酸化物の製造方法

• 高口 豊
• 田嶋 智之
• 大澤 侑史
• 和田 卓聡

• 国立大学法人　岡山大学

昨今、電子素子の半導体材料として様々な無機半導体が用いられている。半導体材料の構造は、その性能を大きく左右させるため、現在までに、色素増感太陽電池や廃棄ガス浄化のための光触媒などの分野で、さまざまな微細構造を構築させる技術が研究されている。

特に、色素増感太陽電池では、電極部分での表面積をかせぐために、電極表面を凹凸形状とする微細構造を構築することが行われている。

その多くは物理的に鋳型を用いる手法や、マスク処理によって微細構造を構築させる技術が多い。例えば、ハニカム状多孔質フィルムを鋳型とし、無電解めっきや電界めっきにより、鋳型の構造を反映した微細構造の半導体を提供する技術、半導体の表面をエッチング等によってパターン化する技術が知られており、電子素子材料としての応用を指向した利用研究が行われている。（特許文献１）。

【特許文献１】
特開２００５－５９１２５号公報

本発明は、酸化物の製造方法に関し、特に微細構造を有する酸化物の製造方法に関する。

• C01G  19/02      酸化物
• C01B  32/152     フラーレン
• C01B  32/158     カーボンナノチューブ
• H01L  31/04      光起電変換装置として使用されるもの
• B82Y  30/00      材料または表面科学のためのナノテクノロジー，例．ナノ複合材料
• B82Y  40/00      ナノ構造物の製造または処理
• B01J  23/14      ゲルマニウム，すずまたは鉛に関するもの
• B01J  35/02      固体
• H01M  14/00      Ｈ０１Ｍ６／００～Ｈ０１Ｍ１２／００に分類されない電気化学的な電流または電圧の発生装置；その製造

• 4G146AA11 ナノチューブ、ナノ繊維、ナノファイバー
• 4G146AA12 シングル（単層）ナノチューブ
• 4G146AD17 複合体、混合物
• 4G146AD23 電極
• 4G146AD24 電池
• 4G146AD30 半導体用
• 4G146AD35 触媒・触媒担体
• 4G146CB10 混合、分散
• 4G146CB12 薬品処理（ＣＢ３１－３９も付与）
• 4G146CB19 複合（ＣＢ３１－３９も付与）
• 4G146CB22 表面処理（表面官能基含む）
• 4G146CB34 金属含有（注１）＊
• 4G146CB35 有機物、ピッチ、タール＊
• 4G169AA02 非担持触媒
• 4G169AA08 触媒、担体、基材の製法、処理
• 4G169AA09 原料、添加剤、処理剤、結合剤
• 4G169AA12 微細構造の調整及び選択
• 4G169BA08 活性炭、カーボン
• 4G169BA27 有機金属錯体及び有機金属化合物＊
• 4G169BB04 金属酸化物又は金属水酸化物
• 4G169BC10 Ｍｇ
• 4G169BC16 Ａｌ
• 4G169BC22 Ｓｎ
• 4G169BC50 Ｔｉ
• 4G169BC51 Ｚｒ
• 4G169BD02 Ｏ
• 4G169BD05 Ｓｉ
• 4G169BD06 Ｎ
• 4G169BE06 アルコール（か）
• 4G169BE14 アミン（す）
• 4G169BE37 芳香環（め）
• 4G169BE42 ＣＯ（カルボニル）（ら）
• 4G169DA05 固体
• 4G169EA03 繊維、フィラメント、ウィスカー（無秩序）
• 4G169EC10 平均細孔径又はピーク値
• 4G169EC30 その他＊
• 4G169FA01 触媒構成成分自体の製造
• 4G169FB08 沈澱、ゲル化
• 4G169FC02 原料◎
• 4G169HA12 製造簡便性
• 4G169HB06 酸化チタン以外の金属酸化物
• 4G169HC07 微細構造
• 4G169HD03 湿式法
• 5F151AA14 電解質・半導体電極（湿式の場合）＊
• 5H032AA06 湿式光電池、光化学電池
• 5H032AS06 酸化物、水酸化物
• 5H032AS09 有機化合物、高分子化合物
• 5H032AS16 光電極、半導体電極
• 5H032BB07 電気・化学的処理（電解、酸化・還元処理）
• 5H032BB10 製造方法、製造装置、治具
• 5H032CC11 電極、集電体・担体
• 5H032EE02 酸化物、水酸化物
• 5H032EE16 感光剤、色素、光増感剤
• 5H032EE18 導電材、絶縁材、誘電材
• 5H032HH04 寸法、面積、体積（厚さ、巾、長さ、径）