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DOUBLE REFRACTION MEASURING EQUIPMENT AND DOUBLE REFRACTION MEASURING METHOD achieved

Foreign code F090002064
File No. F090002064
Posted date Apr 17, 2009
Country WIPO
International application number 2007JP062019
International publication number WO 2008/026363
Date of international filing Jun 14, 2007
Date of international publication Mar 6, 2008
Priority data
  • P2006-232380 (Aug 29, 2006) JP
Title DOUBLE REFRACTION MEASURING EQUIPMENT AND DOUBLE REFRACTION MEASURING METHOD achieved
Abstract Double refraction measuring equipment requiring only three pieces of light intensity information and can measure the double refraction characteristics of a measured object through a relatively inexpensive arrangement of equipment. The double refraction measuring equipment is characterized by comprising a light source (1) emitting a light beam having a specific polarization state to the measured object, an optical system for extracting light beams in three predetermined polarization directions, respectively, for a light beam passed through the measured object, a quantity of light detection means (9) for detecting the quantities of light of the light beams in three predetermined polarization directions extracted by the optical system, respectively, and a double refraction amount calculation means (20) for calculating the magnitude and the azimuth of double refraction of the measured object by substituting the quantities of light of light beams detected by the quantity of light detection means into a predetermined function expression.
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】被測定体に存在する1/4波長未満の複屈折の大きさ及びその方位角を測定する複屈折測定装置であって、前記被測定体に対して特定の偏光状態を有する光束を射出する光源と、前記被測定体を経た光束に対して、所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出する光学系と、前記光学系の抽出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を検出する光量検出手段と、前記光量検出手段により検出された前記被検光束の光量それぞれを所定の関数式に代入することで、前記被測定体の複屈折の大きさ及びその方位角を算出する複屈折量算出手段とを有することを特徴とする複屈折測定装置。

【請求項2】前記光学系は、前記所定の3つの偏光方向それぞれのみを透過させる3種のアナライザを順次光路上に切り替えて設置することで前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出するものであることを特徴とする請求項1に記載の複屈折測定装置。

【請求項3】前記光学系は、前記被測定体を経た光束をその偏光状態を保存した状態で3つの被検光束に分割する光束分割手段と、前記3つの被検光束それぞれに対して所定の偏光方向の光束を同時に抽出する3つのアナライザとを有するものであることを特徴とする請求項1に記載の複屈折測定装置。

【請求項4】被測定体に存在する1/4波長未満の複屈折の大きさ及びその方位角を測定する複屈折測定方法であって、前記被測定体に対して特定の偏光状態を有する光束を射出し、前記被測定体を経た光束を光学系に通して、所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出し、前記光学系の抽出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を検出し、検出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を所定の関数式に代入することで、前記被測定体の複屈折の大きさ及びその方位角を算出することを特徴とする複屈折測定方法。

【請求項5】前記所定の3つの偏光方向として、45°,0°,90°それぞれの軸を設定し、それぞれの軸方向に対する光量としてi1,i2,i3を得たときに、【数B1】若しくは、【数B2】にて、被測定体の複屈折の大きさγと方位角φを決定することを特徴とする請求項4に記載の複屈折測定方法。

【請求項6】(a)測定目的とする被測定体若しくは任意の被測定体をテスト被測定体とし、当該テスト被測定体を、少なくとも180°光源の光軸まわりに回転させつつ複屈折の大きさと方位角を測定して複屈折の大きさの変動傾向とテスト被測定体の方位角との関係を求め、この変動傾向の原因となっている複屈折の大きさγ’と方位角φ’を推定し、それを相殺する複屈折を補償複屈折r’とし、(b)前記テスト被測定体の測定結果に前記補償複屈折r’をベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を再び求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、(c)前記複屈折の大きさγ’及び方位角φ’を適宜に変えて、前記テスト被測定体の測定結果に当該変更後の複屈折の大きさγ’及び方位角φ’から求めた補償複屈折r’を再びベクトル合成して複屈折の大きさの変動傾向と方位角との関係を改めて求め、この関係から前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差を求め、(d)前記(c)の処理を繰り返して前記テスト被測定体の複屈折の大きさの標準偏差が最小となる複屈折の大きさγ’及び方位角φ’を探索し、この探索の結果得られた複屈折を最終補償複屈折r”とし、(e)前記(d)の処理にて得られた最終補償複屈折r”をキャリブレーション値とし、(f)前記測定目的とする被測定体に対して前記複屈折の大きさγと方位角φを測定し、この測定結果から複屈折rを求め、(g)前記(f)の処理で得られた複屈折rに対して前記(d)の処理で得られた最終補償複屈折r”をベクトル合成して補償済み複屈折rrealを求め、この補償済み複屈折rrealのベクトル成分を、測定系の誤差を排除した被測定体の真の複屈折の大きさγrealと方位角φrealとして得ることを特徴とする請求項4又は5に記載の複屈折測定方法。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • Tokyo Denki University
  • Inventor
  • Gomi, Kenji
IPC(International Patent Classification)
Specified countries AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BH BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GT GW HN HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MT MW MX MY MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RS RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SV SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
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