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PH DETECTOR

Patent code P110005631
File No. 06035P
Posted date Aug 18, 2011
Application number P2006-212413
Publication number P2008-039523A
Patent number P4825976
Date of filing Aug 3, 2006
Date of publication of application Feb 21, 2008
Date of registration Sep 22, 2011
Inventor
  • (In Japanese)澤田 和明
  • (In Japanese)牧 徳宝
  • (In Japanese)石田 誠
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人豊橋技術科学大学
Title PH DETECTOR
Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact pH sensor with high detection accuracy.

SOLUTION: Electrical conductivity sensors 18 consisting of a left side electrode 14 and a right side electrode 16 are arranged on right and left of an ion induction film 4 as a pH measurement part. A temperature sensor 22 is arranged at the upper part of the ion induction film 4. Reference electrode 12 are arranged around the ion induction film 4 for applying predetermined electric potential to solution.

Outline of related art and contending technology (In Japanese)


溶液の水素イオン濃度を検出し、pHを測定するセンサとして、ISFET(Ion Sensitive Field Effect Transistor)が知られている。このISFETの構造を図5に示す。ISFETは、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor)の金属膜に該当する部位にイオン感応膜50を配置したものである。ISFETでは、溶液52に参照電極VREFから所定の電位(接地電位)を印加した状態で、イオン感応膜50で溶液52中の水素イオンを検出し、水素イオンの量をFETの電流量に変換するものである。ISFETに関する特許文献としては、以下のものが挙げられる。

【特許文献1】特開平8-94577号公開公報

【特許文献2】特表2001-507217号公表公報

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、化学量・物理量を検出する検出装置に関し、特に、溶液のpHを検出する検出装置に関するものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
溶液と当接してpH値を測定するpH測定部と、
前記pH測定部の直上部位の電気伝導度を検出する電気伝導度測定部と、
前記pH測定部近傍の温度を検出する温度測定部とを備え、
測定されたpH値、電気伝導度および温度に基づき、溶液のpH値を検出するpH検出装置であって、
前記pH測定部、前記電気伝導度測定部および前記温度測定部を、同一の半導体基板上に配置し、
前記電気伝導度測定部は、前記pH測定部を両側から挟む位置に配置される一対の端子を有することを特徴とするpH検出装置。

【請求項2】
 
前記一対の端子のそれぞれの端子が円周上の最も離れた部分に位置し、かつ前記pH測定部が実質的に該円の内側に位置する仮想的な円において、前記温度測定部は、実質的に前記仮想的な円の円周内に位置することを特徴とする請求項1に記載のpH検出装置。

【請求項3】
 
前記pH測定部と同一半導体基板上に配置されるものであって、
前記pH測定部の周囲でかつ、前記電気伝導度測定部の一対の端子で挟まれた部位に配置され、前記pH測定部と当接する溶液に所定の電位を印加する参照電極をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載のpH検出装置。

【請求項4】
 
前記電気伝導度測定部からの信号に基づき、電気伝導度が所定値よりも小さい場合は、前記pH測定部からpH値を溶液のpH値として出力しないことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のpH検出装置。
Industrial division
  • (In Japanese)試験、検査
IPC(International Patent Classification)
Drawing

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JP2006212413thum.jpg
State of application right Right is in force
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