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SCANNING TUNNELING MICROSCOPE AND OBSERVATION IMAGE DISPLAY METHOD

Foreign code F150008151
File No. K02822WO
Posted date Mar 17, 2015
Country WIPO
International application number 2013JP076957
International publication number WO 2014054741
Date of international filing Oct 3, 2013
Date of international publication Apr 10, 2014
Priority data
  • P2012-221324 (Oct 3, 2012) JP
Title SCANNING TUNNELING MICROSCOPE AND OBSERVATION IMAGE DISPLAY METHOD
Abstract A scanning tunneling microscope comprises: a probe; a control unit which controls the distance between the probe and a sample; a voltage imparting unit which imparts a DC voltage between the probe and the sample; a measurement unit which measures a tunneling current which flows between the probe and the sample by the DC voltage; an extraction unit which extracts as an observation value a specified frequency component among instantaneous values of the tunneling current which is measured by the measurement unit; and an observation information generation unit which, on the basis of the observation value which is extracted by the extraction unit, generates observation information which includes information relating to a chemical state of the surface of the sample and/or the internal structure thereof.
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
探針と、
前記探針と試料との間の距離を制御する制御部と、
前記探針と前記試料との間に直流電圧を印加する電圧印加部と、
前記直流電圧によって前記探針と前記試料との間に流れるトンネル電流を計測する計測部と、
前記計測部により計測された前記トンネル電流の瞬時値のうち特定の周波数成分を観察値として抽出する抽出部と、
前記抽出部により抽出された前記観察値に基づいて、前記試料の表面の化学状態および内部構造のいずれか少なくとも一つに関する情報を含む観察情報を生成する観察情報生成部とを備える走査型トンネル顕微鏡。
[請求項2]
請求項1に記載の走査型トンネル顕微鏡において、
前記抽出部は、前記トンネル電流の瞬時値のうち、50kHz未満のいずれかの周波数を上限とする周波数成分を前記観察値として抽出する走査型トンネル顕微鏡。
[請求項3]
請求項1または2に記載の走査型トンネル顕微鏡において、
前記抽出部は、前記トンネル電流の瞬時値のうち、0.01kHz以上のいずれかの周波数を下限とする周波数成分を前記観察値として抽出する走査型トンネル顕微鏡。
[請求項4]
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の走査型トンネル顕微鏡において、
前記観察情報生成部は、さらに前記計測部により計測された前記トンネル電流の時間平均値に基づいて、前記試料の表面の形状に関する第2の観察情報を生成する走査型トンネル顕微鏡。
[請求項5]
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の走査型トンネル顕微鏡において、
前記制御部は、前記計測部により計測された前記トンネル電流の時間平均値が一定となるように、前記探針と前記試料との間の距離を制御する走査型トンネル顕微鏡。
[請求項6]
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の走査型トンネル顕微鏡において、
前記制御部は、前記探針と前記試料との間の距離が一定となるように、前記探針と前記試料との間の距離を制御する走査型トンネル顕微鏡。
[請求項7]
探針と表示モニタとを備えた走査型トンネル顕微鏡を用いた観察画像表示方法であって、
前記探針と試料との間に直流電圧を印加したときに前記探針と前記試料との間に流れるトンネル電流を計測し、
前記計測されたトンネル電流の瞬時値のうち特定の周波数成分を観察値として抽出し、
前記抽出された観察値に基づいて、前記試料の表面の化学状態および内部構造のいずれか少なくとも一つに関する情報を含む観察画像を前記表示モニタに表示する観察画像表示方法。
[請求項8]
請求項7に記載の観察画像表示方法において、
前記トンネル電流の瞬時値のうち、50kHz未満のいずれかの周波数を上限とする周波数成分を前記観察値として抽出する観察画像表示方法。
[請求項9]
請求項7または8に記載の観察画像表示方法において、
前記トンネル電流の瞬時値のうち、0.01kHz以上のいずれかの周波数を下限とする周波数成分を前記観察値として抽出する観察画像表示方法。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • Inventor
  • SAITO AKIRA
IPC(International Patent Classification)
Reference ( R and D project ) PRESTO Structures and control of interfaces AREA
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