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TREATING METHOD OF ALUMINUM NITRIDE POWDER AND ALUMINUM NITRIDE

Patent code P110001585
Posted date Mar 4, 2011
Application number P2008-083720
Publication number P2009-234862A
Patent number P5351426
Date of filing Mar 27, 2008
Date of publication of application Oct 15, 2009
Date of registration Aug 30, 2013
Inventor
  • (In Japanese)清宮 義博
  • (In Japanese)大塚 寛治
  • (In Japanese)水野 愛
Applicant
  • (In Japanese)タマティーエルオー株式会社
Title TREATING METHOD OF ALUMINUM NITRIDE POWDER AND ALUMINUM NITRIDE
Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a treating method of an aluminum nitride powder, by which the wettability of the aluminum nitride powder with a metal or an organic material can be improved.

SOLUTION: The treating method of an aluminum nitride powder includes a process for forming an aluminum oxide layer or an aluminum oxynitride layer on the surface of the aluminum nitride powder by heat treating the aluminum nitride powder in an oxygen-containing atmosphere. A process for producing the aluminum nitride powder by heat treating aluminum in a nitrogen atmosphere to react the aluminum with nitrogen may be provided before the process for forming the aluminum oxide layer or the aluminum oxynitride layer. In this case, it is preferable that the process for forming the aluminum oxide layer or the aluminum oxynitride layer is a process comprising forming the aluminum oxide layer or the aluminum oxynitride layer by arranging the aluminum nitride powder in the oxygen-containing atmosphere without cooling the aluminum nitride powder to room temperature after the aluminum nitride powder is produced.

Outline of related art and contending technology (In Japanese)


窒化アルミニウムは、熱伝導率が高く、熱膨張係数が低く、化学的にも安定である。このため、近年、半導体デバイス等やエンジン部材等、様々な分野へ応用されることが期待されている。



窒化アルミニウムを製造する方法としては、高い気圧(例えば100気圧)の窒素雰囲気中でアルミニウムを高温(例えば1600°)に加熱する方法がある。この方法によれば、窒化アルミニウムの粉末を得ることができる。非特許文献1には、窒化アルミニウムの製造に関する研究が開示されている。

【非特許文献1】小橋眞、斎木健蔵ら、日本軽金属学会第104回講演概要集(2003)2.

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、窒化アルミニウムの処理方法及び窒化アルミニウムに関し、特に、粉末状の窒化アルミニウムの処理方法及び窒化アルミニウムに関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
アルミニウムを窒素雰囲気下で熱処理することにより、前記アルミニウムと窒素を反応させて窒化アルミニウム粉末を製造する工程と、
前記窒化アルミニウム粉末を酸素含有雰囲気下で熱処理することにより、前記窒化アルミニウム粉末の表面に酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程と、
を有し、
前記酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程は、前記窒化アルミニウム粉末を製造する工程の後に、前記窒化アルミニウム粉末を室温に冷却する前に酸素含有雰囲気下におくことにより前記酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程である窒化アルミニウム粉末の処理方法。

【請求項2】
 
請求項1に記載の窒化アルミニウムの処理方法において、
前記窒化アルミニウム粉末を製造する工程は、窒化物の生成自由エネルギーがアルミニウムより小さい元素である触媒元素の窒化物を、前記アルミニウムとともに窒素雰囲気下で熱処理する工程である窒化アルミニウム粉末の処理方法。

【請求項3】
 
請求項2に記載の窒化アルミニウムの処理方法において、
前記触媒元素はボロン、カルシウム、シリコン、鉄、モリブデン、クロム、及びバナジウムからなる群から選ばれた少なくとも一種である窒化アルミニウム粉末の処理方法。
Industrial division
  • Inorganic compound
IPC(International Patent Classification)
Drawing

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JP2008083720thum.jpg
State of application right Right is in force
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