SURFACE POSITION MEASURING METHOD AND SURFACE POSITION MEASURING DEVICE
| Foreign code | F080002002 |
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| File No. | F080002002 |
| Posted date | Jan 9, 2009 |
| Country | WIPO |
| International application number | 2005JP023633 |
| International publication number | WO 2006/073068 |
| Date of international filing | Dec 22, 2005 |
| Date of international publication | Jul 13, 2006 |
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| Title | SURFACE POSITION MEASURING METHOD AND SURFACE POSITION MEASURING DEVICE |
| Abstract | A surface position measuring method capable of measuring a position on a soft surfaceaccurately, with low invasiveness, and at high speed (real time). The methodcomprises the steps of measuring the thermal oscillation spectrum of a cantileverwith the distance between a cantilever probe and a sample surface being changed,extracting a fundamental mode component (spectrum area) from the obtained thermaloscillation spectrum, and measuring a change in the thermal oscillation spectrumarea (spectrum area) with respect to the distance. A position at which the areaof the cantilever thermal oscillation spectrum begins to change is evaluatedas a position on a sample surface. |
| Scope of claims |
(In Japanese) 【請求項1】カンチレバーの熱振動に関する量を検出する検出ステップと、検出したカンチレバーの熱振動に関する量の変化に基づいて、試料表面の位置を評価する評価ステップと、を有する表面位置計測方法。 【請求項2】前記評価ステップは、検出したカンチレバーの熱振動に関する量が変化し始める位置を、試料表面の位置として評価する、請求項1記載の表面位置計測方法。 【請求項3】カンチレバーの熱振動に関する量は、カンチレバーの熱振動スペクトルである、請求項2記載の表面位置計測方法。 【請求項4】カンチレバーの熱振動に関する量は、カンチレバーの熱振動スペクトルの面積である、請求項2記載の表面位置計測方法。 【請求項5】前記検出ステップは、カンチレバーの変位信号を検出するステップと、検出した変位信号をFFT処理して熱振動スペクトルを取得するステップと、取得した熱振動スペクトルからカンチレバーの共振モード部分を抽出してカンチレバーの共振周波数周辺における熱振動スペクトルの面積を算出するステップと、を有し、前記評価ステップは、算出したカンチレバーの熱振動スペクトルの面積が変化し始める位置を、試料表面の位置として評価する、請求項4記載の表面位置計測方法。 【請求項6】カンチレバーの熱振動に関する量を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出されたカンチレバーの熱振動に関する量の変化に基づいて、試料表面の位置を評価する評価手段と、を有する表面位置計測装置。 |
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| IPC(International Patent Classification) |
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| Specified countries | AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GW HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MW MX MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW |
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