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DETECTION DEVICE

Foreign code F170009233
File No. S2017-0383-N0
Posted date Sep 14, 2017
Country WIPO
International application number 2016JP057271
International publication number WO 2017033481
Date of international filing Mar 9, 2016
Date of international publication Mar 2, 2017
Priority data
  • P2015-163541 (Aug 21, 2015) JP
Title DETECTION DEVICE
Abstract A detection device (100) detects an elastic wave propagated via air. The detection device (100) is provided with: a plate-shaped first electrode (12) that has a cantilever structure having a fixed end (FX) and a free end (FR), and vibrates by being curved by the elastic wave; and a plate-shaped second electrode (32) that faces the first electrode (12) with a predetermined distance therebetween. The detection device (100) detects the elastic wave on the basis of a change in capacitance between the first electrode (12) and the second electrode (32). An end of the second electrode (32) in a direction from the fixed end (FX) to the free end (FR) is located closer to the fixed end (FX) side than the free end (FR).
Outline of related art and contending technology BACKGROUND ART
The elastic wave propagated through air and the detection device has been known. For example, as described in Patent Document 1, the detection device, a predetermined distance apart from the first face 2 of the first and second plate-like electrodes 1. The first electrode 1, in the predetermined direction at opposite ends to the fixed end and a free end in a cantilever structure. The first electrode 1, is bent by the elastic wave vibration. The detection device, the first 2 and second 1 a change in the capacitance between the electrodes based on the detected acoustic waves.
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
空気を介して伝搬される弾性波を検出する検出装置であって、
固定端及び自由端を有するカンチレバー構造を有するとともに、前記弾性波によって湾曲することにより振動する板状の第1の電極と、
前記第1の電極と所定の距離を隔てて対向する板状の第2の電極と、を備えるとともに、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量の変化に基づいて前記弾性波を検出し、
前記固定端から前記自由端へ向かう方向における前記第2の電極の端は、前記自由端よりも前記固定端側に位置する、検出装置。
[請求項2]
請求項1に記載の検出装置であって、
第1の電極層と、
前記第1の電極層と接するとともに絶縁体からなる絶縁層と、
前記第1の電極層と反対側にて前記絶縁層と接する第2の電極層と、
を備え、
前記第1の電極層は、前記第1の電極と、前記第1の電極を支持する第1の支持部と、を含み、
前記第2の電極層は、前記第2の電極と、前記第2の電極を支持する第2の支持部と、を含み、
前記第1の電極の前記固定端は、前記第1の支持部と連接し、
前記第1の電極の端のうちの前記固定端以外の部分は、前記第1の支持部との間に所定の間隙を有し、
前記絶縁層は、前記絶縁層のうちの前記第1の電極と対向する部分にて開口する第1の貫通孔を有し、
前記第2の電極層は、前記第2の電極層のうちの前記第1の電極と対向する部分の中で、前記固定端から前記自由端へ向かう方向において前記第2の電極よりも前記自由端側の部分にて開口する第2の貫通孔を有する、検出装置。
[請求項3]
請求項1又は請求項2に記載の検出装置であって、
前記第2の電極は、複数の貫通孔を有する、検出装置。
[請求項4]
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の検出装置であって、
前記第1の電極及び前記第2の電極を含む検出器と、
前記検出器と接する空間を内部に有するとともに、前記空間と連通する開口を有する本体と、
を備える、検出装置。
[請求項5]
請求項4に記載の検出装置であって、
光を生成する光源を備え、
前記本体は、前記生成された光が透過する窓を有する、検出装置。
[請求項6]
請求項5に記載の検出装置であって、
前記窓は、前記空間に対して前記検出器と同じ側に位置する、検出装置。
[請求項7]
請求項5又は請求項6に記載の検出装置であって、
前記空間は、基部と、前記基部と前記開口とを連通する管部と、を含み、
前記管部の少なくとも一部は、前記窓と前記開口とを結ぶ直線に沿って延びる、検出装置。
[請求項8]
請求項4乃至請求項7のいずれか一項に記載の検出装置であって、
前記本体は、前記空間を形成する壁に振動可能に設けられた振動板を有し、
前記検出装置は、
第1の検出器としての前記検出器よりも、検出可能な弾性波の周波数の帯域が広く、且つ、空気を介して伝搬される弾性波を検出するとともに、前記空間と接する第2の検出器と、
前記第2の検出器による前記検出の結果に基づいて前記振動板の振動を制御する振動制御器と、
を備える、検出装置。
[請求項9]
請求項4乃至請求項8のいずれか一項に記載の検出装置であって、
前記本体は、前記空間におけるヘルムホルツ共振の共振周波数が、前記第1の電極の共振周波数と一致する形状を有する、検出装置。
[請求項10]
請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の検出装置であって、
前記第1の電極及び前記第2の電極を含む、複数の検出器と、
光を生成する光源と、
前記複数の検出器のそれぞれに対して、前記光が生成されてから前記検出器により前記弾性波が検出されるまでの時間に基づいて、前記弾性波の波源の位置を推定する処理装置と、
を備える、検出装置。
[請求項11]
請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の検出装置であって、
前記生成された光が照射される位置を、互いに異なる複数の位置のそれぞれに制御する照射制御器を備える、検出装置。
[請求項12]
請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の検出装置であって、
互いに異なる複数の波長をそれぞれ有する複数の光を生成する光源を備え、
前記複数の光が照射されることによってそれぞれ生成された複数の弾性波を検出し、前記検出の結果に基づいて、所定の対象物によって生成された弾性波を検出する、検出装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • TOHOKU UNIVERSITY
  • NIHON KOHDEN CORPORATION
  • Inventor
  • ONO, Takahito
  • ONO, Yoshinobu
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IR IS KE KG KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN ST TD TG
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