METHOD FOR PRODUCING FUNCTIONAL DEVICE AND APPARATUS FOR PRODUCING FUNCTIONAL DEVICE
| 外国特許コード | F130007377 |
|---|---|
| 整理番号 | E086P44 |
| 掲載日 | 2013年5月30日 |
| 出願国 | 世界知的所有権機関（ＷＩＰＯ） |
| 国際出願番号 | 2012JP078849 |
| 国際公開番号 | WO 2013/069686 |
| 国際出願日 | 平成24年11月7日(2012.11.7) |
| 国際公開日 | 平成25年5月16日(2013.5.16) |
| 優先権データ |
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| 発明の名称 （英語） | METHOD FOR PRODUCING FUNCTIONAL DEVICE AND APPARATUS FOR PRODUCING FUNCTIONAL DEVICE |
| 発明の概要（英語） |
This method for producing a functional device involves a die-pressing step and a functional-solid-material layer formation step. In the die-pressing step, a functional-solid-material precursor layer, which employs a functional-solid-material precursor solution as a starting material, is subjected to a die-pressing process in a manner such that, during at least a portion of time within a period in which a die for forming a die-pressed structure is pressed against the functional-solid-material precursor layer, the first temperature of a heat source that supplies heat to the functional-solid-material precursor layer is higher than the second temperature of the functional-solid-material precursor layer. In the functional-solid-material layer formation step, a functional solid material layer is formed from the functional-solid-material precursor layer by subjecting the functional-solid-material precursor layer to a heat treatment at a third temperature that is higher than said first temperature in an oxygen-containing atmosphere after the die-pressing step. |
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| 国際特許分類(IPC) |
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| 参考情報 （研究プロジェクト等） | ERATO SHIMODA Nano-Liquid Process AREA |
日本語項目の表示
| 発明の名称 | 機能性デバイスの製造方法及び機能性デバイスの製造装置 |
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