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OBSERVATION AND PHOTOGRAPHY APPARATUS

Foreign code F140007829
File No. S2012-0839-N0
Posted date Jan 29, 2014
Country WIPO
International application number 2013JP066684
International publication number WO 2013191165
Date of international filing Jun 18, 2013
Date of international publication Dec 27, 2013
Priority data
  • P2012-140047 (Jun 21, 2012) JP
Title OBSERVATION AND PHOTOGRAPHY APPARATUS
Abstract Disclosed is an observation and photography apparatus to which a polishing mechanism (20) is attached. The polishing mechanism (20) is provided with: a turntable (24) with a perpendicular rotation shaft (23); a polishing cloth (26, 27) for polishing the surface of a sample (15) attached to the bottom surface of the turntable (24); and a polishing-fluid spray nozzle (31, 33) disposed below the polishing cloth (26, 27) for spraying polishing fluid containing a polishing material upward to wet the polishing cloth (26, 27).
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
試料の表面を観察し撮影することができる撮像部付き顕微鏡に、前記観察に先立って前記試料の表面を垂直方向に等間隔又は設定した量を繰返し研磨する研磨機構が付属している観察撮影装置であって、
前記研磨機構は、回転軸が鉛直である回転盤と、この回転盤の下面に取付けられ前記試料の表面を研磨する研磨布と、この研磨布より下に配置され上向きに研磨材を含む研磨液を噴射して前記研磨布を濡らす研磨液噴射ノズルとを備えていることを特徴とする観察撮影装置。
[請求項2]
前記研磨布は、前記回転盤の下面中央に配置される内側研磨布と、この内側研磨布を囲うように前記回転盤の下面に配置された少なくとも1個の外側研磨布とからなることを特徴とする請求項1記載の観察撮影装置。
[請求項3]
前記内側研磨布は、前記外側研磨布より目が細かいことを特徴とする請求項2記載の観察撮影装置。
[請求項4]
試料の表面を観察し撮影することができる撮像部付き顕微鏡に、前記観察に先立って前記試料の表面を垂直方向に等間隔又は設定した量を繰返し電解研磨する電解研磨機構が付属している観察撮影装置であって、
前記電解研磨機構は、回転軸が鉛直である回転盤と、この回転盤の下面に取付けられ観察面を電解研磨する電解液を吸収する電解液吸収布と、この電解液吸収布より下に配置され上向きに前記電解液を噴射して前記電解液吸収布を濡らす電解液噴射ノズルとを備えていることを特徴とする観察撮影装置。
[請求項5]
前記電解液噴射ノズルから腐食液を噴射させることを特徴とする請求項4記載の観察撮影装置。
[請求項6]
前記試料の表面又は観察面までの距離を計測する計測器と、この計測器で計測する研磨前の距離と研磨後の距離との差から研磨量を演算する演算部を備えていることを特徴とする請求項1又は請求項4記載の観察撮影装置。
[請求項7]
前記試料の表面又は観察面までの距離を計測する計測器と、この計測器で前記表面又は観察面の複数の箇所を測定させ、得られた複数の計測値を統計的に処理して表面あらさを求める統計処理部を備えていることを特徴とする請求項1又は請求項4記載の観察撮影装置。
[請求項8]
前記回転盤は筒状カバー内に配置され、前記撮像部付き顕微鏡は前記筒状カバーの外に配置され、前記研磨液噴射ノズル又は前記電解液噴射ノズルの噴射領域は前記筒状カバー内に設定されることを特徴とする請求項1又は請求項4記載の観察撮影装置。
[請求項9]
研磨又電解研磨が施された前記試料を前記撮像部付き顕微鏡の観察位置まで移動する試料台昇降機構と、前記表面又は観察面が前記撮像部付き顕微鏡の焦点に合致するように前記研磨量を見込んで前記試料台昇降機構を制御する制御部を備えていることを特徴とする請求項6記載の観察撮影装置。
[請求項10]
前記撮像部付き顕微鏡は、水平に移動するステージに取付けられ、
前記制御部は、前記ステージによる移動前の画像を保存し、前記ステージにより移動した前記撮像部付き顕微鏡が、前記移動前の画像に基づいて元の位置へ戻るように、前記ステージを制御する制御機能をも有することを特徴とする請求項9記載の観察撮影装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • KAGOSHIMA UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
  • NAKAYAMADENKI CO., LTD.
  • Inventor
  • ADACHI YOSHITAKA
  • NAKAYAMA MAKOTO
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IS JP KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN TD TG
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