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(In Japanese)精密高耐荷重移動方法および装置

Patent code P110003894
File No. N021P22
Posted date Jul 1, 2011
Application number P2006-513734
Patent number P4658040
Date of filing May 20, 2005
Date of registration Jan 7, 2011
International application number JP2005009229
International publication number WO2005114825
Date of international filing May 20, 2005
Date of international publication Dec 1, 2005
Priority data
  • P2004-150134 (May 20, 2004) JP
Inventor
  • (In Japanese)川勝 英樹
Applicant
  • (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構
Title (In Japanese)精密高耐荷重移動方法および装置
Abstract (In Japanese)剪断変形を起こすピエゾ素子とくさび、もしくは、剪断変形を起こすピエゾ素子と縦変形を起こすピエゾ素子とくさびとを組み合わせ、大きな摺動面へ押し付け圧を加えた時にも垂直方向へ移動体が的確に移動可能な精密高耐荷重移動方法および装置を提供する。剪断変形を起こすピエゾ素子を、その剪断方向が異なるように積層し、くさびと組み合わせ、大きな摺動面へ押し付け圧を加えた時にも垂直方向へ移動体が的確に移動可能な精密高耐荷重移動方法および装置を提供する。
固定体の水平方向の面上に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子24Aが固定されるくさび状移動子23と、前記ピエゾ素子24Aを急速変形駆動するパルス源30と、前記くさび状移動子23の駆動によって前記固定体の垂直方向の壁面22に接触して垂直方向に上下する移動体25とを備え、前記移動体25に前記くさび状移動子23を打ち込んだり、引き抜くことにより前記移動体25の移動位置決めを行う。
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

図1は従来のピエゾ素子の急速変形によるインパクト駆動機構としてのステージの位置決め装置である。
この図において、101は固定部の床面、102は固定部の壁面、103はくさび状の移動体、104はその移動体103の側面に固定されるピエゾ素子、105はそのピエゾ素子104の先端部に固定される衝撃子、106はくさび状の移動体103の移動によって鉛直方向に移動するステージ、107はバネによる移動体103のガイドである。図示しないが、ピエゾ素子104には、ピエゾ素子104の急速変形を生成させるパルス電圧源が接続される(下記非特許文献1参照)。

また、剪断ピエゾ素子の急速変形によって移動体を移動させる機構として、以下のようなものが開示されている(下記非特許文献2参照)。
図2はかかる従来の剪断ピエゾ素子の急速変形によって移動体を移動させる機構の模式図である。
この図に示すように、従来は、本体201と脚203の間に剪断方向に変位するピエゾ素子202を挟み、鋸歯状波の電圧をピエゾ素子202に印加することによって移動を生じるようにしている。
【非特許文献1】
曽國浩、渋谷俊克、樋口俊郎「圧電素子による大荷重用高さ微調整機構の開発(第一報)」2002年度精密工学会春季大会講演論文集pp112.
【非特許文献2】
Ph.Niedermann,R.Emch,and P.Descouts,Rev.Sci.Instrum.,59,368,(1988).

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、精密高耐荷重移動装置に係り、特に、くさびとピエゾ素子を用いた精密移動機構、顕微鏡用微小移動機構に好適な精密高耐荷重移動方法および装置に関するものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
(a)剪断変形を起こすピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定し、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項2】
 
(a)剪断変形を起こすピエゾ素子とベースに対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子を前記ベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定し、
(b)前記積層ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項3】
 
(a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定し、
(b)前記第1及び第2のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項4】
 
(a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定するとともに、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項5】
 
(a)剪断変形を起こすピエゾ素子とベースに対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子を前記ベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子の前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形するピエゾ素子とを急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子の前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形するピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項6】
 
(a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、両側に壁面を有するベース上に載置される断面が上側に斜辺2個を有する3角形状のくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の両側の上部傾斜面各々に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子をそれぞれ固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記くさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な左右2個の移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記2個の移動体の鉛直方向の位置エネルギーの総和が変わらない様に前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項7】
 
(a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、両側に壁面を有するベース上に載置される断面が上側に斜辺2個を有する3角形状のくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の両側の上部傾斜面各々に、該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子それぞれ固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子の前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを急速変形駆動することによって前記くさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な左右2個の移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記2個の移動体の鉛直方向の位置エネルギーの総和が変わらない様に前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子の前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項8】
 
剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、両側に壁面を有する第1のベース上に載置される断面が上側に斜辺2個を有する3角形状のくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の両側の上部傾斜面各々に、前記第1のベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子をそれぞれ固定し、前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記くさび状移動子を前記第1のベース上で左右に移動させ、前記第1のベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な左右2個の移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記2個の移動体の鉛直方向の位置エネルギーの総和が変わらない様に前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、また、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記第1のベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行う精密高耐荷重移動装置を、前記第1のベースの底面に固定された剪断変形を起こす第4のピエゾ素子を介して第2のベース上に載置し、前記第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記精密高耐荷重移動装置を前記第2のベース上で水平方向に移動させることによって、前記移動体のxyz方向の位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項9】
 
請求項8記載の精密高耐荷重移動方法において、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子が、前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記第1のベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなることを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項10】
 
(a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、ベース上の左側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第1のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第1のくさび状移動子の上部傾斜面に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を固定し、
(b)剪断変形を起こす第3のピエゾ素子を、ベース上の右側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第2のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第2のくさび状移動子の上部傾斜面に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子を固定し、
(c)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記第1のくさび状移動子および前記第2のくさび状移動子にブリッジするように配置されるとともに前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(d)また、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することによって、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項11】
 
(a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、ベース上の左側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第1のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第1のくさび状移動子の上部傾斜面に、該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子を固定し、
(b)剪断変形を起こす第3のピエゾ素子を、ベース上の右側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第2のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第2のくさび状移動子の上部傾斜面に、該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子を固定し、
(c)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子の前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを急速変形駆動することによって前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記第1のくさび状移動子および前記第2のくさび状移動子にブリッジするように配置されるとともに前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(d)また、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子の前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形するピエゾ素子を急速変形駆動することによって、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。

【請求項12】
 
(a)固定体の水平方向の面上に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が底面に固定されるくさび状移動子と、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(c)前記くさび状移動子の駆動によって前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に上下可能な移動体とを備え、
(d)前記移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項13】
 
(a)固定体の水平方向の面上に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子が底面に固定されるくさび状移動子と、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(c)前記くさび状移動子の駆動によって前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に上下可能な移動体とを備え、
(d)前記移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項14】
 
請求項13記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定することを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項15】
 
請求項14記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が積層ピエゾ素子であることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項16】
 
請求項14記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子であることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項17】
 
請求項15記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を積層したものであることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項18】
 
請求項15記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子を積層したものであることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項19】
 
請求項12記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに前記固定体の壁面と接触する前記移動体の面に第3のピエゾ素子を固定することを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項20】
 
請求項13記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに前記固定体の壁面と接触する前記移動体の面に第3の積層ピエゾ素子を固定することを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項21】
 
(a)両側に壁面を有するベース上に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が底面に固定されるとともに、両側の上部傾斜面各々に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子がそれぞれ固定される、断面が3角形状のくさび状移動子と、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(c)前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、
(d)前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項22】
 
請求項21記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子が、前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項23】
 
(a)ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、
(b)前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こす第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、
(c)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(d)前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、
(e)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項24】
 
請求項23記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子が、前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項25】
 
(a)ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、
(b)前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、
(c)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(d)前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、
(e)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。

【請求項26】
 
(a)ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記上部傾斜面に対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、
(b)前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こす第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記上部傾斜面に対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、
(c)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(d)前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向に移動可能な移動体とを備え、
(e)前記ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
  • 5H681AA04
  • 5H681BB13
  • 5H681BC10
  • 5H681CC02
  • 5H681DD23
  • 5H681DD37
  • 5H681DD59
  • 5H681DD65
  • 5H681DD73
  • 5H681DD76
  • 5H681EE03
  • 5H681FF36
  • 5H681FF38
State of application right Registered
Reference ( R and D project ) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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