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MULTIPROBE PROVIDED WITH STIMULATION SUPPLY FUNCTION AND FUNCTION OF DETECTING PHYSICAL PHENOMENON OR CHEMICAL PHENOMENON BASED ON IT

Patent code P110005617
File No. 04006P
Posted date Aug 18, 2011
Application number P2004-153721
Publication number P2005-334066A
Patent number P4573239
Date of filing May 24, 2004
Date of publication of application Dec 8, 2005
Date of registration Aug 27, 2010
Inventor
  • (In Japanese)石田 誠
  • (In Japanese)河野 剛士
  • (In Japanese)三村 享
  • (In Japanese)松本 浩一
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人豊橋技術科学大学
Title MULTIPROBE PROVIDED WITH STIMULATION SUPPLY FUNCTION AND FUNCTION OF DETECTING PHYSICAL PHENOMENON OR CHEMICAL PHENOMENON BASED ON IT
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multiprobe capable of supplying specified stimulation to an object and recognizing a physical phenomenon or a chemical phenomenon based on it.
SOLUTION: The multiprobe is provided with a plurality of probes formed by crystal growth with a semiconductor substrate 1 as a base, and the probe 2a having a stimulation supply function and a probe 2b having a function of detecting the physical phenomenon or the chemical phenomenon based on it are a part of components. Also, at a position near the probe 2a having the stimulation supply function, at least one or more probes 2b having the detecting function are disposed. Further, at a prescribed distance from the probe 2a having the stimulation supply function, the plurality of probes 2b having the detecting function are disposed.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


近年、医療の分野を含め各種の分野において、細胞や血液などの生体試料中の成分濃度、温度、圧力、流速、電位、反応速度など様々な物理現象または化学現象を把握したいとの要請がある一方、人為的な特定の刺激に対する反応によって生体の異常を検出する方法が試験的に行われている。



また、昨今特に微細領域での測定の要請が強まっていることから、プローブと信号処理回路が一体になっているマルチプローブタイプのセンサが提案されている。具体的には、図5に示すように、半導体基板1上に、多数の針状突起からなるプローブ2と、各プローブ2から入力された電気信号を処理する信号処理回路3とが形成されたマルチプローブがある。このセンサは、信号処理回路3のスイッチアレイとして、NMOSFETを各プローブ2ごとに備えている。各プローブ2は、NMOSFETのドレイン(高濃度拡散層)を下地として結晶成長させた突起である。ここでは、突起の形成をVLS(Vapor-Liquid-Solid)法を用いることで、従来よりもプローブの形成方法が簡単で、かつプローブの直径および隣り合うプローブの間隔がより小さいものを作製することが可能となる(例えば特許文献1参照)。
【特許文献1】
特開2000-333921号公報

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、物理現象または化学現象に関する情報を得ることが可能なマルチプローブに関し、具体的には、刺激供給機能およびそれに基づく物理現象または化学現象の検出機能を有するマルチプローブに関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
半導体基板を下地として結晶成長させた突起(プローブ)を複数有するマルチプローブであって、
刺激供給機能を有するプローブおよびそれに基づく物理現象または化学現象の検出機能を有するプローブを構成要素の一部とし、
前記刺激供給機能を有するプローブには、電源供給回路が形成されており、
前記検出機能を有するプローブには、増幅回路及び/又は信号処理回路が形成されていることを特徴とするマルチプローブ。

【請求項2】
 
前記刺激供給機能を有するプローブの近接位置に、少なくとも1以上の前記検出機能を有するプローブを配することを特徴とする請求項1記載のマルチプローブ。

【請求項3】
 
前記刺激供給機能を有するプローブから所定の距離に、複数の前記検出機能を有するプローブを配することを特徴とする請求項1または2記載のマルチプローブ。

【請求項4】
 
前記刺激供給機能を有するプローブと前記検出機能を有するプローブとが同一の構成からなることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のマルチプローブ。
IPC(International Patent Classification)
F-term
  • 4C127LL08
  • 4C316AA09
  • 4C316AB13
Drawing

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JP2004153721thum.jpg
State of application right Registered
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