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PHASE CONTRAST TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE DEVICE

Foreign code F170009265
File No. (S2016-0480-N0)
Posted date Oct 24, 2017
Country WIPO
International application number 2017JP012654
International publication number WO 2017170558
Date of international filing Mar 28, 2017
Date of international publication Oct 5, 2017
Priority data
  • P2016-069638 (Mar 30, 2016) JP
Title PHASE CONTRAST TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE DEVICE
Abstract [Problem] To provide a phase contrast transmission electron microscope equipped with a long-life phase modulating means which does not absorb the electron beam and is not affected by the irradiation of the electron beam, and in which it is possible to vary the phase modulation amount of the electron beam.
[Solution] An electron microscope 10 is equipped with: an electron gun; a first laser irradiation process which is provided between the electron beam source and an objective lens and irradiates the electron beam emitted from the electron beam source with a laser; a second laser irradiation process which is provided upon the focal plane behind the objective lens and converges a laser upon the focal point of the electron beam passing through a sample while irradiating the beam with the laser; and a screen or two-dimensional electron beam sensor which detects a sample image as the intensity distribution of the electron beam by means of an image forming optical system.
Outline of related art and contending technology BACKGROUND ART
Emitted from the electron gun and the electron beam transmitted through the sample to be inspected using a transmission electron microscope is observed, for example, the following Patent Document 1 or 2 including a variety of literature and are known, such as observing the structure of the nanometer-thin samples used in a wide range. That is, according to a transmission electron microscope, the electron beam is irradiated to the sample, the electron beam transmitted through the sample, two-dimensional detector 2 on a screen by magnifying and projecting, the internal structure of a sample observing method and the watermark, the sample absorption of the electron beam inside the object reflecting a projection image is obtained.
Scope of claims (In Japanese)[請求項1]
電子線を放射する電子源と、
対物レンズと、
前記電子線源と前記対物レンズの間に配置され、試料を保持するための試料保持台と、
前記対物レンズの後方に配置された結像光学系と、
前記結像光学系による試料像を、電子線の強度分布として検出するための手段とを備えた透過電子顕微鏡装置であって、
前記対物レンズの背後の焦点面上において、前記電子線に、その進行方向と平行である電場の向きを有するレーザー光を照射する第1のレーザー光照射手段を備えていることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項2]
前記請求項1に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、さらに、前記電子線源と前記対物レンズの間において前記電子線源から放射された電子線を集光する第1の集光レンズを備え、当該第1の集光レンズの焦点面上においてレーザーを照射する第2のレーザー光照射手段を備えていることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項3]
前記請求項2に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記第2のレーザー光照射手段からのレーザー光も、前記電子線の進行方向と平行である電場の向きを有するレーザー光であることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項4]
前記請求項3に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記第1のレーザー光照射手段からのレーザー光と前記第2のレーザー光照射手段からのレーザー光は、同一のレーザー発振器から発生されたレーザー光であることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項5]
前記請求項4に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記同一のレーザー発振器は、シングルモードのレーザー発振器であることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項6]
前記請求項4に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記第2のレーザー光照射手段によるレーザー光の照射の下流側で前記試料を透過する以前の前記電子線の焦点にレーザーを照射する第3のレーザー光照射手段を備えていることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項7]
前記請求項6に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記第3のレーザー光照射手段からのレーザー光も、前記電子線の進行方向と平行である電場の向きを有するレーザー光であることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項8]
前記請求項7に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記第1のレーザー光照射手段からのレーザー光と前記第2のレーザー光照射手段からのレーザー光と前記第3のレーザー光照射手段からのレーザー光は、同一のレーザー発振器から発生されたレーザー光であることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項9]
前記請求項8に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記同一のレーザー発振器は、シングルモードのレーザー発振器であることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項10]
前記請求項1に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記試料像の検出手段は、スクリーンもしくは2次元電子線センサを含んでいることを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
[請求項11]
前記請求項1に記載した位相差透過電子顕微鏡装置において、前記照射レーザーのパラメーターを変化させ、複数の画像を取得することにより、前記試料による位相変化、振幅変化、もしくは、ビジビリティを画像として検出することを特徴とする位相差透過電子顕微鏡装置。
  • Applicant
  • ※All designated countries except for US in the data before July 2012
  • NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES
  • Inventor
  • NAGATANI Yukinori
IPC(International Patent Classification)
Specified countries National States: AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BG BH BN BR BW BY BZ CA CH CL CN CO CR CU CZ DE DJ DK DM DO DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM GT HN HR HU ID IL IN IR IS JP KE KG KH KN KP KR KW KZ LA LC LK LR LS LU LY MA MD ME MG MK MN MW MX MY MZ NA NG NI NO NZ OM PA PE PG PH PL PT QA RO RS RU RW SA SC SD SE SG SK SL SM ST SV SY TH TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
ARIPO: BW GH GM KE LR LS MW MZ NA RW SD SL SZ TZ UG ZM ZW
EAPO: AM AZ BY KG KZ RU TJ TM
EPO: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
OAPI: BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW KM ML MR NE SN ST TD TG

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