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METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SCATTERING INTENSITY DISTRIBUTION

Foreign code F150008056
File No. S2013-0150-C0
Posted date Jan 8, 2015
Country WIPO
International application number 2013JP083064
International publication number WO 2014092073
Date of international filing Dec 10, 2013
Date of international publication Jun 19, 2014
Priority data
  • P2012-273064 (Dec 14, 2012) JP
Title METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SCATTERING INTENSITY DISTRIBUTION
Abstract The present invention provides a method and a device for measuring a scattering intensity distribution capable of rapidly measuring the scattering intensity distribution in a reciprocal lattice space. An X-ray radiated from an X-ray source (101) is reflected using an X-ray optical element (102) so as to be focused in the vicinity of the surface of a specimen (SA). In a state where a correlation exists between the angles formed by a reference surface and each of a plurality of light paths of monochromatic X-rays focused via the light paths, and angles formed by the normal to the reference surface and a surface including a light path positioned in the center of the light paths, the monochromic X-rays are caused to impinge on the specimen at the same time at the glancing angle (ω), which differs depending on the individual light paths. The scattering intensity of the monochromic X-rays scattered from the specimen is detected using a two-dimensional detector (103). The scattering intensity distribution in the reciprocal lattice space is computed on the basis of the scattering intensity distribution detected by the two-dimensional detector and the correlation.
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
X線源から放射されるX線を、試料の表面近傍において集束させるようにX線光学素子で反射させ、
複数の光路を経て集束される単色化されたX線の各光路が、基準面に対してなす角度と、前記各光路が、前記各光路の中央に位置する光路と前記基準面の垂線とを含む面に対してなす角度との間に相関のある状態で、前記単色化されたX線を前記試料に対して前記各光路に応じて異なる視射角で一度に入射させ、前記相関のある状態は、前記X線の伝播される面が、前記基準面、及び前記各光路の中央に位置する光路と前記基準面の垂線とを含む面に対して任意の角度で傾斜された状態であり、前記試料で散乱される前記単色化されたX線の散乱強度を2次元検出器で検出し、
前記2次元検出器で検出される散乱強度分布を前記相関に基づいて座標変換することにより、前記逆格子空間での散乱強度分布を算出することを特徴とする散乱強度分布の測定方法。
[請求項2]
前記X線源、前記X線光学素子、及び前記試料を、同一の円周に沿って配置することを特徴とする請求項1記載の散乱強度分布の測定方法。
[請求項3]
前記基準面は、前記円周を含む平面であることを特徴とする請求項2に記載の散乱強度分布の測定方法。
[請求項4]
前記基準面は、前記試料の表面であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の散乱強度分布の測定方法。
[請求項5]
前記X線として特性X線を用いることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の散乱強度分布の測定方法。
[請求項6]
前記X線光学素子として2重湾曲結晶又はbent-twisted結晶を用いることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の散乱強度分布の測定方法。
[請求項7]
X線源と、
前記X線源から放射されるX線を、試料の表面近傍において集束させるように反射させ、前記試料に対して異なる視射角で単色化されたX線を一度に入射させるX線光学素子と、
前記試料で散乱される前記単色化されたX線の散乱強度を検出する2次元検出器と、
前記2次元検出器で検出される散乱強度分布に基づいて、逆格子空間での散乱強度分布を算出する演算部と、を備え、
複数の光路を経て集束される前記単色化されたX線の各光路が、基準面に対してなす角度と、前記各光路が、前記各光路の中央に位置する光路と前記基準面の垂線とを含む面に対してなす角度との間に相関のある状態で、前記単色化されたX線を前記試料に入射させ、前記相関のある状態は、前記X線の伝播される面が、前記基準面、及び前記各光路の中央に位置する光路と前記基準面の垂線とを含む面に対して任意の角度で傾斜された状態であり、前記散乱強度分布を前記相関に基づいて座標変換することにより、前記逆格子空間での散乱強度分布を算出することを特徴とする測定装置。
[請求項8]
前記X線源、前記X線光学素子、及び前記試料は、同一の円周に沿って配置されることを特徴とする請求項7に記載の測定装置。
[請求項9]
前記基準面は、前記円周を含む平面であることを特徴とする請求項8に記載の測定装置。
[請求項10]
前記基準面は、前記試料の表面であることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の測定装置。
[請求項11]
前記X線源は、前記X線として用いられる特性X線を発生可能に構成されたことを特徴とする請求項7から請求項10のいずれかに記載の測定装置。
[請求項12]
前記X線光学素子は、2重湾曲結晶又はbent-twisted結晶であることを特徴とする請求項7から請求項11のいずれかに記載の測定装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION HIGH ENERGY ACCELERATOR RESEARCH ORGANIZATION
  • Inventor
  • MATSUSHITA TADASHI
  • VOEGELI WOLFGANG
  • SHIRASAWA TETSURO
  • TAKAHASHI TOSHIO
  • ARAKAWA ETSUO
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IR IS KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN TD TG
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