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HIGH SPEED OPTICAL RETARDATION GENERATING METHOD AND OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY DEVICE BY ROTATING REFLECTOR IN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY achieved

Patent code P110002859
File No. RJ002P96
Posted date Jun 8, 2011
Application number P2001-114898
Publication number P2002-310899A
Patent number P3539726
Date of filing Apr 13, 2001
Date of publication of application Oct 23, 2002
Date of registration Apr 2, 2004
Inventor
  • (In Japanese)丹野 直弘
  • (In Japanese)松村 澄男
  • (In Japanese)長谷川 倫郎
  • (In Japanese)日野 幸紀
  • (In Japanese)中川 亨
  • (In Japanese)河野 正博
Applicant
  • (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構
  • (In Japanese)エムテックスマツムラ株式会社
Title HIGH SPEED OPTICAL RETARDATION GENERATING METHOD AND OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY DEVICE BY ROTATING REFLECTOR IN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY achieved
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high speed optical retardation generating method and an optical coherence tomography device by a rotating reflector in optical coherence tomography capable of providing a tomographic image with a sufficiently long scanning distance in a depth direction (a Z direction).
SOLUTION: The optical coherence tomography device is provided with a low coherence light source 1, a half mirror 2 bisecting light from the low coherence light source 1 into object light to an object A to be inspected and reference light, an optical retardation mechanism 3 retarding the reference light by the rotating reflector 12, a fixed mirror 4 reflectively returning the reference light from the optical retardation mechanism 3, the half mirror 2 multiplexing the object light returning from the object A to be inspected and the reference light returning from the optical retardation mechanism, and a photodetector 11 detecting coherent light including a heterodyne coherent beat signal multiplexed by the half mirror 2.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


従来の光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法として、参照光の経路をハーフミラー→第1のミラー→第2のミラー→ハーフミラーとし、第1のミラーと第2のミラー2の合わせ境界を反射中心とする方法が知られている。



図2は従来の光コヒーレンストモグラフィー装置の概略構成図である。



この図において、101は低コヒーレンス光源〔例えば、SLD(スーパールミネッセントダイオード)光源〕、102はハーフミラー(2分割用ハーフミラー)、103は回転体、104Aは第1のミラー、104Bは第2のミラー、105,106はミラー、Aは被検査物、107は光検出器である。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置に関するものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 低コヒーレンス光源からの光を2分割用ハーフミラーで被検査物への物体光と参照光とに2分割し、該参照光は回転反射体による光遅延機構を介して固定ミラーで反射回帰して、前記被検査物から回帰する物体光とともに前記2分割用ハーフミラーで合波し、該2分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法。
【請求項2】
 (a)低コヒーレンス光源と、
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)前記参照光を回転反射体により遅延させる光遅延機構と、
(d)該光遅延機構からの参照光を反射回帰する固定ミラーと、
(e)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(f)該2分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項3】
 (a)低コヒーレンス光源と、
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)前記参照光を回転反射体により遅延させる光遅延機構と、
(d)該光遅延機構からの参照光を反射回帰する固定ミラーと、
(e)前記物体光で被検査物の面内を走査する面走査機構と、
(f)対物レンズと、
(g)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(h)該2分割用ハーフミラーで合波された干渉光を検出する光検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項4】
 請求項2又は3記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記光遅延機構は、高速回転する回転体上に放射状にかつ該回転体の接線方向に光を反射するように、第1のミラーと第2のミラーからなる一対のミラーを前記回転体の表面に複数対配置することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項5】
 請求項2又は3記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記固定ミラーはスキャン開始位置調整ミラーであり、前記物体光における光軸の奥行き方向であるZ方向に一致させ、深さ方向の走査開始位置を調整可能としたことを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項6】
 請求項3記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記面走査機構はX軸走査ミラー及びY軸走査ミラーを備え、前記被検査物に対する物体光で前記被検査物の面(X-Y)を高速に走査することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2001114898thum.jpg
State of application right Registered
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