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NON-CONTACT CONVEYANCE DEVICE commons

Patent code P110005577
Posted date Aug 18, 2011
Application number P2004-260801
Publication number P2006-076690A
Patent number P4168149
Date of filing Sep 8, 2004
Date of publication of application Mar 23, 2006
Date of registration Aug 15, 2008
Inventor
  • (In Japanese)磯部 浩已
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人長岡技術科学大学
Title NON-CONTACT CONVEYANCE DEVICE commons
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a non-contact conveyance device capable of conveying various objects to be conveyed such as articles like flat plate including a mother glass substrate for flat panel display and a semiconductor wafer by keeping a complete non-contact condition and a high-degree clean condition and facilitating control of conveyance speed and direction and having large load capacity of levitation, excellent reliability as a conveyance means, and large degree of freedom in design.
SOLUTION: This non-contact conveyance device is provided with a fluid pressure levitation means for levitating a conveyance object P on a conveyance path 1 by pressure of fluid F discharged from below, an elastic vibration plate 4 arranged along the conveyance path 1, and exciting actuators 5, 5 for giving ultrasonic vibration to the elastic vibration plate 4 and exciting deflection progressive wave W. The conveyance object P levitating on the conveyance path 1 is conveyed into a predetermined direction by acoustic viscous flow S generated between the elastic vibration plate 4 for exciting deflection progressive wave W and a surface of the conveyance object P opposing to the vibration plate 4.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


近年、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに代表されるフラットパネルディスプレイの生産台数の増大に伴い、これらディスプレイに用いるマザーガラス基板の大型化が急速に進んでいる。これは、一枚のマザーガラス基板からできるだけ多くのディスプレイパネルを面取りできるようにし、もってディスプレイ一台当たりの単価を低減するためである。しかるに、マザーガラス基板は、精密精緻なディスプレイのフラットパネル原材として、微小な損傷は言うまでもなく、僅かな汚れの付着やストレスの発生をも嫌うものであるから、大型になればなるほど搬送が難しくなる。



例えば、マザーガラス基板の搬送手段として従来より汎用される搬送ローラやフォークリフトでは、基板が大型になれば、それに対応して当該基板にかかる応力を緩和するためにローラ個数やフォーク本数を増やす必要があるが、多数のローラやフォークの高さを厳密に揃えるための調整操作ならびに保守管理に非常に手間がかかる上、本来的に高度な清澄状態を保って搬送することは不可能であった。



そこで、近年において、基板をエアーの吹き上げ圧力で浮上させつつ、該基板の両端を送りローラで支持して搬送する方式(特許文献1)、可動部上に起立させた基板を静電吸引力で非接触状態を保って搬送する方式(特許文献2)、やや傾いた縦姿としたガラス基板を下縁で支持ローラ上にて支承すると共に、該ガラス基板の上部側を気体膜を介して非接触状態で搬送台に支持させて搬送する方式(特許文献3)、振動体を超音波振動させた際の音波の放射圧により、該振動体の表面上で搬送品を浮上させ、この搬送品を非接触状態で所定方向へ送る方式(特許文献4~6)等が提案されている。
【特許文献1】
特許公開2003-300618
【特許文献2】
特開平10-271862
【特許文献3】
特許公開2002-308422
【特許文献4】
特開平7-24415
【特許文献5】
特開平7-187388
【特許文献6】
特開平9-202425



しかしながら、前記従来のエアー圧で浮上させて送りローラによる搬送を行う方式では、送りローラとの接触による基板の汚損が避けられない。また、前記従来の静電吸引力や気体膜によって非接触状態に保つ搬送方式では、基板の板面は非接触であっても、周縁下部が可動部や支持ローラに支承されているから、その支承部分の接触による汚染粒子発生の問題を根本的には対決できない。なお、静電吸引力による浮揚は機構的に不安定であるから、安定化用の制御システムが不可欠であり、そのために設備コストが高く付く。



一方、前記した振動体の超音波振動による音波の放射圧で搬送品を浮上させる搬送方式では、音波放射圧で搬送品を浮揚させる負荷容量及び支持剛性が流体圧や静電吸引力等による浮揚に比較して一桁以上も小さいため、外乱に対する感受性(ロバスト性)が高く、何らかの要因で外乱を受けた際の音波放射圧の低下や変動によって搬送品が振動体に接触する懸念があり、信頼性に乏しいという問題があった。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状物品を始めとする種々の搬送品を完全な無接触状態で搬送する無接触搬送装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
搬送路上で搬送品を下方から放出する流体の圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、該搬送路に沿って配設される環状の弾性振動板とこ環状の弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させる励振アクチュエータとからなる複数のドライブユニットと、を備え、
撓み進行波を励起している前記弾性振動板と、この振動板に対向した搬送品表面との間に発生する音響粘性流により、搬送路上で浮揚している当該搬送品を所定方向へ搬送するように構成されてなる無接触搬送装置。

【請求項2】
 
環状の弾性振動板の一部の弧状部が搬送路上の搬送品表面に対向するように配置されてなる請求項1記載の無接触搬送装置。

【請求項3】
 
複数のドライブユニットにおける撓み進行波伝播方向及び振動状態の調整により、搬送品の加減速及び発停と方向変換を可能とした請求項1又は2に記載の無接触搬送装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2004260801thum.jpg
State of application right Registered
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