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SPECTRAL CHARACTERISTIC MEASUREMENT DEVICE

Foreign code F140007881
File No. S2014-0310-N0
Posted date Jul 23, 2014
Country WIPO
International application number 2013JP076871
International publication number WO 2014054708
Date of international filing Oct 2, 2013
Date of international publication Apr 10, 2014
Priority data
  • P2012-223460 (Oct 5, 2012) JP
Title SPECTRAL CHARACTERISTIC MEASUREMENT DEVICE
Abstract This spectral characteristic measurement device is provided with: a division optical system which divides measurement light fluxes respectively emitted from a plurality of measurement points located within a measurement region of an object to be measured into a first measurement light flux and a second measurement light flux; an imaging optical system which causes the first measurement light flux and the second measurement light flux to interfere with each other; a light path length difference imparting means which imparts a continuous light path difference distribution between the first measurement light flux and the second measurement light flux; a detection unit which detects the light intensity distribution of interference light; a processing unit which, on the basis of the light intensity distribution of the interference light detected by the detection unit, obtains an interferogram of the measurement points of the object to be measured, and acquires a spectrum by Fourier-transforming the interferogram; a conjugate plane imaging optical system which is disposed between the object to be measured and the division optical system and has a conjugate plane shared with the division optical system; and a periodicity imparting means which is disposed in the conjugate plane and imparts periodicity between the measurement light fluxes emitted from the plurality of measurement points.
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
a) 被測定物の測定領域内に位置する複数の測定点からそれぞれ発せられた測定光束を第1の測定光束及び第2の測定光束に分割する分割光学系と、
b) 前記第1の測定光束及び前記第2の測定光束を干渉させる結像光学系と、
c) 前記第1の測定光束及び前記第2の測定光束の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
d) 前記干渉光の光強度分布を検出する検出部と、
e) 前記検出部で検出される前記干渉光の光強度分布に基づき、前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と、
f) 前記被測定物と前記分割光学系の間に配置された、該分割光学系と共通の共役面を有する共役面結像光学系と、
g) 前記共役面に配置され、前記複数の測定点から発せられた測定光束の間に周期性を付与する周期性付与手段と
を備えることを特徴とする分光特性測定装置。
[請求項2]
a) 固定反射部、及び光軸方向に移動可能な可動反射部と、
b) 被測定物の測定領域内に位置する複数の測定点からそれぞれ発せられた測定光束を前記固定反射部と前記可動反射部に入射させる入射光学系と、
c) 前記固定反射部によって反射された測定光束と前記可動反射部によって反射された測定光束を同一点に導いて両測定光束の干渉光を形成する結像光学系と、
d) 前記干渉光の光強度を検出する干渉光検出部と、
e) 前記可動反射部を移動させることにより前記干渉光検出部で検出される前記干渉光の光強度変化に基づき前記両測定光束のインターフェログラムを求める処理部と
f) 前記被測定物と前記入射光学系の間に配置された、該入射光学系と共通の共役面を有する共役面結像光学系と、
g) 前記共役面に配置され、前記複数の測定点から発せられた測定光束の間に周期性を付与する周期性付与手段と
を備えることを特徴とする分光特性測定装置。
[請求項3]
a) 入射面と出射面が平行な第1透過部と、入射面及び出射面のいずれか一方が前記第1透過部の入射面又は出射面と同一面上にあり、入射面及び出射面のうちの一方に対して他方が傾斜するくさび形の第2透過部から成る透過型の光学部材と、
b) 被測定物の測定領域内に位置する複数の測定点からそれぞれ発せられた測定光束を平行光線化して前記第1透過部及び前記第2透過部に入射させる1個の対物レンズと、
c) 前記第1透過部を透過した第1測定光束と前記第2透過部を透過した第2測定光束が入射する、前記第1透過部と前記第2透過部の境界面と前記第1透過部の入射面との交線に平行な軸を有する、シリンドリカルレンズと、
d) 前記シリンドリカルレンズに入射した前記第1測定光束と前記第2測定光束の干渉光の強度分布を検出する検出部と、
e) 前記検出部で検出される前記干渉光の強度分布に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備えることを特徴とする分光特性測定装置。
[請求項4]
さらに、
前記被測定物と前記対物レンズの間に配置された、該対物レンズと共通の共役面を有する共役面結像光学系と、
前記共役面に配置され、前記複数の測定点から発せられた測定光束の間に周期性を付与する周期性付与手段と
を備えることを特徴とする請求項3に記載の分光特性測定装置。
[請求項5]
さらに、
前記対物レンズ、前記光学部材、前記シリンドリカルレンズ、前記検出部を一列に並べた状態で収容する、前記対物レンズ側の端部に前記被測定物の測定点から発せられた測定光束を取り込むための窓部を有する筒状ケースを備えることを特徴とする請求項3又は4に記載の分光特性測定装置。
[請求項6]
前記筒状ケース内に回転自在に配置された、前記光学部材及び前記シリンドリカルレンズを収容する内部ケースを備えることを特徴とする請求項5に記載の分光特性測定装置。
[請求項7]
前記内部ケースを回転させる駆動手段機構を備えることを特徴とする請求項6に記載の分光特性測定装置。
[請求項8]
前記対物レンズが光軸方向に移動可能に前記筒状ケース内に取り付けられていることを特徴とする請求項5~7のいずれかに記載の分光特性測定装置。
[請求項9]
前記周期性付与手段が振幅型回折格子であることを特徴とする請求項1、2、4のいずれかに記載の分光特性測定装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • KAGAWA UNIVERSITY
  • Inventor
  • ISHIMARU ICHIRO
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IS JP KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN TD TG
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