変キャパシタの静電容量を変える駆動手段を具備し、前記駆動手段が、前記可変キャパシタの複数の電極との間に静電容量を形成する移動体を移動して、前記複数の電極との間の静電容量を差動的に変えることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。

【請求項9】請求項1から4のいずれかに記載の駆動装置であって、前記可変キャパシタが、並列接続された複数の固定コンデンサと、前記固定コンデンサの一部の並列接続を周期的に断続するスイッチとを備え、前記スイッチによる断の時間長と続の時間長との比率を変更して前記複数の固定コンデンサの合成容量を変えることを特徴とする等価容量型アクチュエータの駆動装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • National University Corporation Saitama University
  • Inventor
  • Mizuno, Takeshi
IPC(International Patent Classification)
Specified countries AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GW HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MW MX MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW
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