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IN-PLANE EXPOSURE DEVICE AND IN-PLANE EXPOSURE METHOD

Foreign code F080001860
File No. F080001860
Posted date Apr 11, 2008
Country WIPO
International application number 2006JP325808
International publication number WO 2007/083489
Date of international filing Dec 25, 2006
Date of international publication Jul 26, 2007
Priority data
  • P2006-034413 (Jan 17, 2006) JP
Title IN-PLANE EXPOSURE DEVICE AND IN-PLANE EXPOSURE METHOD
Abstract [PROBLEMS] To provide a device and a method for exposing a photosensitive material attached to an inner surface of a cylinder, rectangular solid, or the like to light of a predetermined pattern. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An exposure device includes: a guide rod inserted into the internal space of an object to be exposed and applying exposure light into the inside of the object to be exposed; and a stage for modifying a relative position and/or a relative angle between the object to be exposed and the guide rod. After performing focusing point adjustment of the irradiation spot of the exposure light and/or performing the exposure start position adjustment, the exposure light is applied to a predetermined position of the object to be exposed so as to expose the photosensitive material attached to the inner surface of the object to be exposed to a light of a predetermined pattern.
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】露光光源を含む、露光光線を供給する露光光線供給手段と、非感光光源を含む、前記露光光線の照射スポットを検知するための非感光光線を供給する非感光光線供給手段と、前記露光光線を導光する光ファイバーが配索され、かつ被露光物に対して前記露光光線が入射される側と同じ側または反対側から該被露光物の軸方向に入射される前記非感光光線を前記被露光物の内面方向に導光するための少なくとも1個の反射素子が配置されたガイドロッドを含む導光手段と、前記ガイドロッドと前記被露光物の相対位置および/または相対角度を変えるように該被露光物および/またはガイドロッドを移動させる移動手段と、を有し、前記被露光物の筒状もしくは穴状の空洞をなす内面に付着された感光性物質に、前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、前記露光光線を前記被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付着された感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光装置。

【請求項2】露光光源を含む、露光光線を供給する露光光線供給手段と、非感光光源を含む、前記露光光線の照射スポットを検知するための非感光光線を供給する非感光光線供給手段と、前記露光光線を被露光物の内面に直交する方向に反射する反射素子と、該被露光物に対して前記露光光線が入射される側と同じ側または反対側から該被露光物の軸方向に入射される前記非感光光線を前記被露光物の内面方向に導光するための少なくとも1個の反射素子が配置されたガイドロッドを含む導光手段と、前記ガイドロッドと前記被露光物の相対位置および/または相対角度を変えるように前記被露光物および/またはガイドロッドを移動させる移動手段と、を有し、前記被露光物の筒状もしくは穴状の空洞をなす内面に付着された感光性物質に前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、前記露光光線を前記被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付着された感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光装置。

【請求項3】露光光源を含む、露光光線を供給する露光光線供給手段と、非感光光源を含む、前記露光光線の照射スポットを検知するための非感光光線を供給する非感光光線供給手段と、前記露光光線と前記非感光光線とを合成する合成手段と、前記露光光線と前記非感光光線との合成光線を前記被露光物の内面に直交する方向に反射する反射素子が設けられたガイドロッドを含む導光手段と、前記ガイドロッドと前記被露光物の相対位置および/または相対角度を変えるように前記被露光物および/またはガイドロッドを移動させる移動手段と、を有し、前記露光光線と前記非感光光線が、前記合成手段で合成された後に、前記ガイドロッドの内部を軸方向に進行し、前記ガイドロッドに設けられた前記反射素子により、前記被露光物の内面に直交する方向に反射されるようになし、前記被露光物の筒状もしくは穴状の空洞をなす内面に付着された感光性物質に前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、前記露光光線を前記被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付着された感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光装置。

【請求項4】露光光源を含む、露光光線を供給する露光光線供給手段と、非感光光源を含む、前記露光光線の照射スポットを検知するための非感光光線を供給する非感光光線供給手段と、筒状もしくは穴状の空洞をなす被露光物の内部空間内に、前記露光光線が入射される側の反対側から挿入され、前記露光光線を前記被露光物の内面に直交する方向に反射する反射素子と、被露光物に対して前記露光光線と同じ側または反対側から該被露光物の軸方向に入射される前記非感光光線を前記被露光物の内面方向に導光するための少なくとも1個の反射素子が先端部配置されたガイドロッドを含む導光手段と、前記ガイドロッドと前記被露光物の相対位置および/または相対角度を変えるように前記被露光物および/またはガイドロッドを移動させる移動手段と、を有し、前記被露光物の筒状もしくは穴状の空洞をなす内面に付着された感光性物質に前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、前記露光光線を前記被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付着された感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光装置。

【請求項5】露光光源を含む、露光光線を供給する露光光線供給手段と、非感光光源を含む、前記露光光線の照射スポットを検知するための非感光光線を供給する非感光光線供給手段と、前記露光光線と前記非感光光線を合成する合成手段と、筒状もしくは穴状の空洞をなす被露光物の内部空間内に、前記露光光線が入射される側の反対側から挿入され、前記露光光線と前記非感光光線との合成光線を前記被露光物の内面に直交する方向に反射する反射素子が先端部に設けられたガイドロッドを含む導光手段と、前記ガイドロッドと前記被露光物の相対位置および/または相対角度を変えるように前記被露光物および/またはガイドロッドを移動させる移動手段と、を有し、前記露光光線と前記非感光光線が、前記合成手段で合成された後に、前記被露光物の内部空間内を軸方向に進行し、前記ガイドロッドの先端部に設けられた前記反射素子により、前記被露光物の内面に直交する方向に反射されるようになし、前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、該露光光線を該被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付した感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光装置。

【請求項6】露光光源を含む、露光光線を供給する露光光線供給手段と、非感光光源を含む、露光光線の照射スポットを検知するための非感光光線を供給する非感光光線供給手段と、前記露光光源となる発光ダイオードが装着され、かつ該発光ダイオードに電力を供給するリード線が配索されたガイドロッドを含む導光手段と、前記ガイドロッドと被露光物の相対位置および/または相対角度を変えるように前記被露光物および/またはガイドロッドを移動させる移動手段と、を有し、前記被露光物の筒状もしくは穴状の空洞をなす被露光物の内面に付着された感光性物質に前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせした後に、前記露光光線を前記被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付着された感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光装置。

【請求項7】前記被露光物とガイドロッドの軸線が所定の傾斜角で配置されていることを特徴とする請求項1乃至6に記載の内面露光装置。

【請求項8】前記ガイドロッドに沿って配索された光ファイバーの一端が前記被露光物の内面に直交するように曲げて配索され、他端が前記露光光源に接続されていることを特徴とする請求項1または7に記載の内面露光装置。

【請求項9】前記光ファイバーが、前記ガイドロッドに沿って配索され、かつ該光ファイバーの射出端部の前方所定の位置に前記露光光線を前記被露光物の内面に直交する方向に反射する反射素子を設けたことを特徴とする請求項1または7に記載の内面露光装置。

【請求項10】前記ガイドロッドの先端に設けられた反射素子が、該ガイドロッドの先端を斜めに形成し、鏡面研磨して反射面となしたことを特徴とする請求項4または5または7に記載の内面露光装置。

【請求項11】前記露光光源から前記被露光物の露光面までの露光光線経路の途中にピンホールを配置し、該ピンホール射出口の像点を前記被露光物の露光面またはその近傍に結像させる光学系を配置したことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1に記載の内面露光装置。

【請求項12】前記被露光物の内部空間内かつガイドロッドの先端部で、前記露光光線が前記被露光物に向かって照射される該被露光物内面の直近部に、照射する露光光線の照射スポットの大きさを絞るためのピンホールまたはレンズを設けたことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1に記載の内面露光装置。

【請求項13】前記光ファイバーの露光光線の射出端部かつ前記ロッドガイドの先端部に、照射する露光光線の照射スポットの大きさを絞るためのピンホールまたはレンズを設けたことを特徴とする請求項1または7に記載の内面露光装置。

【請求項14】前記露光光線が、レーザ光であることを特徴とする請求項1乃至5、7乃至13のいずれか1に記載の内面露光装置。

【請求項15】前記非感光光線が、前記露光光線とは異なる波長帯の光線であることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1に記載の内面露光装置。

【請求項16】筒状のもしくは穴状の空洞を有する被露光物の内部空間内に露光光線を照射するためにガイドロッドを位置せしめる工程と、露光開始前に露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置を検知する工程と、前記被露光物と前記ガイドロッドとの相対位置および/または相対角度を連続的または間欠的に変更しつつ、該ガイドロッドにより導光した前記露光光線を該被露光物の内面に付着された感光性物質に照射開始し、停止する工程とを有し、前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、前記被露光物の筒状もしくは穴状の空洞をなす内面に付着された感光性物質の所定の位置に、前記露光光線を照射し、該被露光物の内面に付着された感光性物質を所定のパターンに感光せしめることを特徴とする内面露光方法。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • Tokyo Denki University
  • Inventor
  • Horiuchi, Toshiyuki
  • Fujita, Katsuyuki
  • Yasuda, Takashi
IPC(International Patent Classification)
Specified countries AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GT GW HN HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MW MX MY MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RS RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SV SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
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