METHOD FOR ETCHING METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, METHOD FOR SMOOTHING SURFACE OF METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, AND PATTERNING METHOD USING OZONE WATER
| 外国特許コード | F130007702 |
|---|---|
| 整理番号 | K02821WO |
| 掲載日 | 2013年11月20日 |
| 出願国 | 世界知的所有権機関（ＷＩＰＯ） |
| 国際出願番号 | 2013JP062261 |
| 国際公開番号 | WO 2013/161959 |
| 国際出願日 | 平成25年4月25日(2013.4.25) |
| 国際公開日 | 平成25年10月31日(2013.10.31) |
| 優先権データ |
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| 発明の名称 （英語） | METHOD FOR ETCHING METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, METHOD FOR SMOOTHING SURFACE OF METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, AND PATTERNING METHOD USING OZONE WATER |
| 発明の概要（英語） |
Provided are a method for etching a metal or metal oxide without using a reagent, etc., the affects the environment, a method for smoothing a surface of a metal or metal oxide on an atomic level, and a method for patterning on an atomic level. Etching of a metal or metal oxide, or smoothing of a surface of a metal or metal oxide is possible using ozone water in which only ozone is dissolved. Patterning can also be performed by providing a metal that does not dissolve in the ozone water as a resist on a metal or metal oxide that can be etched by ozone water in which only ozone is dissolved, and etching using the ozone water. |
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| 国際特許分類(IPC) | |
| 参考情報 （研究プロジェクト等） | PRESTO Structures and control of interfaces AREA |
日本語項目の表示
| 発明の名称 | オゾン水による金属又は金属酸化物のエッチング方法、オゾン水による金属又は金属酸化物表面の平滑化方法、及びオゾン水を用いたパターニング方法 |
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