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(In Japanese)超電導磁気浮上による非接触搬送装置 meetings

Patent code P09S000267
Posted date Jan 15, 2010
Application number P2006-548795
Patent number P4543181
Date of filing Dec 8, 2005
Date of registration Jul 9, 2010
International application number JP2005022577
International publication number WO2006067974
Date of international filing Dec 8, 2005
Date of international publication Jun 29, 2006
Priority data
  • P2004-368136 (Dec 20, 2004) JP
Inventor
  • (In Japanese)小森 望充
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人九州工業大学
Title (In Japanese)超電導磁気浮上による非接触搬送装置 meetings
Abstract (In Japanese)複数の永久磁石(16)~(19)が底部に設けられ、搬送対象物(11)を運ぶ搬送台(12)と、搬送台(12)の各永久磁石(16)~(19)の直下に配置される超電導体(20)を備えた搬送案内手段(13)と、搬送案内手段(13)に設けられて、搬送台(12)と搬送案内手段(13)との距離を検知する距離センサ(21)と、搬送案内手段(13)に設けられて、通電によって搬送台(12)を制振するための磁界を発生させる制振コイル(25)と、距離センサ(21)の信号によって搬送台(12)の振動を検知し、制振コイル(25)に流す電流を制御する制御部(27)とを有する。これによって、超電導磁気浮上によって非接触で搬送している搬送対象物(11)等に外乱があっても、短時間のうちにその振動が収まり、安定して搬送対象物(11)を搬送可能な超電導磁気浮上による非接触搬送装置(10)を提供できる。
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


現在、半導体製造においては、ミクロンサイズでのゴミの存在も許容されないクリーンな真空室(真空槽)で行う必要がある。この真空室等でシリコンウェーハ等を移動させるには、無発塵のクリーンロボットを用いる必要があり、半導体の製造装置自体から隔離され、密閉された真空室内で全ての処理工程を完了することが望まれている。
このような真空室(又は密閉室)内にある物体を真空室外から操作して移動させるには、例えば、超電導による磁気浮上搬送装置を用いることが好ましい。このような超電導を用いた磁気浮上装置が、例えば、日本国特開昭63-310304号公報に開示されている。



日本国特開昭63-310304号公報に開示の技術は、磁石を配列した磁石列と超電導体とを互いに反発させ、その一方を浮上させるようにしたものであり、いずれか一方(通常、超電導体)を移動させて磁石列(搬送体)を搬送可能とするものである。しかしながら、この特許公報の技術において、超電導体に衝撃等の外乱があった場合、浮上している磁石列に振動が発生する。そして、この磁石列はピン止め効果によって自由空間に浮上状態であるので、振動が永続するという問題があった。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、例えば、気密室(特殊ガス雰囲気チャンバー、及び真空チャンバーを含む)や温度が外気と異なる隔離室等での半導体チップや精密部品の搬送、無菌室等での試料の搬送、その他物体(部品、完成品、液状又は固形状物、動物、及び植物を含む)を非接触(又は隔離状態)で搬送する装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 複数の永久磁石が底部に設けられ、搬送対象物を運ぶ搬送台と、
前記搬送台の各永久磁石の直下に配置される超電導体を備えた搬送案内手段と、
前記搬送案内手段に設けられて、前記搬送台と前記搬送案内手段との距離を検知する距離センサと、
前記搬送案内手段に設けられて、通電によって前記搬送台を制振するための磁界を発生させる制振コイルと、
前記距離センサの信号によって前記搬送台の変位を検知し、前記制振コイルに流す電流を制御する制御部とを有することを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項2】
 請求項1記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記搬送台は密閉容器内に配置され、前記搬送案内手段は前記密閉容器外に設けられていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項3】
 請求項1及び2のいずれか1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記超電導体は複数に分割されたリング状となって、該リング状となった超電導体の底部に前記制振コイルが実質同心状に設けられていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項4】
 請求項1及び2のいずれか1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記搬送台の中央位置に磁性体が設けられ、前記制振コイルは前記磁性体の直下位置に配置されていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項5】
 請求項4記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記磁性体は第2の永久磁石であって、前記制振コイルは空心コイルからなることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項6】
 請求項1~5のいずれか1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記距離センサは、前記搬送案内手段の上に配置されたホール素子からなることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項7】
 請求項6記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記ホール素子は前記超電導体の上に配置されていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項8】
 請求項1~7のいずれか1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記搬送台に設けられている永久磁石はハルバッハ配列されて、該搬送台の下方にのみ前記永久磁石の磁極が向いていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項9】
 請求項1~8のいずれか1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記制御部は、前記距離センサによって検知された前記搬送台と前記搬送案内手段との距離の微分制御を主体としていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
【請求項10】
 請求項1~9のいずれか1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記超電導体は冷媒又は冷凍機によって冷却されていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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24653_01SUM.gif
State of application right Registered
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