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MEASUREMENT DEVICE

Foreign code F150008346
File No. 外0119
Posted date May 19, 2015
Country WIPO
International application number 2014JP057701
International publication number WO 2014171256
Date of international filing Mar 20, 2014
Date of international publication Oct 23, 2014
Priority data
  • P2013-085624 (Apr 16, 2013) JP
Title MEASUREMENT DEVICE
Abstract A complex-amplitude-information measurement device (10) according to the present invention is provided with: a group of pixels configured such that the optical distances of object light from a measurement object (100) thereto are mutually different; a camera (15) provided with an imaging element which acquires intensity information related to the measurement object by imaging, on one occasion, object light that has passed through or been reflected by the group of pixels; and a computer (16) which obtains, from the intensity information, phase information related to the measurement object (100).
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
計測対象からの物体光の光学的距離を互いに異ならせる複数の画素群と、
前記画素群を通過あるいは反射した物体光を一度に撮影することによって前記計測対象の強度情報を取得する撮像素子と、
前記強度情報から前記計測対象の位相情報を求める位相情報演算手段と、を備えることを特徴とする計測装置。
[請求項2]
前記位相情報演算手段は、
前記強度情報から各画素群を通過あるいは反射した物体光を撮影することによって取得されたピクセルを抽出して、各画素群に対応する抽出データを生成する抽出手段と、
前記各抽出データに対して画素補間を行うことにより、補間データを生成する補間手段と、
前記各補間データから前記位相情報を求める算出手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
[請求項3]
前記位相情報演算手段は、
前記強度情報に含まれるピクセルの任意の組み合わせから前記位相情報を求める算出手段を有することを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
[請求項4]
前記算出手段は、強度輸送方程式に基づき前記位相情報を求めることを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
[請求項5]
前記算出手段は、フーリエ変換に基づき前記位相情報を求めることを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
[請求項6]
前記各画素群は、前記計測対象からの空間的距離が互いに異なることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の計測装置。
[請求項7]
前記計測対象と前記撮像素子の撮像面との間に、
前記計測対象からの物体光を直線偏光に変換する偏光子と、
入射光の振動方向によって屈折率が異なり、前記偏光子を透過した光を互いに直交する直線偏光成分に分離する波長板と、
前記直線偏光成分の遅軸成分のみを透過させる第1の領域、および前記直線偏光成分の速軸成分のみを透過させる第2の領域を有する微小偏光子アレイと、を備え、
前記画素群は、第1の画素群と第2の画素群とからなり、
前記第1の領域は、前記第1の画素群を構成する画素と重なり合っており、前記第2の領域は、前記第2の画素群を構成する画素と重なり合っていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の計測装置。
[請求項8]
前記計測対象と前記撮像素子の撮像面との間に、屈折率の互いに異なる複数の領域を有する複数の屈折率を持つアレイを備え、
前記各領域は、前記各画素群と重なり合っていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の計測装置。
[請求項9]
前記領域のうち、最も屈折率の低い領域が空洞領域であることを特徴とする請求項8に記載の計測装置。
[請求項10]
前記物体光は直線偏光であり、
前記計測対象と前記撮像素子の撮像面との間に、
入射光の振動方向によって屈折率が異なり、前記直線偏光を互いに直交する直線偏光成分に分離する波長板と、
前記直線偏光成分の遅軸成分のみを透過させる第1の領域、および前記直線偏光成分の速軸成分のみを透過させる第2の領域を有する微小偏光子アレイと、を備え、
前記画素群は、第1の画素群と第2の画素群とからなり、
前記第1の領域は、前記第1の画素群を構成する画素と重なり合っており、前記第2の領域は、前記第2の画素群を構成する画素と重なり合っていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の計測装置。
[請求項11]
前記計測対象と前記撮像素子の撮像面との間に、
前記計測対象からの物体光を直線偏光に変換する偏光子と、
入射光の振動方向によって屈折率が異なり第1の振動方向の直線偏光成分の屈折率が最大となる第1の領域、および入射光の振動方向によって屈折率が異なり第1の振動方向と異なる第2の振動方向の直線偏光成分の屈折率が最大となる第2の領域を有する波長板アレイと、を備え、
前記画素群は、第1の画素群と第2の画素群とからなり、
前記第1の領域は、前記第1の画素群を構成する画素と重なり合っており、前記第2の領域は、前記第2の画素群を構成する画素と重なり合っていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の計測装置。
[請求項12]
前記物体光は直線偏光であり、
前記計測対象と前記撮像素子の撮像面との間に、
入射光の振動方向によって屈折率が異なり第1の振動方向の直線偏光成分の屈折率が最大となる第1の波長板、および入射光の振動方向によって屈折率が異なり第1の振動方向と異なる第2の振動方向の直線偏光成分の屈折率が最大となる第2の波長板を有する波長板アレイを備え、
前記画素群は、第1の画素群と第2の画素群とからなり、
前記第1の波長板は、前記第1の画素群を構成する画素と重なり合っており、前記第2の波長板は、前記第2の画素群を構成する画素と重なり合っていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の計測装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KYOTO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
  • Inventor
  • AWATSUJI YASUHIRO
  • XIA PENG
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IR IS JP KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN TD TG
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