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中国科学技術大学の化学;冶金に関する特許一覧
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出願番号
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特許番号
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発明の名称
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掲載日
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更新日
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1
特願2005-299218
特許第4800734号
薄膜形成装置及び薄膜形成方法
2015/03/30
2018/03/05
2
特願2006-034133
特許第4806268号
薄膜形成装置および薄膜形成方法
2015/03/30
2018/02/22
3
特願2009-287963
特許第5031019号
太陽電池カバー、その製造方法及び融雪方法
2015/03/30
2018/01/29
4
特願2010-541648
WO2012035603
磁場発生装置、マグネトロンカソード及びスパッタ装置
2015/03/30
2015/03/30
5
特願2011-541971
特許第4948681号
磁場発生装置、マグネトロンカソード及びスパッタ装置
2015/03/30
2018/01/11
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