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EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS

Patent code P06P004375
File No. E-006
Posted date Jun 23, 2006
Application number P2004-342700
Publication number P2006-156577A
Patent number P4517147
Date of filing Nov 26, 2004
Date of publication of application Jun 15, 2006
Date of registration May 28, 2010
Inventor
  • (In Japanese)東口 武史
  • (In Japanese)窪寺 昌一
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人 宮崎大学
Title EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a liquid target from scattering into a vacuum container without being recovered into a liquid target recovery cylinder and the degree of vacuum in the vacuum container from lowering, and further to prevent the liquid target from adhering to the liquid target recovery cylinder and from growing into icicle-shaped ice pieces.
SOLUTION: The liquid target recovery apparatus K comprises liquid target recovery cylinders 9, 13 composed of an inside recovery cylinder 9 for recovery of a liquid target which the liquid target T passing through a laser light irradiation position A1 of a plasma light emission light source apparatus 1 enters, and of an outside recovery cylinder 13 disposed to surround a peripheral surface of the inside recovery cylinder 9; recovery nozzle heating apparatuses H1, H2 for the liquid target recovery cylinders 9, 13; an inside recovery cylinder exhaust apparatus S1 for exhausting gas in the interior R1 of the inside recovery cylinder 9; and a cylindrical space exhaust apparatus S2 for exhausting gas in a cylindrical space R2 between an outside surface of the inside recovery cylinder 9 and an inside surface of the outside recovery cylinder 13.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


前記液体ターゲットをレーザ光照射領域に連続的または断続的に供給してプラズマ発光させて所定の波長の光を得るレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、真空状態に保持されるプラズマ発光室内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズルと、前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されて前記レーザ光照射位置を通過した液体ターゲットを回収する液体ターゲット回収筒とが使用される。



前記液体ターゲット回収筒は、前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置されており、液体ターゲット吐出ノズルから吐出された液体ターゲットは、前記レーザ光照射位置を通過してから前記液体ターゲット回収筒の先端から回収筒内部に進入し、回収される。
前記液体ターゲット回収筒内部は排気装置により真空に排気されており、その先端部は、通常直径数ミリから1cmのパイプまたは、真空度を維持するためのためのスキーマ(直径数100μmのアパーチャ)が設けられている。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、液体ターゲットをレーザ光照射領域に連続的または断続的に供給してプラズマ発光させて所定の波長の光を得るレーザ生成プラズマ方式による光源装置および液体ターゲット回収装置に関する。
前記光源装置は、光リソグラフィ露光用光源として使用可能である。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
下記の構成要件(A01)~(A06)を備えたプラズマ発光光源装置、
(A01)真空状態に保持されるプラズマ発光室、
(A02)前記真空プラズマ発光室内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズル、
(A03)前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されて前記レーザ光照射位置を通過した液体ターゲットが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒と、前記内側回収筒の外周面を囲むように配置された外側回収筒とを有する液体ターゲット回収筒、
(A04)内側回収筒の先端部を加熱する内側回収筒加熱装置、
(A05)前記内側回収筒の内部の気体を排気する内側回収筒排気装置、
(A06)前記内側回収筒の外側面と前記外側回収筒の内側面との間の円筒状空間の気体を排気する円筒状空間排気装置。

【請求項2】
 
下記の構成要件(A07)を備えた請求項1記載のプラズマ発光光源装置
(A07)前記外側回収筒の先端部を加熱する外側回収筒加熱装置。

【請求項3】
 
下記の構成要件(A03)~(A06)を備えた液体ターゲット回収装置。
(A03)前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されてレーザ光照射位置を通過した液体ターゲットが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒と、前記内側回収筒の外周面を囲むように配置された外側回収筒とを有する液体ターゲット回収筒、
(A04)内側回収筒の先端部を加熱する内側回収筒加熱装置、
(A05)前記内側回収筒の内部の気体を排気する内側回収筒排気装置、
(A06)前記内側回収筒の外側面と前記外側回収筒の内側面との間の円筒状空間の気体を排気する円筒状空間排気装置。

IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2004342700thum.jpg
State of application right Registered


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