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SURFACE POSITION MEASURING METHOD AND SURFACE POSITION MEASURING DEVICE

Foreign code F080002002
File No. F080002002
Posted date Jan 9, 2009
Country WIPO
International application number 2005JP023633
International publication number WO 2006/073068
Date of international filing Dec 22, 2005
Date of international publication Jul 13, 2006
Priority data
  • P2005-001538 (Jan 6, 2005) JP
Title SURFACE POSITION MEASURING METHOD AND SURFACE POSITION MEASURING DEVICE
Abstract A surface position measuring method capable of measuring a position on a soft surfaceaccurately, with low invasiveness, and at high speed (real time). The methodcomprises the steps of measuring the thermal oscillation spectrum of a cantileverwith the distance between a cantilever probe and a sample surface being changed,extracting a fundamental mode component (spectrum area) from the obtained thermaloscillation spectrum, and measuring a change in the thermal oscillation spectrumarea (spectrum area) with respect to the distance. A position at which the areaof the cantilever thermal oscillation spectrum begins to change is evaluatedas a position on a sample surface.
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】カンチレバーの熱振動に関する量を検出する検出ステップと、検出したカンチレバーの熱振動に関する量の変化に基づいて、試料表面の位置を評価する評価ステップと、を有する表面位置計測方法。

【請求項2】前記評価ステップは、検出したカンチレバーの熱振動に関する量が変化し始める位置を、試料表面の位置として評価する、請求項1記載の表面位置計測方法。

【請求項3】カンチレバーの熱振動に関する量は、カンチレバーの熱振動スペクトルである、請求項2記載の表面位置計測方法。

【請求項4】カンチレバーの熱振動に関する量は、カンチレバーの熱振動スペクトルの面積である、請求項2記載の表面位置計測方法。

【請求項5】前記検出ステップは、カンチレバーの変位信号を検出するステップと、検出した変位信号をFFT処理して熱振動スペクトルを取得するステップと、取得した熱振動スペクトルからカンチレバーの共振モード部分を抽出してカンチレバーの共振周波数周辺における熱振動スペクトルの面積を算出するステップと、を有し、前記評価ステップは、算出したカンチレバーの熱振動スペクトルの面積が変化し始める位置を、試料表面の位置として評価する、請求項4記載の表面位置計測方法。

【請求項6】カンチレバーの熱振動に関する量を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出されたカンチレバーの熱振動に関する量の変化に基づいて、試料表面の位置を評価する評価手段と、を有する表面位置計測装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • National University Corporation Hokkaido University
  • Inventor
  • Okajima, Takaharu
  • Tanaka, Masaru
  • Tokumoto, Hiroshi
IPC(International Patent Classification)
Specified countries AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GW HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MW MX MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW
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