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METHOD FOR FORMING MIRROR SURFACE GROOVE AND DEVICE FORMED BY USING THE SAME meetings

Patent code P07A012490
File No. ID5145
Posted date Dec 28, 2007
Application number P2006-051967
Publication number P2007-230798A
Patent number P4378482
Date of filing Feb 28, 2006
Date of publication of application Sep 13, 2007
Date of registration Oct 2, 2009
Inventor
  • (In Japanese)池野 順一
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人埼玉大学
Title METHOD FOR FORMING MIRROR SURFACE GROOVE AND DEVICE FORMED BY USING THE SAME meetings
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming a mirror surface groove, by which a fine mirror surface groove can be readily formed.
SOLUTION: In the method for forming the mirror surface groove, the groove 21 is formed by irradiating crystallized glass 20 with laser 18 to convert the irradiated part of the crystallized glass 20 into amorphous and then peeling the resulting amorphous part 22. In this method, the part 22 made amorphous is peeled by the action of the transformation stress and thermal stress to the crystallized glass 20 and the groove 21 is formed. This method can be performed without requiring a large-scale device and various microchemical chips can be manufactured in a short time at a low cost.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


近年、ガラス板上に微細な溝を形成したマイクロ化学チップが、生体の分析や化学分析に多用されている。
図11は、マイクロ化学チップの一例を示している。マイクロ化学チップは、ガラス板上に幅数十~数百μm、深さ数十μmの溝を形成し、その上に平坦なガラス板を重ねて、そのガラス板に溝への導入口を形成したものであり、流路となる微細な溝に血液や試薬などを流し、その流路内で混合、反応、分離、検出などが行われる。この溝は、液体を流す都合上、鏡面であることが求められており、現在、半導体加工技術を利用してエッチングなどによって溝が作成されている(非特許文献1)。
【非特許文献1】
http://www.nsg.co.jp/products/bio/microchip/chip/products.html「日本板硝子 製品案内」

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、ガラス上に微細な鏡面の溝を形成する方法関し、特に、レーザを用いて鏡面溝を形成できるようにしたものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
結晶化ガラスの溝形成位置にレーザ光を走査しながら照射して照射箇所の結晶化ガラスを非晶質に変質させ、非晶質化した部分を剥離させて溝を形成することを特徴とする鏡面溝形成方法。

【請求項2】
 
請求項1に記載の鏡面溝形成方法であって、前記結晶化ガラスを常温より低い温度に冷却して前記レーザを照射することを特徴とする鏡面溝形成方法。

【請求項3】
 
請求項1または2に記載の鏡面溝形成方法であって、前記結晶化ガラスとしてLi2O-Al2O3-SiO2系低膨張結晶化ガラスを使用することを特徴とする鏡面溝形成方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2006051967thum.jpg
State of application right Registered
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