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図１３から図１７に従来の固体レーザーモジュールの構成例を示し、併せてその課題を示す。
図１３は従来の固体レーザーモジュールの構成（その１）を示す図である。
図１３において、１０１は半導体レーザー光源、１０２は励起光学系、１０３はレーザー共振器である。１０４は各光学部品が固定され、支持されるモジュール支持部、１０５はモジュールを固定しかつ外から冷却されるモジュール固定・冷却面、１０６は励起光、１０７はレーザー共振器１０３の光軸、１０８はレーザー共振器１０３からの出力レーザー光、１０９は熱の流れを示している。ここで、レーザー共振器１０３は、両端に共振器ミラーを有し、その間には固体レーザー媒質と、レーザー発生の制御を行う光スイッチ素子、偏光制御素子、さらにレーザー光の波長を変換する非線形光学素子などが用途に応じて配置される。この固体レーザーモジュールの冷却構造としては、図１３の熱の流れ１０９に示すように、モジュールを構成する部品全体を固定、支持するモジュール支持部１０４を通して、モジュールの動作時に各部品より発生する熱、特に励起用の半導体レーザー光源１０１やレーザー共振器１０３内の固体レーザー媒質から発生する熱を光軸１０７に対して垂直方向に伝搬させ、モジュール固定・冷却面１０５から排熱する構成となっている。モジュール固定・冷却面１０５に伝搬した熱は、さらにそのモジュール固定・冷却面１０５に密着させたペルチェ素子あるいは水等の冷却媒質によりモジュール外部に完全に排熱される（下記特許文献１参照）。
また、励起用の半導体レーザー光源と励起光学系をモジュールの外部に設置し、レーザー共振器のみをモジュール支持部上に構成して排熱する例も示されている（下記特許文献２参照）。
図１４は従来の固体レーザーモジュールの構成（その２）を示す図である。
この図において、１１０はモジュール保持部、１１１は半導体レーザー光源、１１２は励起光学系、１１３はレーザー共振器、１１４はモジュール支持部、１１５はモジュール固定・冷却面、１１６は励起光、１１７は光軸、１１８は出力レーザー光、１１９は熱の流れを示している。
このように固体レーザーモジュールを構成する各素子の周囲を囲むように、素子の保持と放熱を兼ねたモジュール保持部１１０を有し、それらが同様に共通のモジュール支持部１１４上に配置されている例も示されている（下記特許文献３参照）。なお、図１４に示すような固体レーザーモジュールの構成例においては、素子から発生した熱は一時的に素子の周囲のモジュール保持部１１０を伝搬しても、最終的には光軸１１７に対して垂直方向である熱の流れ１１９の方向モジュール支持部１１４へと伝搬し、モジュール外へ排熱される（下記特許文献３参照）。
図１５は従来の固体レーザーモジュールの構成（その３）を示す図である。
この図において、２０１はレーザーダイオード、２０２は集光光学系、２０３は全反射ミラー、２０４は固体レーザー媒質、２０５は出力ミラー、２０６はモジュール保持部、２０７は放熱フィン、２０８は光軸、２０９は熱の流れを示している。
このような従来の固体レーザーモジュール構造においては、モジュールを構成する各素子は、周囲のモジュール保持部２０６で保持され、最も発熱の大きいレーザーダイオード２０１に密着して放熱フィン２０７が設けられている。
この構成においては、各素子から発生した熱は周囲のモジュール保持部２０６に伝わり、光軸２０８と平行な熱の流れ２０９の方向に伝搬し、放熱フィン２０７からモジュール外部へ排熱される（下記特許文献４参照）。【特許文献１】 特開２０００－３４９３７１号公報【特許文献２】 特開２００３－１１５６２８号公報【特許文献３】 特開２００７－８１２３３号公報【特許文献４】 特開平９－１１６２１６号公報
本発明は、固体レーザーモジュールに関するものである。
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