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CANTILEVER EXCITATION DEVICE AND SCANNING PROBE MICROSCOPE
CANTILEVER EXCITATION DEVICE AND SCANNING PROBE MICROSCOPE
外国特許コード
F110006051
整理番号
S2009-1161
掲載日
2011年12月28日
出願国
世界知的所有権機関（ＷＩＰＯ）
国際出願番号
2010JP004973
国際公開番号
WO 2011/016256
国際出願日
平成22年8月6日(2010.8.6)
国際公開日
平成23年2月10日(2011.2.10)
優先権データ
特願2009-183723 (2009.8.6) JP
発明の名称 （英語）
CANTILEVER EXCITATION DEVICE AND SCANNING PROBE MICROSCOPE
発明の概要（英語）
Disclosed is a cantilever excitation device which can prevent the complication of resonance characteristics by a simple configuration. Specifically disclosed is a cantilever excitation device (1) provided with a cantilever (7), a cantilever holder (3) for holding the cantilever (7), and a piezoelectric vibrator (5) attached to the cantilever holder (3). The cantilever holder (3) comprises a holder main part (11) (first part) which has an acoustic impedance different from that of the piezoelectric vibrator (5) and transmits the vibration of the piezoelectric vibrator by elastic deformation, and an attachment piece (13) (second part) which has an acoustic impedance different from that of the first part and forms, between the first part and the second part, a material boundary that blocks the propagation of an acoustic wave. The first part and the second part are disposed between the piezoelectric vibrator (5) and the cantilever (7).
出願人（英語）
※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
National University Corporation Kanazawa University
発明者（英語）
ASAKAWA, Hitoshi
FUKUMA, Takeshi
国際特許分類(IPC)
G01Q 70/04
温度・震動に誘引されたエラーの補償のあるもの
G01Q 10/00
走査または位置決め装置，すなわち，プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置
G01Q 30/14
液体環境
G01Q 60/24
ＡＦＭまたはそのための装置，例．ＡＦＭ用のプローブ
G01Q 70/02
プローブホルダー
指定国
AE(UTILITY MODEL),AG,AL(UTILITY MODEL),AM(PROVISIONAL PATENT)(UTILITY MODEL),AO(UTILITY MODEL),AT(UTILITY MODEL),AU,AZ(UTILITY MODEL),BA,BB,BG(UTILITY MODEL),BH(UTILITY MODEL),BR(UTILITY MODEL),BW,BY(UTILITY MODEL),BZ(UTILITY MODEL),CA,CH,CL(UTILITY MODEL),CN(UTILITY MODEL),CO(UTILITY MODEL),CR(UTILITY MODEL),CU(INVENTOR'S CERTIFICATE),CZ(UTILITY MODEL),DE(UTILITY MODEL),DK(UTILITY MODEL),DM,DO(UTILITY MODEL),DZ,EC(UTILITY MODEL),EE(UTILITY MODEL),EG(UTILITY MODEL),ES(UTILITY MODEL),FI(UTILITY MODEL),GB,GD,GE(UTILITY MODEL),GH(UTILITY CERTIFICATE),GM,GT(UTILITY MODEL),HN(UTILITY MODEL),HR(CONSENSUAL PATENT),HU(UTILITY MODEL),ID,IL,IN,IS,JP(UTILITY MODEL),KE(UTILITY MODEL),KG(UTILITY MODEL),KM,KN,KP(INVENTOR'S CERTIFICATE)(UTILITY MODEL),KR(UTILITY MODEL),KZ(PROVISIONAL PATENT)(UTILITY MODEL),LA,LC,LK,LR,LS(UTILITY MODEL),LT,LU,LY,MA,MD(UTILITY MODEL),ME,MG,MK,MN,MW,MX(UTILITY MODEL),MY(UTILITY-INNOVATION),MZ(UTILITY MODEL),NA,NG,NI(UTILITY MODEL),NO,NZ,OM(UTILITY MODEL),PE(UTILITY MODEL),PG,PH(UTILITY MODEL),PL(UTILITY MODEL),PT(UTILITY MODEL),RO,RS(PETTY PATENT),RU(UTILITY MODEL),SC,SD,SE,SG,SK(UTILITY MODEL),SL(UTILITY MODEL),SM,ST,SV(UTILITY MODEL),SY,TH(PETTY PATENT),TJ(UTILITY MODEL),TM(PROVISIONAL PATENT),TN,TR(UTILITY MODEL),TT(UTILITY CERTIFICATE),TZ,UA(UTILITY MODEL),UG(UTILITY CERTIFICATE),US,UZ(UTILITY MODEL),VC(UTILITY CERTIFICATE),VN(PATENT FOR UTILITY SOLUTION),ZA,ZM,ZW,EP(AL,AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,SE,SI,SK,SM,TR),OA(BF(UTILITY MODEL),BJ(UTILITY MODEL),CF(UTILITY MODEL),CG(UTILITY MODEL),CI(UTILITY MODEL),CM(UTILITY MODEL),GA(UTILITY MODEL),GN(UTILITY MODEL),GQ(UTILITY MODEL),GW(UTILITY MODEL),ML(UTILITY MODEL),MR(UTILITY MODEL),NE(UTILITY MODEL),SN(UTILITY MODEL),TD(UTILITY MODEL),TG(UTILITY MODEL)),AP(BW(UTILITY MODEL),GH(UTILITY MODEL),GM(UTILITY MODEL),KE(UTILITY MODEL),LR(UTILITY MODEL),LS(UTILITY MODEL),MW(UTILITY MODEL),MZ(UTILITY MODEL),NA(UTILITY MODEL),SD(UTILITY MODEL),SL(UTILITY MODEL),SZ(UTILITY MODEL),TZ(UTILITY MODEL),UG(UTILITY MODEL),ZM(UTILITY MODEL),ZW(UTILITY MODEL)),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU,TJ,TM)
日本語項目の表示
発明の名称
カンチレバー励振装置及び走査型プローブ顕微鏡
発明の概要
簡単な構成でもって、共振特性の複雑化を防ぐことができるカンチレバー励振装置を提供する。カンチレバー励振装置（１）は、カンチレバー（７）と、カンチレバー（７）を保持するカンチレバーホルダー（３）と、カンチレバーホルダー（３）に取り付けられる圧電振動子（５）とを備える。カンチレバーホルダー（３）が、圧電振動子（５）と異なる音響インピーダンスを有し、圧電振動子の振動を弾性変形によって伝達するホルダー主部（１１）（第１部分）と、第１部分と異なる音響インピーダンスを有し、音響波の伝播を遮断する材料境界を第１部分との間に形成する取付ピース（１３）（第２部分）とを有する。圧電振動子（５）とカンチレバー（７）の間に第１部分及び第２部分が介在している。
※
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『 CANTILEVER EXCITATION DEVICE AND SCANNING PROBE MICROSCOPE 』に関するお問合せ
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関連情報
公報
WO 2011/016256(PDF,516KB)
