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ORGANIC MONOMOLECULAR FILM DEPOSITION APPARATUS AND ITS METHOD

Patent code P09A014426
File No. 834
Posted date May 8, 2009
Application number P2005-220458
Publication number P2007-031812A
Patent number P4590560
Date of filing Jul 29, 2005
Date of publication of application Feb 8, 2007
Date of registration Sep 24, 2010
Inventor
  • (In Japanese)▲桑▼島 修一郎
  • (In Japanese)石田 謙司
  • (In Japanese)堀内 俊壽
  • (In Japanese)松重 和美
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人京都大学
Title ORGANIC MONOMOLECULAR FILM DEPOSITION APPARATUS AND ITS METHOD
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic monomolecular film deposition apparatus and its method for depositing an organic monomolecular film by evaporating a raw material for vapor deposition in vacuum and depositing the vaporized raw material on a substrate to coat it.
SOLUTION: In the organic monomolecular film deposition apparatus for depositing the organic monomolecular film by accommodating the raw material A for vapor deposition in a vacuum chamber 11 being evacuated, then evaporating the raw material A by heating it with a heating source 17 and depositing the film from the vaporized raw material A on a substrate B held in the vacuum chamber 11, a cooling source 12 for cooling the substrate B and a shielding plate 15 for shielding a vaporization source during vapor deposition in such a manner that it is impossible to see the opening part 16-1 of a crucible 16 as the vaporization source from the area C of the substrate B, where the organic monomolecular film is formed, are provided.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


近年、有機薄膜を利用した電子デバイスの研究、開発が鋭意為されている。有機薄膜として鎖状低分子の有機単分子膜を利用する場合、その作製方法は、自己組織化法とLB(Langmuir-Blodgett)法とが主に知られている。この自己組織化法は、例えば真空蒸着法によって金Auの薄膜を形成した基板を、硫黄原子Sを含む有機分子を溶かした溶液に浸す方法である。これによって硫黄原子が金の薄膜表面に化学結合し、自己組織化単分子膜(Self-Assembled Monolayer、SAM)が金の薄膜表面上に形成される(例えば、非特許文献1及び非特許文献2)。また、LB法は、疎水性の部分と親水性の部分とを有する有機分子を水面上に展開及び圧縮することによって水面上に単分子膜(L膜)を形成し、水面に基板を通過させることによって水面上の単分子膜を基板表面に移し取る方法である(例えば、非特許文献3及び非特許文献4)。
【非特許文献1】
Abraham Ulman,”Formation and Structure of Self-Assembled Monolayers”,Chem Rev.Vol.96,(1996),pp1533-1554
【非特許文献2】
Ralph G.Nuzzo and David L.Allara,”Adsorption of Bifunctional Organic Disulfides on Gold Surfaces”,Journal of the American Chemical Society,Vol.105,(1983),pp4481-4483
【非特許文献3】
Irving Langmuir,”The Constitution and Fundamental Properties of Solids and Liquids.II.Liquids.”,Journal of the American Chemical Society,Vol.39,(1917),pp1848-1906
【非特許文献4】
Katharine B. Blodgett,”Films Built by Depositing Successive Monomolecular Layers on a Solid Surface”,Journal of the American Chemical Society,Vol.57,(1935),pp1007-1022

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、真空中で蒸着原料を蒸発させ基板に被着させて有機単分子膜を成膜する有機単分子膜成膜装置及び有機単分子膜成膜方法に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
真空引きされる成膜室内に蒸着原料を収容し、前記蒸着原料を加熱手段により加熱して蒸発させ、前記成膜室内に保持した基板上に前記蒸発した蒸着原料による有機単分子膜を成膜する有機単分子膜成膜装置において、
前記基板を冷却する冷却源と、
前記基板における前記有機単分子膜を形成すべき領域から蒸発源を見た場合に、蒸着中、前記蒸発源が見えないように隠す遮蔽部材とを備えること
を特徴とする有機単分子膜成膜装置。

【請求項2】
 
前記蒸着原料は、フッ化ビニリデンオリゴマーであること
を特徴とする請求項1に記載の有機単分子膜成膜装置。

【請求項3】
 
冷却した基板上に、有機単分子膜の蒸着原料を真空中において、前記基板における前記有機単分子膜を形成すべき領域から蒸発源を見た場合に、蒸着中、前記蒸発源が見えないように隠す遮蔽部材を介して蒸着すること
を特徴とする有機単分子膜成膜方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2005220458thum.jpg
State of application right Registered
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