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BIREFRINGENCE MEASUREMENT DEVICE AND BIREFRINGENCE MEASUREMENT METHOD meetings

Foreign code F160008756
File No. (S2014-1021-N0)
Posted date Jun 2, 2016
Country WIPO
International application number 2015JP072783
International publication number WO 2016031567
Date of international filing Aug 11, 2015
Date of international publication Mar 3, 2016
Priority data
  • P2014-171159 (Aug 26, 2014) JP
Title BIREFRINGENCE MEASUREMENT DEVICE AND BIREFRINGENCE MEASUREMENT METHOD meetings
Abstract The present invention addresses the problem of providing a birefringence measurement device that has a simple structure without a rotating mechanism and is capable of measuring the detailed two-dimensional distribution of the birefringence of an object of measurement in real time. A birefringence measurement device 1A according to the present invention is characterized by being provided with a light beam generation means 2 for generating a light beam L1, light beam irradiation means 3, 4, 5 for irradiating the light beam L1 onto an object of measurement 20 in a predetermined polarization state, an image-formation optical system 10 for forming the light beam L4 having passed through the object of measurement 20 into an image, a polarization grating 8 disposed within the image-formation optical system 10, an imaging means 12 for generating a brightness-and-darkness signal pertaining to the brightness and darkness of the image formed by the image-formation optical system 10, and an output means for outputting information that has been determined on the basis of the brightness-and-darkness signal and pertains to the phase difference of the light beam L4 resulting from the passing of the light beam through the object of measurement 20, and in that the imaging means 12 generates the brightness-and-darkness signal for at least one of the diffracted beams L7 from among the plurality of diffracted beams generated by the polarization grating 8.
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
光束を生成する光束生成手段と、
前記光束を予め定められた偏光状態にして測定対象物に照射する光束照射手段と、
前記測定対象物を透過した光束を結像させる結像光学系と、
前記結像光学系の途中に配置された偏光回折格子と、
前記結像光学系により結像された像の明暗に関する明暗信号を生成する撮像手段と、
前記明暗信号に基づいて求めた、前記測定対象物を透過したことにより生じた、前記測定対象物を透過した光束における位相差に関する情報を出力する出力手段と、
を備え、
前記撮像手段は、前記偏光回折格子が生じさせた複数の回折光のうちの少なくとも一つの回折光の像の前記明暗信号を生成することを特徴とする複屈折測定装置。
[請求項2]
前記測定対象物に入射する光束は、円偏光であることを特徴とする請求項1に記載の複屈折測定装置。
[請求項3]
前記撮像手段は、前記偏光回折格子が生じさせた+1次回折光および-1次回折光のうち、前記測定対象物を透過した光束が前記測定対象物に入射した円偏光と同一の円偏光である場合に最も暗くなり、前記測定対象物を透過した光束が前記測定対象物に入射した円偏光とは反対に回転する円偏光である場合に最も明るくなる方の像の前記明暗信号を生成することを特徴とする請求項2に記載の複屈折測定装置。
[請求項4]
前記偏光回折格子は、石英板または透明樹脂板からなる構造複屈折偏光回折格子であることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれか一項に記載の複屈折測定装置。
[請求項5]
前記偏光回折格子は、隣接方向に並べられた複数の格子単位からなり、
前記格子単位のそれぞれは、1次元の短冊状格子からなり、
前記隣接方向に周期構造が形成されるように、隣接した前記格子単位における格子ベクトルの向きが異なっていることを特徴とする請求項4に記載の複屈折測定装置。
[請求項6]
前記短冊状格子の周期は、前記光束生成手段が生成する光束の波長を0.6倍した値よりも小さいことを特徴とする請求項5に記載の複屈折測定装置。
[請求項7]
前記結像光学系は4f光学系であり、前記測定対象物と前記撮像手段との中間位置に前記偏光回折格子が配置されていることを特徴とする請求項1~請求項6のいずれか一項に記載の複屈折測定装置。
[請求項8]
請求項1~7のいずれか一項に記載の複屈折測定装置を備え、
前記測定対象物としてのフィルムの複屈折における異常を検査するために使用されることを特徴とするフィルム検査装置。
[請求項9]
光束を生成する光束生成工程と、
前記光束を予め定められた偏光状態にして測定対象物に照射する光束照射工程と、
前記測定対象物を透過した光束を偏光回折格子を介して結像させる結像工程と、
前記結像工程により結像した像の明暗に関する明暗信号を生成する信号生成工程と、
前記明暗信号に基づいて求めた、前記測定対象物を透過したことにより生じた、前記測定対象物を透過した光束における位相差に関する情報を出力する出力工程と、
を備え、
前記信号生成工程において、前記偏光回折格子が生じさせた複数の回折光のうちの少なくとも一つの回折光の像の前記明暗信号を生成することを特徴とする複屈折測定方法。
[請求項10]
請求項9に記載の複屈折測定方法により、前記測定対象物としてのフィルムの複屈折における異常を検査することを特徴とするフィルム検査方法。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • THE DOSHISHA
  • NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
  • Inventor
  • EMOTO AKIRA
  • OTANI NAOKI
  • FUKUDA TAKASHI
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IR IS JP KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN ST TD TG

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