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LAMINATED WIRE GRID AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME meetings

Patent code P130009304
File No. 2012-015
Posted date Jun 7, 2013
Application number P2012-222791
Publication number P2014-074824A
Patent number P6256966
Date of filing Oct 5, 2012
Date of publication of application Apr 24, 2014
Date of registration Dec 15, 2017
Inventor
  • (In Japanese)菜嶋 茂喜
  • (In Japanese)半田 卓也
  • (In Japanese)細田 誠
Applicant
  • (In Japanese)公立大学法人大阪
Title LAMINATED WIRE GRID AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME meetings
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated wire grid capable of improving the extinction ratio and increasing the bandwidth.
SOLUTION: A laminated wire grid 1 separates polarization components in a terahertz wave region, and includes a first wire grid 2A and a second wire grid 2B stacked on the first wire grid. The first wire grid has a plurality of first wires 4A arranged along one direction at an interval d shorter than an adaptive wavelength. The second wire grid has a plurality of second wires 4B arranged along one direction at the interval d. The distance L between the plurality of first wires and the plurality of second wires is the interval d or shorter.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

近年のレーザー技術の向上により、斬新なテラヘルツ波の発生方法や検出方法が次々と生み出され、それに伴って、テラヘルツ波領域における光学素子の需要が高まっている。

ワイヤグリッドは、テラヘルツ波領域の光の偏光を制御できる光学素子であり、例えば、偏光子や偏光ビームスプリッタ等として使用されている。

図19は、下記特許文献1等に開示されている従来のワイヤグリッド101の一例を示しており、(a)は正面図、(b)は側面図である。

ワイヤグリッド101は、一方向に沿って所定間隔をおいて配列した多数の金属製のワイヤ102、102、・・・の両端部を一対のドーナツ形の板状のフレーム103、103の間に挟み込んで固定したものである。なお、図面を見やすくするために、ワイヤ102、102、・・・の各々の間隔は、実際の間隔(数十μm)よりも大きくしてある。

ワイヤグリッド101は、ワイヤ102と垂直な偏光のテラヘルツ波(以下「TE波」と称する。)を透過させるが、ワイヤ102と平行な偏光のテラヘルツ波(以下「TM波」と称する。)を透過させないという特性を有している。

ワイヤグリッド101は、フレーム103内に形成される空間104にワイヤ102を張設したフリースタンド型であるため、電磁波の多重反射や吸収がほとんど無く、効率的な偏光子である。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する積層型ワイヤグリッドの改良に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する積層型ワイヤグリッドであって、
第1ワイヤグリッドと前記第1ワイヤグリッドに積層された第2ワイヤグリッドとを備え、
前記第1ワイヤグリッドは、適応波長よりも短い間隔dで一方向に沿って配列された複数の第1ワイヤと、開口を有する第1フレームとを有し、
前記複数の第1ワイヤは、前記第1フレームの一方の面を縦断して前記第1フレームの開口を跨ぐように、前記第1フレームに張設されており、
前記複数の第1ワイヤのうち互いに隣り合う第1ワイヤの間は空間であり、
前記第2ワイヤグリッドは、前記間隔dで前記一方向に沿って配列された複数の第2ワイヤと、開口を有する第2フレームとを有し、
前記複数の第2ワイヤは、前記第2フレームの一方の面を縦断して前記第2フレームの開口を跨ぐように、前記第2フレームに張設されており、
前記複数の第2ワイヤのうち互いに隣り合う第2ワイヤの間が空間であり
前記第1フレームの前記第1ワイヤが縦断する面と、前記第2フレームの前記第2ワイヤが縦断する面とを対向させて、前記第1ワイヤグリッドと前記第2ワイヤグリッドとが積層されており、
前記複数の第1ワイヤのそれぞれの中心が位置する面と前記複数の第2ワイヤのそれぞれの中心が位置する面との距離Lは、前記間隔d以下であ
前記複数の第1ワイヤと前記複数の第2ワイヤとは、直径aを有し、
距離L=直径aである、積層型ワイヤグリッド。

【請求項2】
 
前記第1フレームは、矩形枠状であり
記複数の第1ワイヤの各々の両端は、前記第1フレームの側面に沿って折曲されると共に前記第1フレームの前記側面に固定されており、
前記第2フレームは、矩形枠状であり、
記複数の第2ワイヤの各々の両端は、前記第2フレームの側面に沿って折曲されると共に前記第2フレームの前記側面に固定されている、請求項1に記載の積層型ワイヤグリッド。

【請求項3】
 
前記複数の第1ワイヤと前記複数の第2ワイヤとの前記一方向における相対的なシフト量は0.5×間隔dである、請求項1又は請求項2に記載の積層型ワイヤグリッド。

【請求項4】
 
直径a/間隔d=0.5である、請求項3に記載の積層型ワイヤグリッド。

【請求項5】
 
テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する積層型ワイヤグリッドの製造方法であって、
矩形枠状の第1フレームと矩形枠状の第2フレームとを積層して備えたフレーム積層体を準備する準備工程と、
前記フレーム積層体の両主面と両側面とを巻き込むように前記フレーム積層体に長尺のワイヤを複数回巻回する巻回工程と、
前記ワイヤを前記第1フレームの両側面と前記第2フレームの両側面とに固定する固定工程と、
前記第1フレームと前記第2フレームとの境界面に沿って前記フレーム積層体を分断し、前記第1フレームの一方の面を縦断して前記第1フレームの開口を跨ぐように前記第1フレームに張設された複数の第1ワイヤを有する第1ワイヤグリッドと、前記第2フレームの一方の面を縦断して前記第2フレームの開口を跨ぐように前記第2フレームに張設された複数の第2ワイヤを有する第2ワイヤグリッドとを得る分断工程と、
前記第1フレームの前記第1ワイヤ縦断する面と、前記第2フレームの前記第2ワイヤ縦断する面とを対向させて、前記第1ワイヤグリッドと前記第2ワイヤグリッドとを積層する積層工程とを包含し、
適応波長よりも短い間隔dで一方向に沿って配列された前記複数の第1ワイヤを有する前記第1ワイヤグリッドと、前記間隔dで前記一方向に沿って配列された前記複数の第2ワイヤを有する前記第2ワイヤグリッドとを、前記複数の第1ワイヤのそれぞれの中心が位置する面と前記複数の第2ワイヤのそれぞれの中心が位置する面との距離Lが前記間隔d以下となるように積層した前記積層型ワイヤグリッドを得る、積層型ワイヤグリッドの製造方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2012222791thum.jpg
State of application right Registered


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