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(In Japanese)磁気吸引型非接触搬送装置 meetings

Patent code P09S000266
Posted date Jan 15, 2010
Application number P2006-547756
Patent number P4802332
Date of filing Nov 18, 2005
Date of registration Aug 19, 2011
International application number JP2005021273
International publication number WO2006059505
Date of international filing Nov 18, 2005
Date of international publication Jun 8, 2006
Priority data
  • P2004-346842 (Nov 30, 2004) JP
Inventor
  • (In Japanese)小森 望充
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人九州工業大学
Title (In Japanese)磁気吸引型非接触搬送装置 meetings
Abstract (In Japanese)コイル(14)が巻かれて先部に磁極を形成する磁性体(12)と、磁性体(12)に組み込まれ磁極によって吸引される対象物(16)の変位を測定する変位計(15)と、変位計(15)の出力を入力としコイル(14)に流れる電流を制御して対象物(16)の位置を制御する制御装置(28)とを備えた磁気吸着素子(10)を1又は2以上有し、変位計(15)と磁性体(12)を一体化して、磁気吸引型非接触搬送装置全体をコンパクト化した。
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


近年、磁気浮上技術を応用したものとして、モータの磁気軸受、磁気浮上式鉄道、非接触型搬送装置等が注目され、実用化されている。中でも、例えば、日本国特開平6-46592号公報や特開平7-123528号公報にそれぞれ記載されているような停止保持装置や磁気浮上搬送装置は、搬送物を非接触状態で保持するため、機械的なマニピュレータと異なり摩擦による摩耗や、潤滑の問題がなくなるという利点がある。これは真空中やクリーンルーム内で対象物を、メンテナンスフリーで処理するのに適している。



しかしながら、前記特許公報記載の技術あるいはその他の文献に記載されている技術においては、対象物の位置を直接検知するセンサーが、対象物の下方又は側方に設けられている。この理由は、上部に磁石を備えこの磁石によって対象物を吸引する方式の磁気浮上装置においては、上部に対象物の位置を検知するセンサーがあると磁石の邪魔になり、センサーによっては磁気の影響を受けることがあるからと考えられるが、磁石とセンサーを別々に配置すると、配線等が複雑化して装置が大型化するという問題がある。また、対象物の移動範囲が広いと、多数のセンサーを必要とする。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、電磁石を用いて物体を吸引し、浮上させて搬送又は回転させる磁気吸引型非接触搬送装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
コイルが巻かれて先部に磁極を形成する磁性体と、前記磁性体に組み込まれ前記磁極によって吸引される対象物の変位を測定する変位計と、該変位計の出力を入力とし前記コイルに流れる電流を制御して前記対象物の位置を制御する制御装置とを備えた磁気吸着素子を有し、
前記磁性体はそれぞれ下端に中央磁極と環状磁極を備え上部で連結された中央の磁極鉄心部とその外側の筒状鉄心部を有し、前記磁極鉄心部を中心に断面円形に形成され、
前記変位計は、中央の棒状部と、該棒状部の周囲に配置された筒状部と、前記棒状部と前記筒状部との上端を連結するヨーク部を有するセンサー用コアと、前記棒状部に巻回されたコイルとを備えた渦電流センサーからなって、前記磁極鉄心部の中央に形成された円柱状空洞部に、該磁極鉄心部とは隙間を有して埋設され、前記磁極の直下にある前記対象物の変位を直接検知することを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。

【請求項2】
 
請求項1記載の磁気吸引型非接触搬送装置において、前記変位計は高透磁率のケースに収納されて、前記円柱状空洞部に配置されていることを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。

【請求項3】
 
請求項1又は2記載の磁気吸引型非接触搬送装置において、前記磁性体には外側に永久磁石が組み込まれていることを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。

【請求項4】
 
請求項1~3のいずれか1項に記載の磁気吸引型非接触搬送装置において、前記磁性体の内又は外には、前記対象物に回転トルクを与える補助コイルが設けられていることを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。

【請求項5】
 
請求項1~4のいずれか1項に記載の磁気吸引型非接触搬送装置において、前記磁気吸着素子は、ロボットハンドのアームの先部に設けられていることを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。

【請求項6】
 
請求項1~5のいずれか1項に記載の磁気吸引型非接触搬送装置において、複数の前記磁気吸着素子が共通の架台に設けられ、前記磁気吸着素子の中間には、前記対象物の上側に設けられた磁石とは同極の磁極を有ししかもその磁極が下方に向いた吸着防止用磁石が設けられていることを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
State of application right Registered
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