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COARSE/FINE POSITIONING DEVICE meetings

Patent code P06A009467
Posted date Nov 17, 2006
Application number P2005-040478
Publication number P2006-226811A
Patent number P4825966
Date of filing Feb 17, 2005
Date of publication of application Aug 31, 2006
Date of registration Sep 22, 2011
Inventor
  • (In Japanese)森本 喜隆
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人宇都宮大学
Title COARSE/FINE POSITIONING DEVICE meetings
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To propose a coarse/fine positioning device for shortening positioning time while performing high-accuracy positioning.
SOLUTION: This coarse/fine positioning device is characterized by including: a feed screw connected via a nut to a table; a reduction gear made by coaxially disposing input and output shafts with the output shaft of the reduction gear connected to one end of the feed screw; a motor for fine feed connected to the input shaft of the reduction gear; and a hollow motor for coarse feed having a hollow part with the output shaft put therethrough and having a casing part of the reduction gear coaxially fitted/held thereon in the hollow part. Preferably, the reduction gear is a wave gear reducer.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


半導体産業や工作機械やバイオケミカル産業を始めとする位置決め装置を動作機構に用いる産業では、ナノメートルの位置決め精度と位置決め時間の短縮が要求されている。しかし、位置決め精度を向上させると、位置決めを完了するまでの所要時間が長くなり、生産性の向上や、測定評価時間の短縮には悪影響を及ぼす。これを解決するために、本発明は、粗動による高速位置決めと微動による高精度位置決めを両立させた機構により、位置決め時間の短縮と同時に高精度な位置決めを実現することを目的とした。従来の位置決め機構としては、モータに減速機を取付けて単に分解能を上げただけの位置決め装置や、モータと圧電素子との組合せにより、モータを用いて粗動位置決めし、圧電素子を用いて微動位置決めする装置が市販されている。また、圧電素子を用いてテーブルの位置決めをする従来技術としては、特許文献1に記載の微動テーブル装置がある。
【特許文献1】
特開2004-146718号公報

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、同軸上に2個のモータと減速機を配して、粗動および微動をしながら軸上の対象物を位置決めする粗動微動位置決め装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、
入力軸と出力軸が同軸に配置された減速機であって前記送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、
前記減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、
出力軸が貫通した中空であって該中空部に前記減速機のケーシング部を同軸に嵌着保持するとともに前記微動送り用のモータと同時に駆動および制御される粗動送り用の中空モータと、
を備えたことを特徴とする粗動微動位置決め装置。

【請求項2】
 
請求項1に記載の粗動微動位置決め装置において、
前記減速機は波動歯車減速機であることを特徴とする粗動微動位置決め装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2005040478thum.jpg
State of application right Registered
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