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(In Japanese)荷電粒子発生装置及び加速器 achieved foreign

Patent code P120008258
Posted date Nov 19, 2012
Application number P2006-550760
Patent number P4956746
Date of filing Dec 26, 2005
Date of registration Mar 30, 2012
International application number JP2005023787
International publication number WO2006070744
Date of international filing Dec 26, 2005
Date of international publication Jul 6, 2006
Priority data
  • P2004-381213 (Dec 28, 2004) JP
Inventor
  • (In Japanese)西野 茂弘
  • (In Japanese)小野 了一
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人京都工芸繊維大学
Title (In Japanese)荷電粒子発生装置及び加速器 achieved foreign
Abstract (In Japanese)外部への放電が起こりにくい構造を有する荷電粒子発生装置、及び、この荷電粒子発生装置と加速管とを備えた加速器を提供することを課題とする。本発明の荷電粒子発生装置(1)は、上方に開口した第1の箱型絶縁部材(4)と、その内側に納められて側壁(13)及び底面部(14)が外側に隣接する第1の箱型絶縁部材(4)の側壁(10)及び底面部(9)と所定の距離だけ離間する上方に開口した第2の箱型絶縁部材(5)と、第1及び第2の箱型絶縁部材(4,5)の各側壁(10,13)の間の空間に側壁(21)が挿入されるように下方に開口した逆箱型絶縁部材(7)と、を備えており、第2の箱型絶縁部材(5)の内部に配設された荷電粒子源(2)から発生した荷電粒子が第1及び第2の箱型絶縁部材(4,5)のそれぞれの底面部(9,14)に形成された出射口(11,17)を介して出射するように構成した。
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

従来、この種の技術としては、原料ガスと高電圧を用いて荷電粒子源から荷電粒子(例えば、イオンや電子)を発生する荷電粒子発生装置や、荷電粒子発生装置と、その装置から出射された荷電粒子を加速電圧の印加により加速する加速管と、を具備する加速器が知られている。中でも、円管状の加速管本体の内周面に互いに所定の間隔を隔てて軸心方向に複数の加速電極を配設すると共に、隣接する加速電極を電圧分割抵抗体により接続し、両端の加速電極間に印加した加速電圧を分割した電圧を隣接する加速電極間に印加して、荷電粒子発生装置から出射した荷電粒子を多段階に加速するようにした多段階加速型の加速器が知られている(例えば、特許文献1参照。)。

このような加速器では、荷電粒子源から荷電粒子発生装置の外部への放電や電圧分割抵抗体の沿面放電を防止するために高耐圧の絶縁を行う必要があり、そのため、一般に荷電粒子源や加速管を、例えば、SF6のような耐電圧絶縁ガスで封止している。
【非特許文献1】
特開平11-25900号公報

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、荷電粒子を発生する荷電粒子発生装置及びその装置から発生した荷電粒子を加速電圧の印加により加速する加速管と荷電粒子発生装置とを備える加速器に関するものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
上方に開口した第1の箱型絶縁部材と、該第1の箱型絶縁部材の内側に納められて各側壁及び底面部が外側に隣接する前記第1の箱型絶縁部材の側壁及び底面部と所定の距離だけ離間する上方に開口した1つ以上の内部に納められた第2の箱型絶縁部材と、前記第1及び第2の箱型絶縁部材の側壁の間の空間に各側壁が挿入されるように下方に開口した1つ以上の逆箱型絶縁部材から構成される絶縁部材の最も内側の前記第2の箱型絶縁部材内に荷電粒子源を設け
前記第2の箱型絶縁部材の側壁の外側面が、隣接する前記逆箱型絶縁部材の側壁の内側面に全域にわたって覆われていることを特徴とする荷電粒子発生装置。

【請求項2】
 
上方に開口した第1の箱型絶縁部材と、該第1の箱型絶縁部材の内側に納められて各側壁及び底面部が外側に隣接する前記第1の箱型絶縁部材の側壁及び底面部と所定の距離だけ離間する上方に開口した第2の箱型絶縁部材と、前記第1及び第2の箱型絶縁部材の側壁の間の空間に各側壁が挿入されるように下方に開口した逆箱型絶縁部材と、を備え、
前記第2の箱型絶縁部材の側壁の外側面が、隣接する前記逆箱型絶縁部材の側壁の内側面に全域にわたって覆われており、
前記第2の箱型絶縁部材の内部に配設された荷電粒子源から発生した荷電粒子を前記第1及び第2の箱型絶縁部材の底面部に形成された出射口を介して出射することを特徴とする荷電粒子発生装置。

【請求項3】
 
前記第2の箱型絶縁部材の上方の開口部を塞ぐように端縁が前記第2の箱型絶縁部材の側壁の上端に載置される絶縁蓋部材を更に備えることを特徴とする請求項1から2のいずれかに記載の荷電粒子発生装置。

【請求項4】
 
前記第1の箱型絶縁部材、前記第2の箱型絶縁部材、前記絶縁蓋部材、及び前記逆箱型絶縁部材は、ポリプロピレン又はポリエチレンによって形成されたものであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の荷電粒子発生装置。

【請求項5】
 
請求項1から4のいずれか記載の荷電粒子発生装置と、該装置から出射した荷電粒子を加速電圧の印加により加速する加速管と、を具備する加速器であって、
前記加速管は、円管状に形成された合成樹脂製の加速管本体と、該加速管本体の内周面に互いに所定の間隔を隔てて前記加速管本体の軸心方向に一列に並んで設けられたリング状の複数の加速電極と、複数の抵抗器を直列に接続し、これら複数の抵抗器をその接続方向に延びる絶縁性熱収縮チューブで被覆するとともに、前記加速管本体の外周面に螺旋状に形成され、絶縁ゲルにて充填された溝埋め込まれた加速管用電圧分割抵抗体と、前記加速管本体の径方向に貫通し且つ前記加速管本体に密接して設けられて、前端が前記加速電極と電気的に接続され、後端が前記加速管用電圧分割抵抗体の各接続点と電気的に接続された複数の端子部材と、を備えることを特徴とする加速器。
IPC(International Patent Classification)
F-term
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