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LASER EQUIPMENT AND WAVELENGTH CONVERSION DEVICE commons achieved

Patent code P06P005138
File No. NU-0116
Posted date Mar 2, 2007
Application number P2005-228571
Publication number P2007-048776A
Patent number P3870238
Date of filing Aug 5, 2005
Date of publication of application Feb 22, 2007
Date of registration Oct 27, 2006
Inventor
  • (In Japanese)松見 豊
  • (In Japanese)高橋 けんし
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人名古屋大学
Title LASER EQUIPMENT AND WAVELENGTH CONVERSION DEVICE commons achieved
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser of a wavelength in a desired vacuum ultraviolet region with high efficiency by sweeping a wavelength of a second laser after the wavelength of a first laser is set so that it is matched to two photon resonance by a non-linear medium the most.
SOLUTION: In laser equipment using a four wave mix laser oscillation method, krypton gas is irradiated with the first laser, two photon resonance intermediate excitation occurs in krypton gas, krypton gas is irradiated with the second laser different in the wavelength from the first laser and a third laser having a third wavelength different from the first laser and the second laser is oscillated. Equipment is provided with a current measuring device measuring ion current caused by two photon resonance multiphoton ionization of krypton gas by irradiation of the first laser, and a wavelength controller controlling the wavelength of the first laser based on output of the current measuring device.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


従来、下記特許文献1、2及び非特許文献1に開示されているように、100~200nmの真空紫外領域のレーザを得るには、次の四波混合方式が知られている。可視光、紫外光のレーザなどの2つの異なる周波数ω1 、ω2 のレーザをクリプトン、キセノンなどの希ガスに照射して、希ガスの非線形効果により、周波数(2ω1 +ω2 )と、(2ω1 -ω2 )との2つの真空紫外領域の周波数のレーザを得るものである。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、主として、真空紫外領域(約100nm~200nm)の波長を有したレーザ装置及びそのレーザ装置に用いられる波長変換装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
非線形媒質に第1のレーザを照射して、この非線形媒質において二光子共鳴中間励起を生起させると共に、前記第1のレーザとは波長の異なる第2のレーザを前記非線形媒質に照射して、前記第1のレーザ及び前記第2のレーザの波長と異なる第3の波長を有した第3のレーザを発振させる四波混合レーザ発振方法を用いたレーザ装置において、
前記第1のレーザの照射による前記非線形媒質の二光子共鳴多光子イオン化によって生じるイオン電流を測定する電流測定装置と、
前記電流測定装置の出力に基づいて、前記第1のレーザの波長を制御する波長制御装置と
を有することを特徴とするレーザ装置。

【請求項2】
 
前記波長制御装置は、前記電流測定装置が測定する前記イオン電流が最大となるように、前記第1のレーザの波長を制御することを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。

【請求項3】
 
前記非線形媒質は、気体であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザ装置。

【請求項4】
 
前記非線形媒質を導入した金属ケースを有する波長変換装置を有し、
前記電流測定装置は、
前記波長変換装置の金属ケースを電極とした第1の電極と、
この金属ケース内に配置された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極間に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と
を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のレーザ装置。

【請求項5】
 
非線形媒質に第1のレーザを照射して、この非線形媒質において二光子共鳴中間励起を生起させると共に、前記第1のレーザとは波長の異なる第2のレーザを前記非線形媒質に照射して、前記第1のレーザ及び前記第2のレーザの波長と異なる第3の波長を有した第3のレーザを発振させる四波混合レーザ発振方法を用いたレーザ装置における波長変換装置であって、
前記第1のレーザの照射による前記非線形媒質の二光子共鳴多光子イオン化によって生じるイオン電流を測定する電流測定装置を有することを特徴とする波長変換装置。

【請求項6】
 
前記非線形媒質を導入した金属ケースを有し、
前記電流測定装置は、
前記波長変換装置の金属ケースを電極とした第1の電極と、
この金属ケース内に配置された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極間に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と
を有することを特徴とする請求項5に記載の波長変換装置。

【請求項7】
 
前記非線形媒質は、気体であることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の波長変換装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2005228571thum.jpg
State of application right Registered
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