Top > Search of Japanese Patents > POWER SUPPLY FOR PLASMA GENERATION DEVICE AND PLASMA GENERATION DEVICE

POWER SUPPLY FOR PLASMA GENERATION DEVICE AND PLASMA GENERATION DEVICE

Patent code P130008456
File No. 2011-081
Posted date Jan 7, 2013
Application number P2012-171342
Publication number P2014-032771A
Patent number P6061288
Date of filing Aug 1, 2012
Date of publication of application Feb 20, 2014
Date of registration Dec 22, 2016
Inventor
  • (In Japanese)上杉 喜彦
  • (In Japanese)石島 達夫
  • (In Japanese)田中 康規
  • (In Japanese)住石 裕次郎
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人金沢大学
Title POWER SUPPLY FOR PLASMA GENERATION DEVICE AND PLASMA GENERATION DEVICE
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power supply that is suitable for a plasma generation device, has a simple configuration and enables a plasma to be efficiently generated.
SOLUTION: A power supply 10 for supplying a power to a plasma reactor 20 being a load includes: a transformer 12; and a plurality of SIDACs 13 connected in series between the transformer 12 and the plasma reactor 20. The power supply 10 may further includes a switch 14 for switching the number of the SIDACs 13 connected in series between the transformer 12 and the plasma reactor 20.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

プラズマジェットは大気圧非平衡プラズマの一種である。大きな特徴として、プラズマジェットは電子温度が数万Kと高温なのに対し、ガス温度は常温程度であるため照射対象に熱負荷をかけずに、化学的に活性なラジカルによるプラズマプロセスを行うことが可能である。近年、大気圧非平衡プラズマの医療、生物分野や、燃料改質、プラズマCVD、ナノチューブ合成など様々な領域への応用が急速に進んでいる。大気圧非平衡プラズマを生成するための装置は、これまでに多数提案されている(例えば、特許文献1~3)。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
負荷であるプラズマリアクターに電力を供給するための電源であって、
昇圧トランスと、
前記昇圧トランスと前記負荷との間に直列に接続される複数の高電圧交流用シリコンダイオード
を備える電源。

【請求項2】
 
さらに、前記昇圧トランスと前記負荷との間に直列に接続される高電圧交流用シリコンダイオードの個数を切り替えるためのスイッチを備える
請求項1に記載の電源。

【請求項3】
 
前記昇圧トランスはネオントランスである
請求項1または2に記載の電源。

【請求項4】
 
昇圧トランスと、
プラズマリアクターと、
前記昇圧トランスと前記プラズマリアクターとの間に直列に接続されている複数の高電圧交流用シリコンダイオードと、を備え、
前記プラズマリアクターは、前記昇圧トランスから前記複数の高電圧交流用シリコンダイオードを介して供給される高電圧を用いてプラズマを生成する
プラズマ生成装置。

【請求項5】
 
前記プラズマリアクターは、
石英管と、
ソースガスを前記石英管へ導くガス導入部と、
前記石英管の内部に通された内部電極と、
前記石英管の外周を覆う外部電極と、
で構成され、前記内部電極と前記外部電極との間に前記高電圧を印加することで生じる誘電体バリア放電によってプラズマを生成する
請求項4に記載のプラズマ生成装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
  • 2G084AA05
  • 2G084AA13
  • 2G084AA24
  • 2G084BB13
  • 2G084BB37
  • 2G084CC03
  • 2G084CC07
  • 2G084CC19
  • 2G084CC33
  • 2G084CC34
  • 2G084DD35
  • 2G084EE15
  • 2G084EE18
  • 2G084EE21
  • 2G084EE24
  • 2G084GG02
  • 2G084GG07
  • 2G084GG30
Drawing

※Click image to enlarge.

JP2012171342thum.jpg
State of application right Registered
Please contact us by E-mail or facsimile if you have any interests on this patent.


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close