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透明材料加工方法、透明材料加工装置及び透明材料 新技術説明会

Patent code P210017398
File No. (S2018-0219-N0)
Posted date 2021年1月27日
Application number 特願2019-563963
Date of filing 平成30年12月20日(2018.12.20)
International application number JP2018047072
International publication number WO2019135362
Date of international filing 平成30年12月20日(2018.12.20)
Date of international publication 令和元年7月11日(2019.7.11)
Priority data
  • 特願2018-000508 (2018.1.5) JP
Inventor
  • 花田 修賢
Applicant
  • 国立大学法人弘前大学
Title 透明材料加工方法、透明材料加工装置及び透明材料 新技術説明会
Abstract 材料の加工を簡易かつ高効率で行う。
透明材料加工方法は、熱硬化性透明材料を加工する方法である。透明材料加工方法は、熱硬化前の熱硬化性透明材料を配置する配置工程(S01)と、配置された熱硬化前の熱硬化性透明材料にレーザー光を照射して、当該熱硬化前の熱硬化性透明材料にキャビテーションバブルを発生させるレーザー光照射工程(S02)と、キャビテーションバブルが発生した熱硬化前の熱硬化性透明材料に対して硬化処理を行う硬化処理工程(S03)とを含む。
Outline of related art and contending technology

ポリジメチルシロキサン(PDMS)に代表される熱硬化性透明材料は、高い透過性、化学的安定性、軽量かつ安価である等の優れた諸特性を有する。そのため、電子・電気等の工業分野における基板としての利用はもちろんのこと、バイオ及び医療分野でも、バイオチップ及び医療デバイスの材料として近年利用がされている。現在、これらの材料の微細加工技術には、鋳型を用いたモールディング又はフォトリソグラフィが主に用いられている。また、レーザーを用いた微細加工技術は、レーザー光を走査するだけで任意形状の微細加工を実現することができる。汎用レーザーを用いた透明材料の微細加工技術には、LIPAA法(例えば、特許文献1参照)及びLIBWE法(例えば、特許文献2参照)がある。

Field of industrial application

本発明は、熱に応じて硬化する透明材料を加工する透明材料加工方法及び透明材料加工装置、並びに透明材料に関する。

Scope of claims 【請求項1】
熱に応じて硬化する透明材料を加工する透明材料加工方法であって、
硬化前の透明材料を配置する配置工程と、
前記配置工程において配置された前記硬化前の透明材料にレーザー光を照射して、当該硬化前の透明材料にキャビテーションバブルを発生させるレーザー光照射工程と、
前記レーザー光照射工程においてキャビテーションバブルが発生した硬化前の透明材料に対して硬化処理を行う硬化処理工程と、
を含む透明材料加工方法。

【請求項2】
前記配置工程において、前記硬化前の透明材料をレーザー光吸収体に接触させて配置し、
前記レーザー光照射工程において、前記配置工程において配置されたレーザー光吸収体に対して、前記硬化前の透明材料を介してレーザー光を照射して、当該硬化前の透明材料にキャビテーションバブルを発生させる、請求項1に記載の透明材料加工方法。

【請求項3】
前記レーザー光吸収体は、金属であり、
前記硬化処理工程において硬化処理が行われた透明材料に対してメッキ処理を行うメッキ処理工程を更に含む請求項2に記載の透明材料加工方法。

【請求項4】
前記レーザー光照射工程において、前記レーザー光吸収体に対して、レーザー光を集光して照射する請求項2又は3に記載の透明材料加工方法。

【請求項5】
前記配置工程において、前記レーザー光照射工程において前記硬化前の透明材料に照射されるレーザー光の出射位置から当該硬化前の透明材料にかけて、固体及び液体の少なくとも何れかから構成される透明な物質を配置する請求項1~4の何れか一項に記載の透明材料加工方法。

【請求項6】
熱に応じて硬化する透明材料を加工する透明材料加工装置であって、
硬化前の透明材料を収容する容器と、
前記容器に収容された前記硬化前の透明材料にレーザー光を照射するレーザー光照射装置と、
前記容器に収容された前記硬化前の透明材料における、前記レーザー光照射装置によってレーザー光が照射される位置が移動するように、前記容器及び前記レーザー光照射装置の少なくとも何れか一方を移動させる移動手段と、
を備える透明材料加工装置。

【請求項7】
前記レーザー光照射装置によって前記硬化前の透明材料に照射されるレーザー光の出射位置から当該硬化前の透明材料にかけて配置される固体及び液体の少なくとも何れかから構成される透明な物質を更に備える請求項6に記載の透明材料加工装置。

【請求項8】
請求項1~5の何れか一項に記載の透明材料加工方法によって加工された熱に応じて硬化する透明材料。
IPC(International Patent Classification)
F-term
  • 4E168AE04
  • 4E168AE05
  • 4E168DA24
  • 4E168EA11
  • 4E168EA13
  • 4E168JA01
  • 4E168JA04
  • 4E168JA14
  • 4E168KA04
Drawing

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JP2019563963thum.jpg
State of application right 公開
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