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HIGH-FREQUENCY ELECTROMAGNETIC FIELD MEASUREMENT DEVICE

Foreign code F150008320
File No. S2012-1241-C0
Posted date Apr 16, 2015
Country WIPO
International application number 2013JP074059
International publication number WO 2014147866
Date of international filing Sep 6, 2013
Date of international publication Sep 25, 2014
Priority data
  • P2013-054700 (Mar 18, 2013) JP
Title HIGH-FREQUENCY ELECTROMAGNETIC FIELD MEASUREMENT DEVICE
Abstract [Problem] To provide a high-frequency electromagnetic field measurement device that can separate the impact of a high-frequency electromagnetic field and the impact of a high-frequency electric field, that are generated by the input of a high-frequency signal, and that can measure a high-frequency electromagnetic field with high precision. [Solution] A magnetic force sensor (21) is formed from the cantilever of a magnetic force microscope (11) and can detect a magnetic field. A current line (12) is formed from a coil and is disposed so as to be adjacent to an object of measurement (1). A carrier guide means (13) inputs a high-frequency carrier signal to the object of measurement (1), and a reference wave guide means (14) is configured so as to input a high-frequency reference wave signal to the current line (12). Further, the potential when the carrier signal is input to the object of measurement (1) from the carrier guide means (13) is made to match the potential of the magnetic force sensor (21). The magnetic force microscope (11) has a placement stand (22) onto which the object of measurement (1) is placed, a displacement measurement means (23) for measuring the displacement of the magnetic force sensor (21), and a scanning means (24) for scanning the magnetic force sensor (21).
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
高周波信号を入力された測定対象物が発する高周波磁界を測定するための高周波電磁界測定装置であって、
磁気的作用による振動を利用して磁界を検出可能な磁気力センサと、
前記測定対象物に近接して配置された電流線と、
前記測定対象物に高周波の搬送波信号を入力する搬送波導入手段と、
前記電流線に高周波の参照波信号を入力可能であり、入力する前記参照波信号の周波数を変更可能に構成された参照波導入手段とを有し、
前記搬送波導入手段から前記測定対象物に前記搬送波信号を入力するときの電位と、前記磁気力センサの電位とが等しくなるよう構成されていることを
特徴とする高周波電磁界測定装置。
[請求項2]
磁気力顕微鏡を有し、
前記磁気力センサは、前記磁気力顕微鏡のカンチレバーから成り、
前記磁気力顕微鏡は、前記測定対象物を載せる載置台と、前記磁気力センサの振動による変位を測定する変位測定手段と、前記測定対象物に対して前記磁気力センサを相対的に走査させる走査手段とを有していることを、
特徴とする請求項1記載の高周波電磁界測定装置。
[請求項3]
前記電流線はコイルから成っており、
前記カンチレバーは絶縁体から成り、先端の探針の表面に磁性体膜が形成されていることを
特徴とする請求項2記載の高周波電磁界測定装置。
[請求項4]
前記カンチレバーの前記磁性体膜の磁性材料の磁化を交流消磁可能に、前記電流線に交番磁界を印加するための交流電源と、
前記カンチレバーの前記磁性体膜の磁性材料の磁化を再着磁可能に、前記電流線に直流磁界を発生させるための直流電源とを、
有することを特徴とする請求項3記載の高周波電磁界測定装置。
[請求項5]
前記電流線は開放型伝送線路から成っており、
前記カンチレバーはシリコン製であることを
特徴とする請求項2記載の高周波電磁界測定装置。
[請求項6]
前記参照波導入手段により周波数を変更しながら前記参照波信号を入力したとき、前記変位測定手段により測定された前記磁気力センサの振動による変位から、前記磁気力センサが共振周波数で振動したときの振幅を求めるとともに、そのときの前記参照波導入手段による前記参照波信号の周波数を求め、求められた前記磁気力センサの振幅と前記参照波信号の周波数とに基づいて、前記搬送波信号の入力により前記測定対象物が発する高周波信号の振幅と周波数とを算出する解析手段を有することを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の高周波電磁界測定装置。
[請求項7]
前記磁気力センサは絶縁体から成ることを特徴とする請求項1記載の高周波電磁界測定装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • TOHOKU UNIVERSITY
  • Inventor
  • ENDO YASUSHI
  • YAMAGUCHI MASAHIRO
  • SHIMADA YUTAKA
  • MUROGA SHO
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IS JP KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN TD TG
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