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PLASMA GENERATOR AND METHOD OF GENERATING PLASMA USING THE SAME meetings

Foreign code F120006824
Posted date Aug 9, 2012
Country WIPO
International application number 2007JP052893
International publication number WO 2007/105411
Date of international filing Feb 17, 2007
Date of international publication Sep 20, 2007
Priority data
  • P2006-061673 (Mar 7, 2006) JP
Title PLASMA GENERATOR AND METHOD OF GENERATING PLASMA USING THE SAME meetings
Abstract

A plasma generator in which the variation of the impedance in the cavity before and after plasma is ignited is less and hardly affected by the shape of the cavity, and the ignitability of the plasma is improved and a method of generating plasma using the plasma generator are provided. The plasma generator comprises a nonconductive gas flow pipe (1) for introducing a gas (9) for generating plasma and discharging it into the atmosphere and a conductive antenna pipe (2) surrounding the gas flow pipe. A microwave (7) is applied to the antenna pipe to change the gas in the gas flow pipe into plasma. The plasma generator is characterized in that a slit (3) with a predetermined length is formed in the antenna pipe (2) along the axial direction of the gas flow pipe. Preferably, the plasma generator is characterized in that the length of the slit is an integral multiple of the half-wave length of the applied microwave.

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】プラズマ生成用のガスを導入し、大気中に排出する非導電性のガス流路管と、該ガス流路管を取り巻く導電性のアンテナ管とを有し、該アンテナ管にマイクロ波を照射し、該ガス流動管中のガスをプラズマ化するプラズマ発生装置において、該アンテナ管には、ガス流動管の管軸方向に沿って所定の長さのスリットが形成されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項2】請求項1に記載のプラズマ発生装置において、該スリットは、該ガス流路管のガスを排出する側に開口端を有していることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項3】請求項1に記載のプラズマ発生装置において、該スリットは、該アンテナ管の内部に形成されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項4】請求項1乃至3のいずれかに記載のプラズマ発生装置において、該スリットは、スリットの一部がスリットの内側に突出した部分を有することを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項5】請求項1乃至4のいずれかに記載のプラズマ発生装置において、該アンテナ管は、該ガス流路管のガスを排出する側の端部が、該ガス流路管に向かって折れ曲がっていることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項6】請求項1乃至5のいずれかに記載のプラズマ発生装置において、該スリットの長さは、照射するマイクロ波の半波長の整数倍に設定されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項7】請求項1乃至6のいずれかに記載のプラズマ発生装置において、該スリットは該ガス流路管の周囲に沿って少なくとも2つ以上配置されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項8】請求項1乃至7のいずれかに記載のプラズマ発生装置において、該ガス流路管は複数本配置され、各ガス流路管毎に該アンテナ管を備えることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項9】請求項1乃至8のいずれかに記載のプラズマ発生装置において、該アンテナ管は、マイクロ波を伝播する導波管内に、該導波管を貫通して配置されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

【請求項10】請求項1乃至9のいずれかに記載のプラズマ発生装置を用いたプラズマ生成方法において、該ガス流路管内の気圧を大気圧より低い気圧に保持し、マイクロ波を照射してプラズマを点火するプラズマ点火工程と、該プラズマ点火工程の後に、該ガス流路管内の気圧を大気圧状態とする大気圧工程とを有することを特徴とするプラズマ生成方法。

【請求項11】請求項1乃至9のいずれかに記載のプラズマ発生装置を用いたプラズマ生成方法において、第1のガスを該ガス流路管内に供給し、マイクロ波を照射してプラズマを点火するプラズマ点火工程と、該プラズマ点火工程後に、該第1のガスよりプラズマ化し難い第2のガスを、第1のガスと共に供給し、第2のガスをプラズマ化することを特徴とするプラズマ生成方法。

【請求項12】請求項10又は11に記載のプラズマ生成方法において、大気圧状態でプラズマを点火した後に、該ガス流路管と該アンテナ管とを相対的に移動し、該ガス流路管のガス排出側の端部を該アンテナ管のスリット側の端部に近接させる移動工程を有することを特徴とするプラズマ生成方法。

【請求項13】請求項10乃至12のいずれかに記載のプラズマ生成方法において、該アンテナ管に照射されるマイクロ波はパルス駆動され、該パルス駆動の休止期間が、プラズマ平均残存期間以内であることを特徴とするプラズマ生成方法。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • UNIVERSITY OF THE RYUKYUS,
  • YONESU, AKIRA
  • Inventor
  • YONESU, AKIRA
IPC(International Patent Classification)
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